【技术实现步骤摘要】
本专利文档中所公开的技术和实现总体上涉及图像感测装置及用于制造该图像感测装置的方法。
技术介绍
1、图像传感器用于电子装置中，以将光图像转换成电信号。随着汽车、医疗、计算机和通信行业的近期发展，在诸如数码相机、便携式摄像机、个人通信系统(pcs)、视频游戏机、监控摄像头、医疗微型摄像头、机器人等的各种电子装置中，对高度集成的、更高性能的图像传感器的需求已经迅速增加。
技术实现思路
1、所公开技术的各种实施方式涉及用于更容易地形成图像感测装置的包括白滤色器的滤色器的方法。
2、根据本公开技术的实施方式，一种用于制造图像感测装置的方法可以包括：在半导体基板上方形成栅格结构，以提供用于设置滤色器的空间；在由栅格结构限定的空间中的一些空间中形成第一滤色器、第二滤色器、第三滤色器，第一滤色器、第二滤色器和第三滤色器分别透射与第一颜色、第二颜色和第三颜色相对应的光；形成外覆层，以覆盖第一滤色器至第三滤色器，外覆层填充由栅格结构限定的空间中的剩余空间，剩余空间中没有第一滤色器至第三滤色器；以及在外覆层上方形成微透镜。
3、根据所公开技术的另一实施方式，一种图像感测装置可以包括：栅格结构，其设置在半导体基板上方并且包括填充有空气的部分；多个第一滤色器，其设置在由栅格结构限定的空间当中的第一空间中，每个第一滤色器透射对应于第一颜色的光；多个第二滤色器，其设置在由栅格结构限定的空间当中的第二空间中，每个第二滤色器透射对应于第二颜色的光；多个第三滤色器，其设置在由栅格结构限定的空
4、将理解，所公开技术的前述概括描述和以下详细描述二者都是示例性和解释性的，旨在提供对所要求保护的公开内容的进一步解释。
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1.一种用于制造图像感测装置的方法，该方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述栅格结构的步骤包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的方法，其中，形成所述第一滤色器至所述第三滤色器的步骤包括以下步骤：
4.根据权利要求2所述的方法，其中，执行所述等离子体工艺以在已经去除所述牺牲层图案的位置处形成填充有空气的区域。
5.根据权利要求2所述的方法，其中，使用氧气、氮气或氢气中的至少一种来执行所述等离子体工艺。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述第一滤色器至所述第三滤色器的步骤包括以下步骤：
7.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述第一滤色器至所述第三滤色器的步骤包括以下步骤：
8.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述第一滤色器至所述第三滤色器的步骤还包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述的方法，其中，
10.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述外覆层的步骤包括以下步骤：
11.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述外覆层
12.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：
13.根据权利要求12所述的图像感测装置，其中，所述栅格结构还包括：
14.根据权利要求13所述的图像感测装置，其中，
15.根据权利要求12所述的图像感测装置，其中，
16.根据权利要求15所述的图像感测装置，其中，
17.根据权利要求12所述的图像感测装置，其中，
18.根据权利要求13所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括抗反射层，该抗反射层设置在所述半导体基板上并且具有与所述覆盖层的材料相同的材料。
...【技术特征摘要】
1.一种用于制造图像感测装置的方法，该方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述栅格结构的步骤包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的方法，其中，形成所述第一滤色器至所述第三滤色器的步骤包括以下步骤：
4.根据权利要求2所述的方法，其中，执行所述等离子体工艺以在已经去除所述牺牲层图案的位置处形成填充有空气的区域。
5.根据权利要求2所述的方法，其中，使用氧气、氮气或氢气中的至少一种来执行所述等离子体工艺。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述第一滤色器至所述第三滤色器的步骤包括以下步骤：
7.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述第一滤色器至所述第三滤色器的步骤包括以下步骤：
8.根据权利要求1所述的方法，其中，形成所述第一滤色器至所述第三滤色器的步骤还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：金元振，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：
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