【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，尤其涉及一种基于三向应变的薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法。
技术介绍
1、航天飞行器的核心部件是涡轮发动机，涡轮发动机主要由叶片组成，发动机叶片工作在太空环境下，需要在高温、高压、强辐射、强震动的恶劣环境下长时间工作，容易产生疲劳裂纹甚至断裂的情况，这种情况对发动机有着致命的威胁，因此，为了保证发动机的正常工作，需要对发动机叶片等高温构件的温度、应变等参数进行实时监测。
2、现有技术通常通过薄膜应变传感器对应变进行实时监测，通过薄膜温度传感器对温度进行实时监测，但是，在航空航天领域中，涡轮发动机的内部空间有限，分别采用薄膜应变传感器和薄膜温度传感器进行应变和温度的监测，占用空间较大，影响发动机性能。
技术实现思路
1、本专利技术实施例提供一种薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，以解决现有技术薄膜传感器占用空间较大等问题。
2、第一个方面，本专利技术实施例提供一种薄膜传感器，包括：
3、至少一个三向应变敏感单元；
4、每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；
5、通过检测获得各应变栅的压降，基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量和/或温度。
6、第二个方面，本专利技术实施例提供一种参数检测方法，包括：
7、获取薄膜传感器的各应变栅的压降；所述薄膜传感器包括至少一个三向应变敏感单元，每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；
8、基于各应变栅的压降，确定待测构件的应变量和/或温度。
9、第三个方面，本专利技术实施例提供一种薄膜传感器的制备方法，包括：
10、对原基底进行清洗获得清洗后基底；
11、在所述清洗后基底上沉积绝缘层，获得第一基底；
12、对所述第一基底进行应变栅图形化后，沉积应变敏感层，获得第二基底，所述应变敏感层包括至少一个三向应变敏感单元，每个三向应变敏感单元包括三个应变栅，三个应变栅串联形成等边三角形；
13、在所述第二基底上形成保护层，获得薄膜传感器。
14、本专利技术实施例提供的薄膜传感器及其制备方法、参数检测方法，通过采用三向应变敏感单元，三个应变栅串联形成等边三角形，可通过较少导线检测各应变栅的压降，同时获得待测构件的应变和温度变化，有效降低薄膜传感器的占用面积，实现薄膜传感器小型化、多功能化、集成化，解决现有技术发动机内部空间不足的问题。
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1.一种薄膜传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，所述薄膜传感器包括至少两个三向应变敏感单元时，各三向应变敏感单元串联，相邻两个三向应变敏感单元共享一个应变栅作为一条边。
3.根据权利要求2所述的薄膜传感器，其特征在于，相邻两个三向应变敏感单元共用两个连接点；
4.根据权利要求3所述的薄膜传感器，其特征在于，所述薄膜传感器还包括第五导线和第六导线；
5.根据权利要求1-4中任一项所述的薄膜传感器，其特征在于，还包括：基于各应变栅的压降确定待测构件的应变量。
6.一种参数检测方法，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：基于各应变栅的压降，确定待测构件的应变量。
8.一种如权利要求1-5中任一项所述的薄膜传感器的制备方法，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种薄膜传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的薄膜传感器，其特征在于，所述薄膜传感器包括至少两个三向应变敏感单元时，各三向应变敏感单元串联，相邻两个三向应变敏感单元共享一个应变栅作为一条边。
3.根据权利要求2所述的薄膜传感器，其特征在于，相邻两个三向应变敏感单元共用两个连接点；
4.根据权利要求3所述的薄膜传感器，其特征在于，所述薄膜传感器还...
【专利技术属性】
技术研发人员：董和磊，谭秋林，熊继军，张磊，李翔鹏，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：
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