一种光刻胶连续配胶系统技术方案

本技术涉及一种光刻胶连续配胶系统，包括一个或多个循环过滤模块，以及与所述循环过滤模块连通的配胶装置，其中所述循环过滤模块包括：配料装置以及循环管路，所述循环管路的两端分别与所述配料装置的出料口和进料口连通；所述循环管路上设置有循环泵和配料过滤器。本技术通过循环泵、过滤器可将各个原料的溶液循环过滤，合格后再注入配胶釜，保证原料质量的合格及稳定性；光刻胶树脂经过循环过滤，可降低金属离子含量，金属离子含量在光刻胶质量控制中起到重要作用，因此可以一定程度上改善光刻胶质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术总的来说涉及光刻胶配胶装置领域，更具体而言，涉及一种光刻胶连续配胶系统。

技术介绍

1、光刻胶属于半导体八大核心材料之一，光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，目前被广泛用于光电信息产业的微细图形线路加工制作环节。

2、光刻胶由原材料通过配胶装置制成。在现有技术中，通常将光刻胶原料与溶剂及添加剂在配胶釜中混合，之后再进行过滤。例如，中国专利技术申请cn115487998a中公开了一种高通量光刻胶配胶曝光一体化设备，其中的配胶系统包括依次相连通的配胶釜、压滤机和精滤釜，在使用时将光刻胶原料与溶剂及添加剂按一定比例在配胶釜中完成混合，输送至压滤机过滤，之后转入精滤釜进行超净过滤以得到光刻胶。然而，这样的配胶系统，未设置处理各个原料的装置，直接将各个原料加入配胶釜中混合，原料的质量得不到保证，进而会影响光刻胶的质量。

技术实现思路

1、为解决现有技术中的上述问题中，本技术提供了一种光刻胶连续配胶系统，包括一个或多个循环过滤模块，以及与所述循环过滤模块连通的配胶装置，其中所述循环过滤模块包括：配料装置以及循环管路，所述循环管路的两端分别与所述配料装置的出料口和进料口连通；所述循环管路上设置有循环泵和配料过滤器。

2、进一步地，所述循环管路上还设置有三通阀，所述三通阀的第一口和第二口分别与所述循环管路连接，第三口与所述配胶装置的进料口连接。

3、进一步地，所述三通阀与所述配胶装置的进料口之间设置有配胶管路。

4、进一步地，所述配胶管路上设置有计量泵。

5、进一步地，所述配料装置和所述配胶装置上均设置有取样器和搅拌装置。

6、进一步地，所述取样器包括：

7、所述取样器包括：

8、取样管，其伸入所述配料装置或所述配胶装置内；以及

9、样品管路，其一端与所述取样管连通，另一端与抽真空装置连通，所述样品管路上依次设置有三通阀和抽真空阀门；

10、进样管路，其一端与所述样品管路连通，且所述进样管路位于所述三通阀与所述抽真空阀门之间；以及

11、取样瓶，其设置在所述进样管路的另一端。

12、进一步地，所述三通阀的第一口与所述取样管连通，第二口与所述进样管路及所述抽真空阀门连通，第三口与氮气管路连通。

13、进一步地，所述取样瓶与所述进样管路之间螺纹连接。

14、进一步地，所述进样管路上设置有进样阀门；和/或

15、所述样品管路上设置有透明视镜，且所述透明视镜位于所述三通阀与所述进样管路之间。

16、进一步地，还包括：

17、包装装置，其与所述配胶装置的出料口连通；以及

18、配胶过滤器，其设置在所述包装装置与所述配胶装置之间。

19、本技术至少具有如下优点：(1)本技术通过循环泵、过滤器可将各个原料的溶液循环过滤，合格后再注入配胶装置，保证原料质量的合格及稳定性；(2)光刻胶树脂经过循环过滤，可降低金属离子含量，金属离子含量在光刻胶质量控制中起到重要作用，因此可以一定程度上改善光刻胶质量；(3)本技术的取样器在不影响物料质量的情况下，可实时检测物料是否达到标准；(4)本技术使用计量泵可精确配送原料的量，配胶的比例可得到保障，光刻胶的质量稳定性也可以得到保障；(5)配制的光刻胶胶质量达标后可立即放出配胶装置，进入包装装置，直接罐装，生产可连续进行，可进行产业化生产。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光刻胶连续配胶系统，其特征在于，包括一个或多个循环过滤模块，以及与所述循环过滤模块连通的配胶装置，其中所述循环过滤模块包括：配料装置以及循环管路，所述循环管路的两端分别与所述配料装置的出料口和进料口连通；所述循环管路上设置有循环泵和配料过滤器。

2.根据权利要求1所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述循环管路上还设置有三通阀，所述三通阀的第一口和第二口分别与所述循环管路连接，第三口与所述配胶装置的进料口连接。

3.根据权利要求2所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述三通阀与所述配胶装置的进料口之间设置有配胶管路。

4.根据权利要求3所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述配胶管路上设置有计量泵。

5.根据权利要求1所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述配料装置和所述配胶装置上均设置有取样器和搅拌装置。

6.根据权利要求5所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述取样器包括：

7.根据权利要求6所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述三通阀的第一口与所述取样管连通，第二口与所述进样管路及所述抽真空阀门连通，第三口与氮气管路连通。

8.根据权利要求6所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述取样瓶与所述进样管路之间螺纹连接。

9.根据权利要求6所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述进样管路上设置有进样阀门；和/或

10.根据权利要求1-9任一所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，还包括：

...

【技术特征摘要】

1.一种光刻胶连续配胶系统，其特征在于，包括一个或多个循环过滤模块，以及与所述循环过滤模块连通的配胶装置，其中所述循环过滤模块包括：配料装置以及循环管路，所述循环管路的两端分别与所述配料装置的出料口和进料口连通；所述循环管路上设置有循环泵和配料过滤器。

2.根据权利要求1所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述循环管路上还设置有三通阀，所述三通阀的第一口和第二口分别与所述循环管路连接，第三口与所述配胶装置的进料口连接。

3.根据权利要求2所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述三通阀与所述配胶装置的进料口之间设置有配胶管路。

4.根据权利要求3所述的光刻胶连续配胶系统，其特征在于，所述配胶管路上设置有计量泵。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦堂乾，周玉莱，贺宝元，
申请(专利权)人：徐州博康信息化学品有限公司，
类型：新型
国别省市：