【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及装置连接器组件、具有该连接器组件的基板处理装置。
技术介绍
1、一般地，连接器组件发挥使各自端部连接的线缆电连接的作用。连接器组件广泛用于汽车、家电产品或半导体制造装置等产业。
2、连接器组件中流过过电流时会发热。连接器组件的发热很可能导致火灾。断路器会在连接器组件中流过过电流时切断连接器组件内部电流。但是，断路器只是针对连接器组件已发生的过电流及/或发热采取后续措施。即，断路器无法执行事先预防连接器组件内部发生过电流及/或发热的功能。
技术实现思路
1、所要解决的技术问题
2、本专利技术一个目的在于提供一种连接器组件、具有该连接器组件的基板处理装置，其能够事先预防连接器组件及用该连接器组件处理基板的装置的火灾。
3、另外，本专利技术目的在于提供一种连接器组件、具有该连接器组件的基板处理装置，其能够事先预防连接器组件内部流动过电流。
4、另外，本专利技术一个目的在于提供一种连接器组件、具有该连接器组件的基板处理装置，其能够事先预防连接器组件内部发热。
5、另外，本专利技术一个目的在于提供一种连接器组件、具有该连接器组件的基板处理装置，其能够容易地更换熔丝。
6、本专利技术要解决的课题不限于上述课题，未提及的课题是本专利技术所属
的技术人员可从本说明书及附图明确理解的。
7、用于解决问题的技术方案
8、本专利技术提供处理基板的装置。处理基板的装置可以包括：壳体，所述壳体
9、根据一实施例，所述销单元可以以能够拆卸的方式配备于所述主体。
10、根据一实施例，所述熔丝可以以能够拆卸的方式配备于所述销单元。
11、根据一实施例，所述销单元可以包括：第一部分，所述第一部分供外部的第一线缆插入；以及第二部分，所述第二部分供外部的第二线缆插入，在所述第一部分形成有供所述熔丝的第一引线插入的第一贯通孔，在所述第二部分形成有供所述熔丝的第二引线插入的第二贯通孔。
12、根据一实施例，所述第一部分和所述第二部分可以被配备为导体，在所述第一部分和所述第二部分之间配备有绝缘材质的第三部分。
13、根据一实施例，所述第一部分可以被配备为第一直径的圆筒形状，所述第二部分被配备为第二直径的圆筒形状，所述第二直径小于所述第一直径。
14、另外，本专利技术提供一种连接器组件。连接器组件可以包括：主体，所述主体在外侧面形成有槽；销单元，所述销单元插入于所述槽；以及熔丝，所述熔丝设置于所述销单元，并且所述销单元以能够拆卸的方式配备于所述主体。
15、根据一实施例，所述熔丝可以以能够拆卸的方式配备于所述销单元。
16、根据一实施例，所述销单元可以包括：第一部分，所述第一部分供外部的第一线缆插入；以及第二部分，所述第二部分供外部的第二线缆插入，在所述第一部分形成有供所述熔丝的第一引线插入的第一贯通孔，在所述第二部分形成有供所述熔丝的第二引线插入的第二贯通孔。
17、根据一实施例，所述第一部分和所述第二部分可以被配备为导体，在所述第一部分和所述第二部分之间配备有绝缘材质的第三部分。
18、根据一实施例，所述第一部分可以被配备为第一直径的圆筒形状，所述第二部分被配备为第二直径的圆筒形状，所述第二直径小于所述第一直径。
19、技术效果
20、根据本专利技术一实施例，能够事先预防连接器组件及用该连接器组件处理基板的装置的火灾。
21、另外，根据本专利技术一实施例，能够事先预防连接器组件内部流过过电流而发热。
22、另外，根据本专利技术一实施例，能够容易地执行对连接器组件的维护作业。
23、另外，根据本专利技术一实施例，能够节省连接器组件的维护费用。
24、本专利技术的效果不限于上述效果，未提及的效果是本专利技术所属
的技术人员可从本说明书和附图明确理解的。
【技术保护点】
1.一种基板处理装置，所述基板处理装置用于处理基板，其中，
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，
4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，
5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中，
6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其中，
7.一种连接器组件，其中，
8.根据权利要求7所述的连接器组件，其中，
9.根据权利要求8所记载之连接器组件，其中，
10.根据权利要求9所述的连接器组件，其中，
11.根据权利要求10所述的连接器组件，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种基板处理装置，所述基板处理装置用于处理基板，其中，
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，
3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，
4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其中，
5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其中，
6.根...
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