【技术实现步骤摘要】
本技术涉及坩埚生产,具体为一种坩埚清洗槽。
技术介绍
1、石英坩埚是硅片生产领域不可或缺的部件,用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当石英坩埚在生产完成后,石英坩埚需要经过清洗、干燥工序,保证石英坩埚内部洁净度。
2、目前常用的坩埚清洗槽存在以下缺陷,不便于对坩埚进行批量自动清洗,需要人工单独清洗,费时费力,而且不便于对坩埚进行快速固定,清洗过程中坩埚容易脱落,因此,我们提出一种坩埚清洗槽,以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种坩埚清洗槽,以解决上述
技术介绍
提出的目前常用的坩埚清洗槽,不便于对坩埚进行批量自动清洗,需要人工单独清洗,费时费力,而且不便于对坩埚进行快速固定,清洗过程中坩埚容易脱落的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种坩埚清洗槽,包括:
3、槽体,所述槽体的左侧设置有水箱,且槽体的左壁安装有水泵,所述水泵进水端与水箱相互连通,且水泵的出水端连通有水管,且水管的顶部等间距连通有喷头;
4、液压杆,所述槽体的左右两侧均安装有液压杆,且液压杆的活动端固定连接有安装板;
5、支撑架,所述安装板的内部旋转安装有支撑架,且支撑架的底部左右两侧均滑动安装有移动架。
6、优选的,所述安装板的顶部左侧安装有电机,且电机的输出端固定连接有轴杆。
7、优选的,所述轴杆的外侧固定连接有主动齿轮,且主动齿轮与从动
8、优选的,所述支撑架的底部旋转安装有连接杆,且连接杆的外表面呈双向螺纹状结构;
9、其中,所述连接杆与移动架之间的连接方式为螺纹连接,且移动架的内侧卡合放置有坩埚本体。
10、与现有技术相比,本技术的有益效果是:该坩埚清洗槽,便于对坩埚进行批量自动清洗,自动批量清洗,省时省力,而且便于对坩埚进行快速固定,防止清洗过程中坩埚容易脱落;
11、将坩埚本体放置于移动架的内侧,通过转动连接杆使其带动移动架向内侧移动,使移动架对坩埚本体进行挤压固定,坩埚本体固定后通过液压杆带动安装板向下移动,使坩埚本体移动至喷头的外侧,水泵将水箱内的水抽出,使水管通过喷头向坩埚本体喷射清洗水,此时通过电机带动轴杆进行转动,使主动齿轮带动从动齿轮进行旋转,使支撑架带动坩埚本体进行转动,使坩埚本体内表面不同位置进行清洗,坩埚本体清洗后通过液压杆带动其向上移出。
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1.一种坩埚清洗槽,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种坩埚清洗槽,其特征在于:所述安装板(7)的顶部左侧安装有电机(8),且电机(8)的输出端固定连接有轴杆(9)。
3.根据权利要求2所述的一种坩埚清洗槽,其特征在于:所述轴杆(9)的外侧固定连接有主动齿轮(10),且主动齿轮(10)与从动齿轮(12)之间的连接方式为啮合连接。
4.根据权利要求1所述的一种坩埚清洗槽,其特征在于:所述支撑架(11)的底部旋转安装有连接杆(13),且连接杆(13)的外表面呈双向螺纹状结构;
【技术特征摘要】
1.一种坩埚清洗槽,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种坩埚清洗槽,其特征在于:所述安装板(7)的顶部左侧安装有电机(8),且电机(8)的输出端固定连接有轴杆(9)。
3.根据权利要求2所述的一种坩埚清洗槽,其特征在于:所述轴...
【专利技术属性】
技术研发人员:单忠,郭超,
申请(专利权)人:青岛新冶耐火材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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