【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光感测器，具体涉及一种日盲深紫外光感测器及其制备方法。
技术介绍
1、感测器是一种能够将物理量转换为电信号的装置，它可以感知周围环境的变化，并将这些变化转换为电信号输出，具有侦测周围环境的信息及时间变化的功能。常见的感测器有气体感测器、压力感测器、光感测器等等，在众多感测器中，光感测器最受人们重视。
2、光感测器的应用范围相当广泛，可用于血氧感测、环境光源变化、通信安全等等。随着半导体产业的高速发展，同样带动了感测器的研究，人们对光感测器的光响应速度、精确度、可靠性等特性要求不断提升。氮化镓已经逐渐成熟，目前的日盲深紫外光感测器可以氧化镓作为日盲探测材料，如申请号为202110819572.2的中国专利技术专利公开了一种日盲型紫外光电探测器，该探测器在导电基底上开设沟道，将ga2o3(氧化镓)纳米柱阵列位于沟道上，再使用聚甲基丙烯酸甲酯层覆盖ga2o3纳米柱阵列。该日盲型紫外光电感测器使用ga2o3作为日盲探测材料，相比传统的algan、mgzno材料，无需任何掺杂来调节带隙，避免了合金相的成分波动和相分离。用其作为缓冲层材料成长氧化镓锌材料，可以实现用更精简的工艺得到更优异的器件性能。但该材料制备得到的日盲型紫外光电感测器的光电流和响应速度还有进一步提升的空间。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是：提供一种高光电流和响应速度的日盲深紫外光感测器及其制备方法。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种日盲深紫外光
3、本专利技术采用的另一技术方案为：上述日盲深紫外光感测器的制备方法，包括在衬底上依次生长氮化镓缓冲层和氧化镓锌薄膜层，然后进行退火的步骤。
4、本专利技术的有益效果在于：本专利技术的日盲深紫外光感测器采用氧化镓锌作为日盲探测材料，可具备更大的光流量和更快的响应速度；在衬底和氧化镓锌薄膜层之间设置氮化镓缓冲层，可有效衔接衬底和氧化镓锌薄膜层，减少氧化镓锌薄膜缺陷，以获得更优异的器件性能。
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1.一种日盲深紫外光感测器，其特征在于，包括由下至上依次设置的衬底、氮化镓缓冲层和氧化镓锌薄膜层。
2.根据权利要求1所述的日盲深紫外光感测器，其特征在于，所述氧化镓锌薄膜层上设有金属叉指电极。
3.根据权利要求2所述的日盲深紫外光感测器，其特征在于，所述金属叉指电极中的金属包括Ti、Pt和Au。
4.权利要求1-3任一所述的日盲深紫外光感测器的制备方法，其特征在于，包括在衬底上依次生长氮化镓缓冲层和氧化镓锌薄膜层，然后进行退火的步骤。
5.根据权利要求4所述的日盲深紫外光感测器的制备方法，其特征在于，生长所述氮化镓缓冲层在反应腔中进行，所述反应腔的温度为1030～1040℃。
6.根据权利要求4所述的日盲深紫外光感测器的制备方法，其特征在于，生长所述氧化镓锌薄膜层在反应腔中进行，所述反应腔的温度为800～900℃，反应腔内通入50～100sccm三乙基镓、400～500sccm氧气和50～100sccm二乙基锌。
7.根据权利要求4所述的日盲深紫外光感测器的制备方法，其特征在于，所述退火在氮气或氧气环境中进
8.根据权利要求4所述的日盲深紫外光感测器的制备方法，其特征在于，还包括在所述退火后在氧化镓锌薄膜层上沉积Ti/Pt/Au金属作为金属叉指电极的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种日盲深紫外光感测器，其特征在于，包括由下至上依次设置的衬底、氮化镓缓冲层和氧化镓锌薄膜层。
2.根据权利要求1所述的日盲深紫外光感测器，其特征在于，所述氧化镓锌薄膜层上设有金属叉指电极。
3.根据权利要求2所述的日盲深紫外光感测器，其特征在于，所述金属叉指电极中的金属包括ti、pt和au。
4.权利要求1-3任一所述的日盲深紫外光感测器的制备方法，其特征在于，包括在衬底上依次生长氮化镓缓冲层和氧化镓锌薄膜层，然后进行退火的步骤。
5.根据权利要求4所述的日盲深紫外光感测器的制备方法，其特征在于，生长所述氮化镓缓冲层在反应腔中进行，所述反...
【专利技术属性】
技术研发人员：林桦，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：
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