金属-陶瓷基板、其生产方法以及模块技术

技术编号：41711909 阅读：17 留言：0更新日期：2024-06-19 12:41

本发明专利技术涉及一种金属‑陶瓷基板。解决的问题是提供一种金属‑陶瓷基板，其在该金属层与该陶瓷体之间具有高度稳定的粘结，以及高的热导率和电导率。该金属‑陶瓷基板包括(a)陶瓷体、(b)金属层和(c)位于该陶瓷体与该金属层之间的粘结层。该粘结层包含(i)熔点为至少700℃的金属M1，(ii)熔点小于700℃的金属M2，(iii)选自活性金属的组的金属M3，以及(iv)选自由铋、镓、锌、铟、锗、铝和镁组成的组的金属M4。该粘结层具有以下特征：(c1)M(M2)<subgt;EDX</subgt;＝10重量％至20重量％，(c2)15重量％≤[M(M4)/M(M2)]<subgt;ICP</subgt;*1000重量％+M(M2)<subgt;EDX</subgt;≤100重量％以及(c3)M(Ag)<subgt;EDX</subgt;<10重量％。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

1.一种金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板包括

2.根据权利要求1所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述陶瓷体的所述陶瓷选自由氮化铝陶瓷、氮化硅陶瓷和氧化铝陶瓷组成的组。

3.根据权利要求1或2所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属层的所述金属是铜。

4.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属M1是铜。

5.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属M2是锡。

6.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属M3选自由铪、钛、锆、铌、钽、钒和铈组成的组。

7.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属M4是铋。

8.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述粘结层具有以下特征：

9.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述粘结层具有以下特征：

10.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述粘结层具有以下特征：

11.一种用于生产金属-陶瓷基板的方法，所述方法包括以下步骤：

12.一种模块，所述模块包括根据权利要求1至10中任一项所述的金属-陶瓷基板。

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板包括

2.根据权利要求1所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述陶瓷体的所述陶瓷选自由氮化铝陶瓷、氮化硅陶瓷和氧化铝陶瓷组成的组。

3.根据权利要求1或2所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属层的所述金属是铜。

4.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属m1是铜。

5.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属m2是锡。

6.根据前述权利要求中任一项所述的金属-陶瓷基板，所述金属-陶瓷基板特征在于，所述金属m3选自由铪、钛、锆、...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·施沃贝尔，D·施尼，L·涅沃拉克，M·劳尔，R·德纳迪克，
申请(专利权)人：贺利氏电子有限两合公司，
类型：发明
国别省市：

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