【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏设备，具体涉及镀膜工装及光伏设备生产线。
技术介绍
1、随着光伏产业的发展与进步，越来越多的晶硅太阳能电池技术(如perc、topcon等)在光伏市场中得以广泛应用，尤其是topcon(tunnel oxide passivated contact)电池技术。镀膜工序是晶硅太阳能电池制造过程中的重要工序，主要为通过ald(原子层沉积)工艺在硅片上镀氧化铝薄膜，镀膜的均匀性将会直接影响晶硅太阳能电池的转化效率。
2、目前，现有晶硅太阳能电池的硅片镀膜通常为静置在镀膜设备中进行，硅片通常放置在石墨框中且位置相对固定，镀膜时硅片各个位置处的镀膜厚度难以保证一致，从而会对钝化性能以及电池效率产生不利影响，因此，现有硅片的镀膜方式还存在镀膜均匀性差的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术提供了一种镀膜工装及光伏设备生产线，以解决现有硅片的镀膜方式镀膜均匀性差的问题。
2、第一方面，本技术提供了一种镀膜工装，应用于硅片的镀膜过程，包括：放置台，具有放置硅片的放置位；驱动结构，设置在放置台的一侧并与放置台连接，驱动结构具有驱动放置台转动的驱动状态和使放置台保持静止的停止状态，驱动结构适于驱动放置台转动，以提升放置位中的硅片的镀膜均匀性，位置检测结构，适于检测放置台的转动位置。
3、有益效果：在放置台的一侧设置驱动结构，硅片需要进行镀膜工艺时将硅片放置在放置位中，当放置台移动进入预热腔或工艺腔后，此时驱动结构驱动放置台转动，硅片便会随着放置台一
4、在一种可选的实施方式中，放置台的顶部向下凹陷形成放置槽，放置槽的底面形成放置位。
5、有益效果：硅片放置在放置槽中，当放置台旋转时，放置槽可有效限制硅片的移动，使硅片在转动过程中更为稳定。
6、在一种可选的实施方式中，放置槽为矩形槽。
7、有益效果：由于硅片多为矩形，矩形的放置槽能够有效的与硅片的形状进行匹配，当硅片放入放置槽中后能够与放置槽的壁面更为匹配，进而减少硅片与放置槽之间的缝隙，减小硅片移动的可能性。
8、在一种可选的实施方式中，放置台呈圆柱状。
9、有益效果：放置台的轮廓即为自身转动时的边界，布置时只要使放置台的边缘与其他部件具有一定间距，即可有效防止放置台在转动时与其他部件产生干涉。
10、在一种可选的实施方式中，镀膜工装还包括定位框，定位框具有镀膜位，放置台可转动的设置在镀膜位中。
11、有益效果：定位框可有效的限制放置台的移动，使得放置台仅能够在镀膜位中转动，结构简单可靠。
12、在一种可选的实施方式中，位置检测结构包括第一感应器和第二感应器，第一感应器设置在放置台的边缘处，第二感应器设置于放置台一侧的定位框。
13、有益效果：当第一感应器和第二感应器处于图中的相对位置时，即为放置台的初始位置，当第一感应器随着放置台转动，每次经过第二感应器时，第二感应器便可以进行记录，当放置台离开预热腔或工艺腔时，使得放置台在第一感应器和第二感应器位置最近的地方停止，即可保证放置台离开时仍为进入时的初始位置，结构简单巧妙。
14、在一种可选的实施方式中，放置台的数量为多个，定位框中间隔设有对应每个放置台的镀膜位，驱动结构设置在放置台的下方并驱动对应的放置台转动。
15、有益效果：定位框中设置多个放置，能够一次性对多个硅片同时进行镀膜操作，提升镀膜效率。
16、在一种可选的实施方式中，驱动结构包括多个驱动电机，每个驱动电机设置在对应的放置台的底部。
17、有益效果：通过单独的驱动电机驱动对应的放置台可保证每个放置台转动的可靠性，并且可以根据需求单独调节其中单个驱动电机的驱动速度。
18、在一种可选的实施方式中，镀膜工装还包括控制组件，驱动结构以及位置检测结构均与控制组件连接。
19、有益效果：控制组件可根据位置检测结构测得的数据进行计算并控制驱动结构的工作状态。
20、第二方面，本技术还提供了一种光伏设备生产线，其包括：镀膜设备；上述的镀膜工装，适于在镀膜设备中承载硅片并进行镀膜过程。
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1.一种镀膜工装，应用于硅片(5)的镀膜过程，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜工装，其特征在于，所述放置台(1)的顶部向下凹陷形成放置槽，所述放置槽的底面形成所述放置位(101)。
3.根据权利要求2所述的镀膜工装，其特征在于，所述放置槽为矩形槽。
4.根据权利要求2所述的镀膜工装，其特征在于，所述放置台(1)呈圆柱状。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的镀膜工装，其特征在于，所述镀膜工装还包括定位框(3)，所述定位框(3)具有镀膜位，所述放置台(1)可转动的设置在所述镀膜位中。
6.根据权利要求5所述的镀膜工装，其特征在于，所述位置检测结构包括第一感应器(401)和第二感应器(402)，所述第一感应器(401)设置在所述放置台(1)的边缘处，所述第二感应器(402)设置于所述放置台(1)一侧的定位框(3)。
7.根据权利要求5所述的镀膜工装，其特征在于，所述放置台(1)的数量为多个，所述定位框(3)中间隔设有对应每个所述放置台(1)的所述镀膜位，所述驱动结构(2)设置在所述放置台(1)的下
8.根据权利要求7所述的镀膜工装，其特征在于，所述驱动结构(2)包括多个驱动电机，每个驱动电机设置在对应的所述放置台(1)的底部。
9.根据权利要求1至4中任一项所述的镀膜工装，其特征在于，所述镀膜工装还包括控制组件，所述驱动结构(2)以及所述位置检测结构均与所述控制组件连接。
10.一种光伏设备生产线，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜工装，应用于硅片(5)的镀膜过程，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜工装，其特征在于，所述放置台(1)的顶部向下凹陷形成放置槽，所述放置槽的底面形成所述放置位(101)。
3.根据权利要求2所述的镀膜工装，其特征在于，所述放置槽为矩形槽。
4.根据权利要求2所述的镀膜工装，其特征在于，所述放置台(1)呈圆柱状。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的镀膜工装，其特征在于，所述镀膜工装还包括定位框(3)，所述定位框(3)具有镀膜位，所述放置台(1)可转动的设置在所述镀膜位中。
6.根据权利要求5所述的镀膜工装，其特征在于，所述位置检测结构包括第一感应器(401)和第二感应器(402)，所述第一感应器(401...
【专利技术属性】
技术研发人员：季瑄，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：
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