【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏领域，具体而言，涉及一种太阳能基板的出片装置及真空镀膜生产线。
技术介绍
1、近年来，在技术进步的推动下，我国光伏发电产业取得了快速发展，产业规模和技术水平均达到世界领先水平。太阳能基板镀膜产线作为太阳能发电板的主要生产设备，其研发水平也在不断提高。
2、太阳能基板在镀膜产线中需要加热至指定温度后才能进行镀膜工艺，完成镀膜工艺脱离产线后，因镀膜产线与常温环境温差较大，玻璃基板进入常温状态后会迅速冷却，从而引起基板的破碎，从而造成一定的经济损失。
3、现有技术中存在一种压缩空气导流结构，对玻璃基板吹气，从而减少因瞬间温度差较大引起的基板破碎，但是在吹气过程中，基板破碎率仍然较高。
技术实现思路
1、本专利技术的主要目的在于提供一种太阳能基板的出片装置及真空镀膜生产线，以解决现有技术中镀膜基板出片时破碎率高的问题。
2、为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种太阳能基板的出片装置，包括：基体，具有玻璃基片的出片腔室；基片运输装置，设置于出片腔室内用以运输基片；上导气装置，在上下方向上设置于出片腔室的腔顶壁与基片运输装置之间，上导气装置包括气流通道以及与气流通道连通的第一气体进口和多个向下出风的第一气体出口，多个第一气体出口在水平面内均匀布置；缓冲件，止挡于多个第一气体出口处，缓冲件与上导气装置的下表面之间具有第一出风间隙。
3、在一个实施方式中，上导气装置的下表面具有斜向下倾斜的导风面。
4、在
5、在一个实施方式中，气流通道包括进气通道以及多条并行的出气通道，进气通道与多条出气通道连通，第一气体进口与进气通道连通，各出气通道的通道底部均设置有与其连通的多个第一气体出口，多个第一气体出口沿出气通道的延伸方向均匀布置。
6、在一个实施方式中，上导气装置的下表面上设置有与多个出气通道相对的多个第一导风槽，第一导风槽的位于出气通道相对两侧的槽侧壁斜向下倾斜设置，且倾斜方向相反。
7、在一个实施方式中，缓冲件为设置于第一导风槽的下部开口处的缓冲板，缓冲板沿第一导风槽的长度方向延伸。
8、在一个实施方式中，上导气装置包括第一导气板以及第二导气板，气流通道设置于第一导气板上，第二导气板上设置有与第一导气板上的多个出气通道一一对应的连通通道，连通通道的底部设置有贯穿第二导气板的下表面的多个第三气体出口，多个第三气体出口沿连通通道的延伸方向均匀布置，缓冲件止挡于多个第三气体出口处，缓冲件与第二导气板的下表面之间具有第三出风间隙。
9、在一个实施方式中，上导气装置包括至少一组上导气板组，各组上导气板组均包括两个第一导气板以及设置于两个第一导气板之间的第二导气板，在上导气板组为多组的情况下，多组上导气板组平行于进气通道的方向上并列布置。
10、在一个实施方式中，太阳能基板的出片装置还包括：上导气装置控制气阀，设置于第一气体进口处。
11、在一个实施方式中，基片运输装置包括并行布置的多个辊子，太阳能基板的出片装置还包括：下导气装置，在上下方向上设置于出片腔室的腔底壁与多个辊子的下表面之间，下导气装置包括第二气体进口和多个向上出风的第二气体出口，多个第二气体出口在水平面内均匀布置，多个辊子止挡于多个第二气体出口处，辊子与下导气装置的上表面之间具有第二出风间隙。
12、在一个实施方式中，下导气装置的上表面设置有与多个辊子一一对应的多个第二导风槽，第二导风槽的槽壁为与辊子的下表面适配的弧形，辊子的下部容纳于第二导风槽内，第二气体出口设置于第二导风槽的槽壁上。
13、在一个实施方式中，下导气装置包括多个第三导气板，各第三导气板的上表面上设置有多个导风通槽，在导风通槽的延伸方向上相邻的两个第三导气板上的各导风通槽一一对应，以形成多个第二导风槽，导风通槽上设置有上下贯通的多个通孔，通孔的上部开口形成第二气体出口，通孔的下部开口形成第二气体进口。
14、在一个实施方式中，出片腔室的腔底壁与下导气装置的下表面之间具有过流间隙，过流间隙与第二气体进口连通，腔底壁上设置有与过流间隙连通的下进气口。
15、在一个实施方式中，太阳能基板的出片装置还包括：下导气装置控制气阀，设置于下进气口处。
16、在一个实施方式中，下导气装置包括多组下导气板组，各组下导气板组均包括多个第三导气板，多组下导气板组沿垂直于第二导风槽的方向上并列布置。
17、根据本专利技术的另一方面，提供了一种真空镀膜生产线，包括：太阳能基板的出片装置，太阳能基板的出片装置为上述的太阳能基板的出片装置；空压机，用以为太阳能基板的出片装置的上导气装置的第一气体进口提供压缩气体。
18、根据本专利技术的最后一方面，提供了一种真空镀膜生产线，包括：太阳能基板的出片装置，太阳能基板的出片装置为上述的太阳能基板的出片装置；空压机，用以为太阳能基板的出片装置的下导气装置的第二气体进口提供压缩气体。
19、应用本专利技术的技术方案，当玻璃基片镀膜完成进入出片腔室后，气体经过上导气装置上的均匀布置的第一气体出口后吹向玻璃基片，使得气流分布均匀以实现对玻璃基板上表面均匀吹气，有效降低玻璃基板离开镀膜产线时的温度，从而减少因瞬间温度差较大引起的基板破碎。更重要的是，由第一气体出口流出的气体并非直接冲击在玻璃基片，而是冲击在缓冲件上。经过缓冲件阻挡后的气体通过第一出风间隙后吹向玻璃基片。在上述结构中，经过缓冲件缓冲后的气体朝向玻璃基片方向上的速度明显下降，从而避免气体对玻璃基片的直接冲击。通过合理的气流分布以及减缓气体对玻璃基片的冲击力，能够大大降低了玻璃基片破碎的概率，进而很大程度上减少了因基板破碎带来的经济损失。
20、除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本专利技术还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本专利技术作进一步详细的说明。
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1.一种太阳能基板的出片装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)的下表面具有斜向下倾斜的导风面。
3.根据权利要求2所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)的下表面上设置有第一导风槽(34)，所述第一气体出口(33)设置于所述第一导风槽(34)上，所述第一导风槽(34)的槽侧壁形成所述导风面，至少部分所述缓冲件(40)设置于所述第一导风槽(34)内。
4.根据权利要求1所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述气流通道(31)包括进气通道(311)以及多条并行的出气通道(312)，所述进气通道(311)与多条所述出气通道(312)连通，所述第一气体进口(32)与所述进气通道(311)连通，各所述出气通道(312)的通道底部均设置有与其连通的多个所述第一气体出口(33)，多个所述第一气体出口(33)沿所述出气通道(312)的延伸方向均匀布置。
5.根据权利要求4所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)的下表面上设置有与多个所
6.根据权利要求5所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述缓冲件(40)为设置于所述第一导风槽(34)的下部开口处的缓冲板，所述缓冲板沿所述第一导风槽(34)的长度方向延伸。
7.根据权利要求4所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)包括第一导气板(35)以及第二导气板(36)，所述气流通道(31)设置于所述第一导气板(35)上，所述第二导气板(36)上设置有与所述第一导气板(35)上的多个所述出气通道(312)一一对应的连通通道(361)，所述连通通道(361)的底部设置有贯穿所述第二导气板(36)的下表面的多个第三气体出口(362)，多个所述第三气体出口(362)沿所述连通通道(361)的延伸方向均匀布置，所述缓冲件(40)止挡于多个所述第三气体出口(362)处，所述缓冲件(40)与所述第二导气板(36)的下表面之间具有第三出风间隙(4)。
8.根据权利要求7所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)包括至少一组上导气板组(38)，各组所述上导气板组(38)均包括两个所述第一导气板(35)以及设置于两个所述第一导气板(35)之间的所述第二导气板(36)，在所述上导气板组(38)为多组的情况下，多组所述上导气板组(38)平行于所述进气通道(311)的方向上并列布置。
9.根据权利要求1所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述出片装置还包括：
10.根据权利要求1所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述基片运输装置(20)包括并行布置的多个辊子(21)，所述出片装置还包括：
11.根据权利要求10所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述下导气装置(60)的上表面设置有与多个所述辊子(21)一一对应的多个第二导风槽(63)，所述第二导风槽(63)的槽壁为与所述辊子(21)的下表面适配的弧形，所述辊子(21)的下部容纳于所述第二导风槽(63)内，所述第二气体出口(62)设置于所述第二导风槽(63)的槽壁上。
12.根据权利要求11所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述下导气装置(60)包括多个第三导气板(64)，各所述第三导气板(64)的上表面上设置有多个导风通槽(641)，在所述导风通槽(641)的延伸方向上相邻的两个所述第三导气板(64)上的各所述导风通槽(641)一一对应，以形成多个所述第二导风槽(63)，所述导风通槽(641)上设置有上下贯通的多个通孔(642)，所述通孔(642)的上部开口形成所述第二气体出口(62)，所述通孔(642)的下部开口形成所述第二气体进口(61)。
13.根据权利要求10所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述出片腔室(11)的腔底壁(112)与所述下导气装置(60)的下表面之间具有过流间隙(3)，所述过流间隙(3)与所述第二气体进口(61)连通，所述腔底壁(112)上设置有与所述过流间隙(3)连通的下进气口(113)。
14.根据权利要求13所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述出片装置还包括：
15.根据权利要求12所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述下导气装置(60)包括多组下导气板组(65)，各组所述下导气板组(65)均包括多个所述第三导气板(64)，多组所述...
【技术特征摘要】
1.一种太阳能基板的出片装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)的下表面具有斜向下倾斜的导风面。
3.根据权利要求2所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)的下表面上设置有第一导风槽(34)，所述第一气体出口(33)设置于所述第一导风槽(34)上，所述第一导风槽(34)的槽侧壁形成所述导风面，至少部分所述缓冲件(40)设置于所述第一导风槽(34)内。
4.根据权利要求1所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述气流通道(31)包括进气通道(311)以及多条并行的出气通道(312)，所述进气通道(311)与多条所述出气通道(312)连通，所述第一气体进口(32)与所述进气通道(311)连通，各所述出气通道(312)的通道底部均设置有与其连通的多个所述第一气体出口(33)，多个所述第一气体出口(33)沿所述出气通道(312)的延伸方向均匀布置。
5.根据权利要求4所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)的下表面上设置有与多个所述出气通道(312)相对的多个第一导风槽(34)，所述第一导风槽(34)的位于所述出气通道(312)相对两侧的槽侧壁斜向下倾斜设置，且倾斜方向相反。
6.根据权利要求5所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述缓冲件(40)为设置于所述第一导风槽(34)的下部开口处的缓冲板，所述缓冲板沿所述第一导风槽(34)的长度方向延伸。
7.根据权利要求4所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)包括第一导气板(35)以及第二导气板(36)，所述气流通道(31)设置于所述第一导气板(35)上，所述第二导气板(36)上设置有与所述第一导气板(35)上的多个所述出气通道(312)一一对应的连通通道(361)，所述连通通道(361)的底部设置有贯穿所述第二导气板(36)的下表面的多个第三气体出口(362)，多个所述第三气体出口(362)沿所述连通通道(361)的延伸方向均匀布置，所述缓冲件(40)止挡于多个所述第三气体出口(362)处，所述缓冲件(40)与所述第二导气板(36)的下表面之间具有第三出风间隙(4)。
8.根据权利要求7所述的太阳能基板的出片装置，其特征在于，所述上导气装置(30)包括至少一组上导气板组(38)，各...
【专利技术属性】
技术研发人员：张亚川，王刚，庞争林，苌永恒，马磊，
申请(专利权)人：开封宸亚新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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