【技术实现步骤摘要】
本公开涉及真空镀膜，具体而言，涉及一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置。
技术介绍
1、复合集流体多采用蒸镀法进行制备。而蒸发舟作为真空蒸发镀膜设备蒸发源主要部件，其使用状态性能参数对成膜质量的影响不可忽视。市面上常用镀铝蒸发舟按组分划分可分为二元舟、三元舟，其中二元舟的主相为tib2、bn，三元舟的主相为tib2、bn、aln。
2、使用过程中，蒸发舟表面材质bn会与铝液反应生成氮化铝，蒸发舟基体材质bn、aln会因高温分解产生氮气。随着使用时长的延长，蒸发舟表面出现明显刻蚀。同时会导致蒸发舟电阻分布不均，整体电阻下降，难以匹配相应成膜功率，成膜质量不稳定，有时伴有明显飞溅等缺陷。飞溅等缺陷进一步影响产品在电池涂布工艺中的使用。
技术实现思路
1、本公开的目的在于提供一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置，能够解决上述提到的至少一个技术问题。具体方案如下：
2、根据本公开的具体实施方式，一方面，本公开提供一种蒸发舟，用于真空蒸发镀膜，所述蒸发舟包括：蒸发舟本体，所述蒸发舟本体具有第一面，所述第一面开设有容置槽，所述容置槽配置为放置靶材，所述蒸发舟本体包括单质硼；含铝涂层，所述含铝涂层至少覆盖所述容置槽的表面。
3、在一可选实施例中，所述含铝涂层为多层结构。
4、在一可选实施例中，所述含铝涂层的厚度为5-11μm。
5、在一可选实施例中，所述蒸发舟本体包括：多个侧板，多个所述侧板围成所述蒸发舟本体的边框，所述侧板为矩形；底板，多个所述侧板均
6、在一可选实施例中，所述蒸发舟本体包括：多个侧板，多个所述侧板围成所述蒸发舟本体的边框，所述侧板为梯形；底板，所述底板为矩形，所述侧板平行的两条边中较长的一边设于所述底板。
7、在一可选实施例中，所述舟身蒸发舟本体长度方向尺寸与宽度方向尺寸的比值范围为3-8；所述宽度方向尺寸与高度方向的尺寸的比值范围为4-2其中，所述蒸发舟本体还具有与所述第一面平行的第二面，所述长度方向尺寸为所述第一面中较长的一条边的尺寸，所述宽度方向尺寸为所述第一面中较短的一条边的尺寸，所述高度方向尺寸为所述第一面到所述第二面的垂直距离。
8、在一可选实施例中，所述容置槽内部的拐角为圆角。
9、在一可选实施例中，所述蒸发舟还包括：顶盖，所述顶盖与所述舟身蒸发舟本体可拆卸连接，所述顶盖配置为遮挡所述靶材。
10、在一可选实施例中，所述蒸发舟本体还包括铝。
11、在一可选实施例中，所述含铝涂层包括：掺杂铝的氮化硼或氮化铝。
12、根据本公开的具体实施方式，另一方面，本公开提供一种真空蒸发镀膜装置，包括：如上述技术方案任一项所述的蒸发舟。
13、本公开实施例的上述方案与现有技术相比，至少具有以下有益效果：
14、本公开通过提供掺杂硼单质的蒸发舟本体和含铝涂层的蒸发舟，在使用过程中，蒸发舟本体中的硼和铝会抑制氮化硼、氮化铝的分解，表面含铝涂层可进一步提升铝液的润湿性有利于热交换的进行，避免熔池受电流的影响而产生的波动。综上，本公开可降低使用时电阻的变化以及缓解电阻的分布不均的问题，便于工艺控制，同时减少导电相边缘堆积、放气、电流变化对熔池造成的波动影响，促使成膜更稳定。
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1.一种蒸发舟，用于真空蒸发镀膜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的蒸发舟，其特征在于，
6.根据权利要求4所述的蒸发舟，其特征在于，
7.根据权利要求4所述的蒸发舟，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，
9.根据权利要求1-8任一项所述的蒸发舟，其特征在于，
10.一种真空蒸发镀膜装置，其特征在于，包括：如权利要求1-9任一项所述的蒸发舟。
【技术特征摘要】
1.一种蒸发舟，用于真空蒸发镀膜，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的蒸发舟，其特征在于，
6.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐文婷，杨怀超，李东亮，侯建洋，孙欣森，
申请(专利权)人：安迈特科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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