超声波清洗槽的捞网组件制造技术

本技术涉及超声波清洗槽部件技术领域，具体为超声波清洗槽的捞网组件，包括位于最顶部的顶板以及对称固定在顶板底部的两个L形支撑板，所述顶板下方设有可上下移动的捞网，所述顶板下方位于捞网上方安装有用于向捞网上吹风的疏风板，所述顶板底部固定连接有用于对空气进行过滤的过滤箱，所述过滤箱底部中心处通过送风管与疏风板内部连通；本技术通过设置的疏风板和喷头，可以在清洗件清洗完成后，将清洗件上的水渍吹干，进而便于在超声波清洗过程中的使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及超声波清洗槽部件，具体为超声波清洗槽的捞网组件。

技术介绍

1、在半导体物理气相沉积制程过程中，物理气相沉积制程主要是在一基板上沉积一层薄膜。首先利用一直流电源分别电性耦接至一背板及一遮覆板，遮覆板在经过一段时间的使用后需要对其进行清洗，超声波清洗也是该遮覆板清洗过程中的一道程序。

2、在超声波清洗槽中，需要使用捞网来将放置在清洗槽中的遮覆板捞出，进而使得在放入时，也是将捞网随着遮覆板一起放入的，在捞出后，遮覆板上会带有大量的水渍，且无法及时的吹干，现有技术中的捞网组件中也缺乏此类部件。鉴于此，我们提出超声波清洗槽的捞网组件。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本技术提供了超声波清洗槽的捞网组件。

2、本技术的技术方案是：

3、超声波清洗槽的捞网组件，包括位于最顶部的顶板以及对称固定在顶板底部的两个l形支撑板，所述顶板下方设有可上下移动的捞网，所述顶板下方位于捞网上方安装有用于向捞网上吹风的疏风板，所述顶板底部固定连接有用于对空气进行过滤的过滤箱，所述过滤箱底部中心处通过送风管与疏风板内部连通，所述送风管上安装有风机，所述疏风板底部安装有若干个均匀分布的喷头。

4、作为优选的技术方案，所述捞网两端均固定连接有一个侧板，所述顶板底部对称固定连接有两个分别用于驱动两个侧板上下移动的电动伸缩杆。

5、作为优选的技术方案，所述疏风板顶部对称固定连接有两个竖板，所述竖板顶部固定于顶板底部。

6、作为优选的技术方案，所述电动伸缩杆活塞杆收至最短时，所述侧板顶部与喷头底部平齐。

7、作为优选的技术方案，所述过滤箱两端均开设有一个进气口，所述过滤箱内位于两个进气口处均固定安装有若干个滤网，且越靠近过滤箱内部的滤网网孔孔径越小。

8、作为优选的技术方案，所述过滤箱内部位于其两侧的过滤网内部均安装有过滤棉，用于对空气进行二次过滤。

9、作为优选的技术方案，所述过滤箱内部位于其两侧的过滤棉内部均安装有干燥剂，用于对空气进行干燥。

10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

11、本技术通过设置的疏风板和喷头，可以在清洗件清洗完成后，将清洗件上的水渍吹干，进而便于在超声波清洗过程中的使用。

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【技术保护点】

1.超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：包括位于最顶部的顶板(1)以及对称固定在顶板(1)底部的两个L形支撑板(2)，所述顶板(1)下方设有可上下移动的捞网(3)，所述顶板(1)下方位于捞网(3)上方安装有用于向捞网(3)上吹风的疏风板(5)，所述顶板(1)底部固定连接有用于对空气进行过滤的过滤箱(6)，所述过滤箱(6)底部中心处通过送风管(7)与疏风板(5)内部连通，所述送风管(7)上安装有风机(70)，所述疏风板(5)底部安装有若干个均匀分布的喷头(50)。

2.如权利要求1所述的超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：所述捞网(3)两端均固定连接有一个侧板(30)，所述顶板(1)底部对称固定连接有两个分别用于驱动两个侧板(30)上下移动的电动伸缩杆(4)。

3.如权利要求2所述的超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：所述疏风板(5)顶部对称固定连接有两个竖板(8)，所述竖板(8)顶部固定于顶板(1)底部。

4.如权利要求3所述的超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：所述电动伸缩杆(4)活塞杆收至最短时，所述侧板(30)顶部与喷头(50)底部平齐。

5.如权利要求4所述的超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：所述过滤箱(6)两端均开设有一个进气口(60)，所述过滤箱(6)内位于两个进气口(60)处均固定安装有若干个滤网(61)，且越靠近过滤箱(6)内部的滤网(61)网孔孔径越小。

6.如权利要求5所述的超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：所述过滤箱(6)内部位于其两侧的过滤网(61)内部均安装有过滤棉(62)，用于对空气进行二次过滤。

7.如权利要求6所述的超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：所述过滤箱(6)内部位于其两侧的过滤棉(62)内部均安装有干燥剂(63)，用于对空气进行干燥。

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【技术特征摘要】

1.超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：包括位于最顶部的顶板(1)以及对称固定在顶板(1)底部的两个l形支撑板(2)，所述顶板(1)下方设有可上下移动的捞网(3)，所述顶板(1)下方位于捞网(3)上方安装有用于向捞网(3)上吹风的疏风板(5)，所述顶板(1)底部固定连接有用于对空气进行过滤的过滤箱(6)，所述过滤箱(6)底部中心处通过送风管(7)与疏风板(5)内部连通，所述送风管(7)上安装有风机(70)，所述疏风板(5)底部安装有若干个均匀分布的喷头(50)。

2.如权利要求1所述的超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：所述捞网(3)两端均固定连接有一个侧板(30)，所述顶板(1)底部对称固定连接有两个分别用于驱动两个侧板(30)上下移动的电动伸缩杆(4)。

3.如权利要求2所述的超声波清洗槽的捞网组件，其特征在于：所述疏风板(5)顶部对称固定连接有两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏洲戎，
申请(专利权)人：东莞市世平光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：