【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅片搬运装置，属于硅片移载设备。
技术介绍
1、硅片分选
，需要将次品硅片剔除并将良品通过机械手转运或存储进行分类，以使后端的工艺产品尽可能确保良率，在转运硅片的过程中，传统的用于搬运硅片的装置通常由一个机械手或多个直线伺服移动模组相互拼接构成，采用直线伺服移动模组时，硅片的搬运由取料位到存放位呈一条直线，因此在此直线上执行吸附的搬运手，需要不断在搬运位置以及放料位置移动，来回移动形成较长，严重影响搬片节拍。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种硅片搬运装置，用于对良品或者次品硅片进行移载，能够在不增加驱动负担的同时提升搬片效率，有利于提升硅片分选节拍。
2、为实现上述目的，本技术是采用下述技术方案实现的：
3、本技术提供的一种硅片搬运装置，包括支架，所述支架上转动设置有两个传动辊，两个所述传动辊之间通过皮带连接，所述支架上还安装有用于驱动其中一个传动辊转动的第一驱动装置；
4、所述皮带的两侧均固定安装有安装板，两个所述安装板上均固定安装有第二驱动装置，所述第二驱动装置的输出端安装有吸附板，所述第二驱动装置用于驱动吸附板沿竖直方向进行移动。
5、具体的，两个所述吸附板位于同一条直线上且该直线与皮带的输送方向相平行。
6、具体的，所述支架上对称安装有两个支撑架，两个所述支撑架上均安装有滑轨，两个所述滑轨上均滑动设置有滑块，两个所述安装板均与对应的滑块固定连接，所述滑块通过固定板
7、具体的，所述皮带为同步带，所述固定板的整体形状呈c型，所述固定板的中部抵接在皮带的外侧，所述固定板的上下两端之间通过螺柱连接，所述螺柱位于皮带带有锯齿的一侧且能够嵌合在皮带的锯齿槽内。
8、具体的，所述固定板的侧视视角与俯视视角均呈c型，每个所述固定板均通过两个以上的螺柱锁紧在皮带的锯齿槽内。
9、具体的，所述吸附板的底部呈矩形阵列分布安装有多个吸盘，每个所述吸盘中部均设有用于与主气路相连通的气孔，所述主气路与负压装置相连通。
10、具体的，所述吸盘的材质为硅胶。
11、具体的，所述吸附板通过转轴安装在所述第二驱动装置的输出端，所述吸附板能够通过转轴处于倾斜以及回中两种状态，所述吸附板位于回中状态下，吸附板的吸附平面与水平面相平齐。
12、与现有技术相比，本技术所达到的有益效果：
13、本技术通过将用于吸附硅片的吸附板分别固定设置在皮带的两侧，可以在电机带动皮带转动时让两个吸附板沿相反的方向运动，即其中一个吸附板在执行搬运动作时，另一个吸附板能够回到取片位置等待下一次的搬片，两个吸附板仅需要一个电机控制，程序配合简单且使用成本低廉。
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1.一种硅片搬运装置，其特征在于，包括支架（1），所述支架（1）上转动设置有两个传动辊（2），两个所述传动辊（2）之间通过皮带（3）连接，所述支架（1）上还安装有用于驱动其中一个传动辊（2）转动的第一驱动装置（6）；
2.根据权利要求1所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，两个所述吸附板（8）位于同一条直线上且该直线与皮带（3）的输送方向相平行。
3.根据权利要求1所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，所述支架（1）上对称安装有两个支撑架（4），两个所述支撑架（4）上均安装有滑轨（13），两个所述滑轨（13）上均滑动设置有滑块（12），两个所述安装板（5）均与对应的滑块（12）固定连接，所述滑块（12）通过固定板（11）安装在皮带（3）对应的边侧。
4.根据权利要求3所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，所述皮带（3）为同步带，所述固定板（11）的整体形状呈C型，所述固定板（11）的中部抵接在皮带（3）的外侧，所述固定板（11）的上下两端之间通过螺柱（9）连接，所述螺柱（9）位于皮带（3）带有锯齿的一侧且能够嵌合在皮带（3）的锯齿槽内。
6.根据权利要求1所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，所述吸附板（8）的底部呈矩形阵列分布安装有多个吸盘（10），每个所述吸盘（10）中部均设有用于与主气路相连通的气孔，所述主气路与负压装置相连通。
7.根据权利要求6所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，所述吸盘（10）的材质为硅胶。
8.根据权利要求1所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，所述吸附板（8）通过转轴（14）安装在所述第二驱动装置（7）的输出端，所述吸附板（8）能够通过转轴（14）处于倾斜以及回中两种状态，所述吸附板（8）位于回中状态下，吸附板（8）的吸附平面与水平面相平齐。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片搬运装置，其特征在于，包括支架（1），所述支架（1）上转动设置有两个传动辊（2），两个所述传动辊（2）之间通过皮带（3）连接，所述支架（1）上还安装有用于驱动其中一个传动辊（2）转动的第一驱动装置（6）；
2.根据权利要求1所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，两个所述吸附板（8）位于同一条直线上且该直线与皮带（3）的输送方向相平行。
3.根据权利要求1所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，所述支架（1）上对称安装有两个支撑架（4），两个所述支撑架（4）上均安装有滑轨（13），两个所述滑轨（13）上均滑动设置有滑块（12），两个所述安装板（5）均与对应的滑块（12）固定连接，所述滑块（12）通过固定板（11）安装在皮带（3）对应的边侧。
4.根据权利要求3所述的一种硅片搬运装置，其特征在于，所述皮带（3）为同步带，所述固定板（11）的整体形状呈c型，所述固定板（11）的中部抵接在皮带（3）的外侧，所述固定板（11）的上下...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵智亮，高开中，李德刚，
申请(专利权)人：苏州艺力鼎丰智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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