【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜设备领域，具体而言，特别是涉及一种镀膜多点顶升装置。
技术介绍
1、光伏电池的生产需要对硅片进行镀膜加工，目前主要采用pecvd工艺对硅片进行镀膜。pecvd工艺中，镀膜时需将硅片加热至预设温度，通常采用红外加热（非接触式加热）或者接触式加热，接触式加热通常采用顶升机构顶升位于镀膜腔体内的加热板，使加热板接触用于装载硅片的载板，通过加热载板使硅片升温。现有的顶升机构多采用单点顶升或者多点顶升的方式，其中，单点顶升加热板存在倾斜、边缘顶升高度变化量不一致、螺杆受力过大导致的螺杆设计强度难以满足的问题。多点顶升加热板需采用多个伺服电机，即一个顶升机构对应一个伺服电机驱动，导致成本增加。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供一种可以实现单电机驱动的多点顶升的镀膜多点顶升装置。
2、本技术的目的通过以下技术方案实现：
3、一种镀膜多点顶升装置，包括：镀膜腔体，用于加热装载有产品的载板；多个顶升机构，设于所述镀膜腔体的下方，所述顶升机构的顶升端可升降设置、并且可伸入所述镀膜腔体的内部；驱动件，用于驱动多个所述顶升机构动作；传动机构，包括用于连接多个所述顶升机构的多根传动轴、分别设于所述传动轴两端的第一锥齿轮和第二锥齿轮、以及与所述顶升机构的输入端连接的升降锥齿轮，所述第一锥齿轮可与所述升降锥齿轮啮合连接组成升降齿轮组，所述第二锥齿轮可与所述升降锥齿轮啮合连接组成换向齿轮组，所述驱动件用于驱动其中一根所述传动轴旋转。
4、上述技术方案中，通过
5、可选地，在一种可能的实现方式中，所述顶升机构包括支架、升降座、螺杆和顶升杆，所述支架固定于所述镀膜腔体的下方，所述螺杆与所述支架转动连接，所述升降座与所述螺杆螺纹连接并与所述支架滑动连接，所述顶升杆设于所述升降座且其顶端配置为所述顶升机构的顶升端，所述升降锥齿轮与所述螺杆连接。
6、上述技术方案中，传动轴通过带动第一锥齿轮的旋转，从而带动升降锥齿轮的旋转，进而同步带动螺杆的旋转，与螺杆螺纹连接的升降座由于同时与支架滑动连接，因此螺杆在旋转的同时会同步带动升降座的升降，从而带动顶升杆的升降，上述结构简单稳定，且传动精确，只需要驱动件带动传动轴的旋转，然后在多个换向齿轮组的作用下即可实现多个升降齿轮组的同步动作，即可实现多个顶升杆的升降。
7、可选地，在一种可能的实现方式中，所述螺杆的一端通过第一轴承座与所述支架转动连接、另一端连接有光轴，所述光轴通过第一联轴器与所述螺杆连接，所述升降锥齿轮设于所述光轴上。
8、上述技术方案中，第一轴承座的设置可以方便将螺杆安装在支架上，同时提高螺杆在转动时的流畅性和稳定性，光轴和第一联轴器的设置是为了方便维护，即在升降锥齿轮因磨损等原因而导致传动不精确时，可以通过仅拆卸光轴进行升降锥齿轮的更换，而不需要拆卸整根螺杆，后期的维护简单且成本更低。
9、可选地，在一种可能的实现方式中，所述顶升机构还包括密封件，所述密封件套设于所述顶升杆的外周。
10、上述技术方案中，密封件用于密封顶升杆与镀膜腔体之间的间隙，提升镀膜的效果。
11、可选地，在一种可能的实现方式中，所述支架上固定设有滑轨，所述升降座上固定设有滑块，所述滑块滑动设置在所述滑轨上。
12、上述技术方案中，滑块和滑轨的设置可以使得升降座仅能沿着滑轨的方向移动，从而确保升降座移动的稳定性和精确性。
13、可选地，在一种可能的实现方式中，所述传动轴的两端均连接有快换轴，所述快换轴通过第二联轴器与所述传动轴连接，所述第一锥齿轮或所述第二锥齿轮固定于所述快换轴上。
14、上述技术方案中，设于传动轴相对两端的第一锥齿轮和第二锥齿轮均通过快换轴和第二联轴器进行连接，如此可以更加方便第一锥齿轮或第二锥齿轮的维护保养，方便二者的拆卸和更换。
15、可选地，在一种可能的实现方式中，还包括保护壳体，所述升降锥齿轮、第一锥齿轮和第二锥齿轮均位于所述保护壳体的内部，所述快换轴通过第二轴承座设于所述保护壳体的外壁。
16、上述技术方案中，保护壳体的设置一方面可以保护升降锥齿轮、第一锥齿轮和第二锥齿轮，避免外界杂质的混入造成污染而加剧磨损，另一方面可以方便快换轴的安装，可以对快换轴和传动轴起到支撑作用。
17、可选地，在一种可能的实现方式中，还包括动力齿轮组，所述动力齿轮组包括主齿轮和从齿轮，所述主齿轮与所述驱动件的输出端连接，所述从齿轮与其中一根所述传动轴连接并与所述主齿轮啮合连接。
18、上述技术方案中，由于传动轴的相对两端分别设有第一锥齿轮和第二锥齿轮，因此为了实现传动轴的旋转，通过动力齿轮组与驱动件连接，驱动件通过驱动主齿轮的旋转，即可带动从齿轮和传动轴的旋转，结构简单，传动精确且稳定。
19、可选地，在一种可能的实现方式中，所述传动轴的数量为所述顶升机构的数量减一。
20、上述技术方案中，传动轴的数量比顶升机构的数量少一，在减少了零部件的使用的前提下可以串联多个顶升机构，即可以有效确保多个顶升机构的同步动作，还可以避免产生运动干涉，降低设备成本。
21、可选地，在一种可能的实现方式中，所述支架上在所述升降座的移动路径上间隔设有两个到位检测传感器，所述升降座设有与所述到位检测传感器相匹配的感应片。
22、上述技术方案中，通过到位检测传感器来实时检测顶升机构的位置，当驱动件驱动顶升机构升降到位后，若到位检测传感器未检测到感应片，则发出警报，即有可能是顶升机构或传动机构异常，导致顶升机构升降精度发生变化，可以方便技术人员及时处理。
23、本技术相较于现有技术的有益效果是：
24、本技术的镀膜多点顶升装置，通过多个顶升机构共同对加热板进行支撑，可以实现加热板的多点支撑，从而有效减少加热板在升降过程中产生的倾斜，提高载板加热的均匀性；驱动件可通过传动机构同步驱动多个顶升机构动作，即采用单驱动件即可驱动多个顶升机构同步顶升，相较于传动的多伺服电机控制，无需控制多个伺服电机同步，对程序依赖度更低、控制难度更低、且成本更低。
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1.一种镀膜多点顶升装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述顶升机构包括支架、升降座、螺杆和顶升杆，所述支架固定于所述镀膜腔体的下方，所述螺杆与所述支架转动连接，所述升降座与所述螺杆螺纹连接并与所述支架滑动连接，所述顶升杆设于所述升降座且其顶端配置为所述顶升机构的顶升端，所述升降锥齿轮与所述螺杆连接。
3.根据权利要求2所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述螺杆的一端通过第一轴承座与所述支架转动连接、另一端连接有光轴，所述光轴通过第一联轴器与所述螺杆连接，所述升降锥齿轮设于所述光轴上。
4.根据权利要求2所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述顶升机构还包括密封件，所述密封件套设于所述顶升杆的外周。
5.根据权利要求2所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述支架上固定设有滑轨，所述升降座上固定设有滑块，所述滑块滑动设置在所述滑轨上。
6.根据权利要求2所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述传动轴的两端均连接有快换轴，所述快换轴通过第二联轴器与所述传动轴连接，所述第一锥齿轮或
7.根据权利要求6所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，还包括保护壳体，所述升降锥齿轮、第一锥齿轮和第二锥齿轮均位于所述保护壳体的内部，所述快换轴通过第二轴承座设于所述保护壳体的外壁。
8.根据权利要求1所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，还包括动力齿轮组，所述动力齿轮组包括主齿轮和从齿轮，所述主齿轮与所述驱动件的输出端连接，所述从齿轮与其中一根所述传动轴连接并与所述主齿轮啮合连接。
9.根据权利要求1所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述传动轴的数量为所述顶升机构的数量减一。
10.根据权利要求2所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述支架上在所述升降座的移动路径上间隔设有两个到位检测传感器，所述升降座设有与所述到位检测传感器相匹配的感应片。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜多点顶升装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述顶升机构包括支架、升降座、螺杆和顶升杆，所述支架固定于所述镀膜腔体的下方，所述螺杆与所述支架转动连接，所述升降座与所述螺杆螺纹连接并与所述支架滑动连接，所述顶升杆设于所述升降座且其顶端配置为所述顶升机构的顶升端，所述升降锥齿轮与所述螺杆连接。
3.根据权利要求2所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述螺杆的一端通过第一轴承座与所述支架转动连接、另一端连接有光轴，所述光轴通过第一联轴器与所述螺杆连接，所述升降锥齿轮设于所述光轴上。
4.根据权利要求2所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述顶升机构还包括密封件，所述密封件套设于所述顶升杆的外周。
5.根据权利要求2所述的镀膜多点顶升装置，其特征在于，所述支架上固定设有滑轨，所述升降座上固定设有滑块，所述滑块滑动设置在所述滑轨上。
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：广东利元亨智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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