【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别涉及一种用于半导体设备的射频匹配器。
技术介绍
1、在半导体工业中，射频电源产生射频信号，然后所述射频信号被传输至射频电极用于进行相应工艺，由于射频电源产生的射频信号的过程中还会产生除射频电极需要之外的信号杂波，因此在所述射频电源与所述射频电极之间还会串联设置一射频匹配器对所述射频信号进行过滤，经匹配器过滤后，所述射频电极获得的射频信号即为所需信号。
2、在现有技术中，射频电源在经过射频匹配器过滤后将特定所需信号传输至射频电极的过程中，仍存在以下的问题：
3、射频匹配器在使用中，射频电极连接的负载与射频电极的所需信号是对应的，即与所述射频匹配器需要设置的阻抗值是也对应的，当射频电极连接的负载发生变化时，所述射频匹配器需对应改变其阻抗值，实现射频电源、射频电极及负载之间的快速匹配。现有技术中，射频匹配器阻抗值的改变需要停止电连接，单独对匹配器中设置的电感或者电容的数值进行调节，调节后需要重新开启电连接，根据调节后匹配器的过滤性能来判断调节效果，并根据效果进一步判断是否需要进行二次调节甚至多次调节，调节效率慢。
4、因此需要提供一种能够实现调节射频电源、射频电极和负载之间快速匹配的高效率的射频匹配器。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种用于半导体设备的射频匹配器，该射频匹配器设置了磁悬浮阻抗调节装置，能根据射频电极的需求快速调节所需的阻抗值，实现射频电源、射频电极和负载之间的快速匹配，提高了匹配效率。
3、提供了一种用于半导体设备的射频匹配器，所述半导体设备包括射频匹配器、一个射频电源和至少一个射频电极，所述射频匹配器串联设置在所述射频电源和所述射频电极之间，所述射频匹配器包括：
4、输入端口，所述输入端口与所述射频电源连接，用于接收所述射频电源输出的射频信号；
5、输出端口，所述输出端口与所述射频电极连接，用于将处理后的射频信号传输至所述至少一个射频电极；
6、磁悬浮阻抗调节装置，其设置在所述输入端口和所述输出端口之间，用于通过磁悬浮驱动可调电容或可调电感的改变，从而调节阻抗值，提供与负载相对应的阻抗值。
7、进一步，磁悬浮阻抗调节装置包括磁悬浮可调电容，所述磁悬浮可调电容包括磁悬浮驱动组件，用于调节所述磁悬浮可调电容的电容值。
8、进一步，所述磁悬浮可调电容还包括电极组件和连接组件，所述连接组件分别与所述电极组件及所述磁悬浮驱动组件连接，所述磁悬浮驱动组件用于通过所述连接组件驱动所述电极组件运动，所述电极组件用于调节所述磁悬浮可调电容的电容值。
9、进一步，所述电极组件包括移动电极和固定电极，所述移动电极设置在所述固定电极的内部，所述连接组件的第一端与所述移动电极连接，并驱动所述移动电极相对所述固定电极在第一方向运动。
10、进一步，所述磁悬浮驱动组件包括磁部和悬浮部，所述悬浮部设置在所述磁部内部，被设置为相对所述磁部在第一方向运动，所述连接组件的第二端与所述悬浮部连接，所述悬浮部用于通过所述连接组件驱动所述移动电极相对所述固定电极在第一方向运动。
11、进一步，所述磁悬浮驱动组件还包括光栅测量尺，用于测量所述悬浮部相对所述磁部在第一方向上的运动距离；所述光栅测量尺包括测量块和光栅尺；所述光栅尺与所述磁部连接，且沿第一方向延伸；所述测量块的第一端与所述光栅尺连接，其第二端与所述连接组件连接，且被设置为相对所述悬浮部的位置静止。
12、进一步，所述测量块的第一端设置了滑块，所述滑块与所述光栅尺滑动连接，所述光栅尺上设置了长条形的凹槽，用于放置所述滑块，所述凹槽内设置的滑块用于获取所述测量块的运动距离。
13、进一步，所述连接组件的第一端设置了绝缘部，所述绝缘部与所述移动电极连接。
14、进一步，所述射频匹配器还包括控制器，所述控制器分别与所述磁悬浮阻抗调节装置及所述至少一个射频电极连接，用于获取所述至少一个射频电极所连接的负载，根据负载确定所述磁悬浮阻抗调节装置需要设置的阻抗值，并根据所述阻抗值获取悬浮部在第一方向上所需运动的最终运动距离。
15、进一步，所述控制器与所述光栅测量尺连接，用于获取所述悬浮部相对所述磁部在第一方向上的运动距离，并在悬浮部到达所述最终运动距离时，执行停止所述悬浮部的运动动作。
16、进一步，所述磁悬浮阻抗调节装置的电路结构为l型匹配网络、t型匹配网络或п型匹配网络的至少一者。
17、进一步，所述磁悬浮阻抗调节装置还包括至少一个电感装置，所述电感装置串联设置在所述输入端口与所述输出端口之间。
18、进一步，所述磁悬浮阻抗调节装置还包括至少一个电阻，所述电阻串联设置在所述输入端口与所述电感装置之间，用于保护电路。
19、进一步，所述移动电极与所述固定电极之间设置了支撑件，所述支撑件用于支撑所述移动电极，所述移动电极通过所述支撑件支撑所述移动电极在所述固定电极内移动。
20、进一步，所述支撑件设置在所述移动电极的外表面和所述固定电极的内表面之间，且所述支撑件的材质为绝缘材料。
21、进一步，所述移动电极的第一侧与所述连接组件连接，所述移动电极的第二侧与所述支撑件连接，所述第一侧与所述第二侧相对，所述支撑件为支撑滚轮，所述支撑滚轮还分别与所述固定电极的上下内表面滚动接触，所述支撑滚轮的材质为绝缘材料。
22、与现有技术相比，本专利技术具有如下优点：
23、本专利技术提供的射频匹配器设置了磁悬浮阻抗调节装置，该磁悬浮阻抗调节装置采用了磁悬浮的原理驱动移动电极移动，由于磁悬浮的磁部和悬浮部之间不接触，无摩擦，且通过电控制磁场的改变驱动悬浮部移动，因此相应速度极快，能根据射频电极的负载需求快速调节所需的阻抗值，提高了匹配效率；同时该磁悬浮阻抗调节装置还设置了光栅测量尺，将阻抗调节可测量化，无需停机多次调节，且磁悬浮的调节方式提高了匹配精度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于半导体设备的射频匹配器，所述半导体设备包括射频匹配器、一个射频电源和至少一个射频电极，所述射频匹配器串联设置在所述射频电源和所述射频电极之间，其特征在于，所述射频匹配器包括：
2.如权利要求1所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，磁悬浮阻抗调节装置包括磁悬浮可调电容，所述磁悬浮可调电容包括磁悬浮驱动组件，用于调节所述磁悬浮可调电容的电容值。
3.如权利要求2所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮可调电容还包括电极组件和连接组件，所述连接组件分别与所述电极组件及所述磁悬浮驱动组件连接，所述磁悬浮驱动组件用于通过所述连接组件驱动所述电极组件运动，所述电极组件用于调节所述磁悬浮可调电容的电容值。
4.如权利要求3所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述电极组件包括移动电极和固定电极，所述移动电极设置在所述固定电极的内部，所述连接组件的第一端与所述移动电极连接，并驱动所述移动电极相对所述固定电极在第一方向运动。
5.如权利要求4所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮驱动组件包
6.如权利要求5所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮驱动组件还包括光栅测量尺，用于测量所述悬浮部相对所述磁部在第一方向上的运动距离；所述光栅测量尺包括测量块和光栅尺；所述光栅尺与所述磁部连接，且沿第一方向延伸；所述测量块的第一端与所述光栅尺连接，其第二端与所述连接组件连接，且被设置为相对所述悬浮部的位置静止。
7.如权利要求6所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述测量块的第一端设置了滑块，所述滑块与所述光栅尺滑动连接，所述光栅尺上设置了长条形的凹槽，用于放置所述滑块，所述凹槽内设置的滑块用于获取所述测量块的运动距离。
8.如权利要求4所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述连接组件的第一端设置了绝缘部，所述绝缘部与所述移动电极连接。
9.如权利要求7所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述射频匹配器还包括控制器，所述控制器分别与所述磁悬浮阻抗调节装置及所述至少一个射频电极连接，用于获取所述至少一个射频电极所连接的负载，根据负载确定所述磁悬浮阻抗调节装置需要设置的阻抗值，并根据所述阻抗值获取悬浮部在第一方向上所需运动的最终运动距离。
10.如权利要求9所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述控制器与所述光栅测量尺连接，用于获取所述悬浮部相对所述磁部在第一方向上的运动距离，并在悬浮部到达所述最终运动距离时，执行停止所述悬浮部的运动动作。
11.如权利要求3所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮阻抗调节装置的电路结构为L型匹配网络、T型匹配网络或п型匹配网络的至少一者。
12.如权利要求11所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮阻抗调节装置还包括至少一个电感装置，所述电感装置串联设置在所述输入端口与所述输出端口之间。
13.如权利要求12所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮阻抗调节装置还包括至少一个电阻，所述电阻串联设置在所述输入端口与所述电感装置之间，用于保护电路。
14.如权利要求4所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述移动电极与所述固定电极之间设置了支撑件，所述支撑件用于支撑所述移动电极，所述移动电极通过所述支撑件支撑所述移动电极在所述固定电极内移动。
15.如权利要求14所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述支撑件设置在所述移动电极的外表面和所述固定电极的内表面之间，且所述支撑件的材质为绝缘材料。
16.如权利要求14所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述移动电极的第一侧与所述连接组件连接，所述移动电极的第二侧与所述支撑件连接，所述第一侧与所述第二侧相对，所述支撑件为支撑滚轮，所述支撑滚轮还分别与所述固定电极的上下内表面滚动接触，所述支撑滚轮的材质为绝缘材料。
...【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备的射频匹配器，所述半导体设备包括射频匹配器、一个射频电源和至少一个射频电极，所述射频匹配器串联设置在所述射频电源和所述射频电极之间，其特征在于，所述射频匹配器包括：
2.如权利要求1所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，磁悬浮阻抗调节装置包括磁悬浮可调电容，所述磁悬浮可调电容包括磁悬浮驱动组件，用于调节所述磁悬浮可调电容的电容值。
3.如权利要求2所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮可调电容还包括电极组件和连接组件，所述连接组件分别与所述电极组件及所述磁悬浮驱动组件连接，所述磁悬浮驱动组件用于通过所述连接组件驱动所述电极组件运动，所述电极组件用于调节所述磁悬浮可调电容的电容值。
4.如权利要求3所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述电极组件包括移动电极和固定电极，所述移动电极设置在所述固定电极的内部，所述连接组件的第一端与所述移动电极连接，并驱动所述移动电极相对所述固定电极在第一方向运动。
5.如权利要求4所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮驱动组件包括磁部和悬浮部，所述悬浮部设置在所述磁部内部，被设置为相对所述磁部在第一方向运动，所述连接组件的第二端与所述悬浮部连接，所述悬浮部用于通过所述连接组件驱动所述移动电极相对所述固定电极在第一方向运动。
6.如权利要求5所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述磁悬浮驱动组件还包括光栅测量尺，用于测量所述悬浮部相对所述磁部在第一方向上的运动距离；所述光栅测量尺包括测量块和光栅尺；所述光栅尺与所述磁部连接，且沿第一方向延伸；所述测量块的第一端与所述光栅尺连接，其第二端与所述连接组件连接，且被设置为相对所述悬浮部的位置静止。
7.如权利要求6所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特征在于，所述测量块的第一端设置了滑块，所述滑块与所述光栅尺滑动连接，所述光栅尺上设置了长条形的凹槽，用于放置所述滑块，所述凹槽内设置的滑块用于获取所述测量块的运动距离。
8.如权利要求4所述的用于半导体设备的射频匹配器，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：尤松，夏传鑫，
申请(专利权)人：江苏天芯微半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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