【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅棒切片，尤其涉及一种工件可旋转的金刚石线单晶硅棒切片装置。
技术介绍
1、单晶硅材料广泛地应用于各种微电子领域如计算机系统、通讯设备、汽车、消费电子系统和工业自动控制系统，光伏发电产业等，因此对单晶硅片的需求量比较大，然而面临着一个如何提高单晶硅片产量的严峻问题。
2、原有的单晶硅片生产过程中，由于金刚石线锯机构固定，工件固定不可旋转，只由金刚石线锯机构进行切割，因此导致单晶硅棒切片效率低下，针对上述问题，本技术在此提出现一种工件可旋转的金刚石线单晶硅棒切片装置。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺陷，而提出的一种工件可旋转的金刚石线单晶硅棒切片装置。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种工件可旋转的金刚石线单晶硅棒切片装置，包括装夹底板，所述装夹底板的两侧对称设有两个液压传动机构，所述液压传动机构包括液压底板，液压底板用于支撑液压传动机构，液压传动机构还包括下液压支撑杆套筒、上液压杆支撑杆套、液压活塞杆、液压支撑杆；
4、所述装夹底板的上侧设有送料机构和两个全自动夹紧机构，且两个全自动夹紧机构对称设置在送料机构的两侧；
5、所述送料机构包括送料台，送料台通过送料机构移动块与装夹底板的送料机构移动槽滑动安装，且通过定位销定位，送料台上设有送料箱，送料箱底部固定安装有齿条，齿条一侧啮合连接有齿轮轴，齿轮轴通过外接电机驱动，齿条与齿轮轴相互配合，控制送料机构进行上下
6、所述全自动夹紧机构包括柔性夹头、全自动夹紧机构移动块、旋转轴、发动机连接孔，旋转轴接入电机进行全自动装夹，发动机连接孔接入发动机用于控制单晶硅棒旋转；
7、所述液压传动机构的上方安装有双向定位板，通过双向定位板安装有线锯切割机构；
8、所述线锯切割机构包括磨粒金刚石线、线辊、辊轴、收放辊、皮带、带轮，位于同一高度上的辊轴之间通过皮带和带轮配合传动；
9、线辊通过辊轴与滑动轴承安装，滑动轴承通过定位块与挡板安装，挡板与双向定位板安装，磨粒金刚石线通过线槽与线辊安装，且磨粒金刚石线通过一侧的收放辊收线，同时还通过另一侧的收放辊放线，收放辊通过线辊孔与双向定位板安装。
10、进一步地，还包括除尘机构，除尘机构用于防止切割过程大量的废料硅粉溢出而破坏环境，废料进入除尘机构经过一系列化学物理反应减少了大量废料，然后进行回炉。
11、进一步地，所述液压活塞杆设有上左加压孔、上右加压孔、左加压孔，下右加压孔，且分别连接加压管。
12、进一步地，所述送料箱用于放置单晶硅棒，粘胶层由喷胶系统在送料箱上表面喷洒形成。
13、相比于现有技术，本技术的有益效果在于：
14、本技术解决了在单晶硅线锯切片过程中，因原有工件不旋转而导致的切片效率低下的问题，通过控制工件旋转，并通过液压传动机构控制线锯切割机构进行进给，从而有效的提高了加工效率，有利于大批量生产单晶硅片。
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1.一种工件可旋转的金刚石线单晶硅棒切片装置，包括装夹底板(15)，其特征在于：所述装夹底板(15)的两侧对称设有两个液压传动机构，所述液压传动机构包括液压底板(1)，液压底板(1)用于支撑液压传动机构，液压传动机构还包括下液压支撑杆套筒(2)、上液压杆支撑杆套(3)、液压活塞杆(4)、液压支撑杆(14)；
2.根据权利要求1所述的一种工件可旋转的金刚石线单晶硅棒切片装置，其特征在于，所述液压活塞杆(4)设有上左加压孔(21)、上右加压孔(25)、左加压孔(22)，下右加压孔(26)，且分别连接加压管。
3.根据权利要求1所述的一种工件可旋转的金刚石线单晶硅棒切片装置，其特征在于，所述送料箱(29)用于放置单晶硅棒，粘胶层(30)由喷胶系统在送料箱(29)上表面喷洒形成。
【技术特征摘要】
1.一种工件可旋转的金刚石线单晶硅棒切片装置，包括装夹底板(15)，其特征在于：所述装夹底板(15)的两侧对称设有两个液压传动机构，所述液压传动机构包括液压底板(1)，液压底板(1)用于支撑液压传动机构，液压传动机构还包括下液压支撑杆套筒(2)、上液压杆支撑杆套(3)、液压活塞杆(4)、液压支撑杆(14)；
2.根据权利要求1所述的一种工...
【专利技术属性】
技术研发人员：李涛，李遇贤，钱益超，张静全，张杰，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：新型
国别省市：
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