多晶硅氢化炉双层导流隔热罩制造技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。本发明专利技术通过设置两层隔热罩，两层隔热罩之间形成导流通道，工艺尾气经该导流通道进入内层隔热罩内的反应区，第一，工艺尾气是热的不良导体，可以起到很好的隔热作用；第二，工艺尾气在经过导流通道时吸收由反应区传来的热量后被预热，可以提高进后反应区后反应效率；第三，双层隔热罩所形成的气流方向使设备更加安全和稳定。

Double layer diversion heat insulation cover of polycrystalline silicon hydrogenation furnace

The invention discloses a double polysilicon furnace diversion heat shield, including the inner insulation cover and is arranged at the inner side of the outer insulation heat shield cover, the inner cover and the outer insulation insulation insulation cover is arranged at the bottom of the chassis, the diversion channel forming the inner and outer heat shield heat shield between the lower part; the outer insulation cover is provided with an inlet channel, the upper part of the inner insulation cover is provided with an inlet channel. By setting the two layer heat shield, the diversion channel is formed between the two layers of heat shield, process exhaust through the reaction zone, the diversion channel into the inner heat shield in the first process gas is a poor conductor of heat, can play a very good thermal insulation; second, process gas is absorbed by the heat of reaction zone after the diversion channel after being preheated, into the reaction zone can improve the reaction efficiency; third, double insulated hood airflow direction formed that make the machine more safety and stability.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种隔热罩，特别是一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，属于 太阳能光伏能源

技术介绍
随着国际电子信息产业和光伏产业的迅猛发展，多晶硅产品巿场 一 直方兴 未艾。伴随着多晶硅的生产，工艺尾气中的四氯化硅的处理问题日益凸显。若 处理不善，会产生严重的环境污染问题。而且，随着巿场竟争的加剧，业界也 迫切希望增产减排，循环利用四氯化硅。多晶硅氢化炉作为工艺尾气处理装置，其工艺条件非常苛刻，四氯化硅需要在120(TC以上的高温下进行反应，对设备的安全性和材料的选择提出了很高 的要求。业界一般同时釆用下述两种方法处理 一是使用单层隔热罩，二是釆 用冷却水对金属壳体进行冷却。使用单层隔热罩，不能起到很好的隔热效果， 易导致金属壳体温度过高而产生安全问题，对金属材料的选用提出了更高的要 求。釆用冷却水进行冷却的方法，虽然能在一定程度上降低金属壳体的温度， 但是冷却水将带走大量的热量，不利于环保节能。由于金属壳体的温度高，为 有效地保证冷却效果，冷却系统的技术要求也须相应提高。另外，工艺尾气进入氢化炉的方式，业内通常釆用底部进气的方法。由于 气流的速度非常高，尾气对隔热罩产生很大的向上的推力，易造成隔热罩不稳 定从而引发安全问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，能够 克服上述不足，实现优良的隔热效果，高效地利用能源，提高设备安全性和稳 定性，降低生产难度。为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，3包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩 和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流 通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气 通道。进一步地，所述内层隔热罩由内层隔热简和设置其顶部的内层隔热盖构成，所述外层隔热罩由外层隔热简和设置其顶部的外层隔热盖构成；所述隔热底盘 设置在所述内层隔热简和外层隔热简的底部。进一步地，所述内层隔热简和外层隔热简同轴设置。进一步地，所述内层隔热盖为平板形、弧形或锥形；所述外层隔热盖为平 板形、弧形或锥形。进一步地，所述隔热底盘只连接安装在所述内层隔热简的底部；或者所述 隔热底盘同时连接安装在所述内层隔热简和外层隔热简的底部。进一步地，所述内层隔热罩上的进气通道设置在所述内层隔热简的上部。进一步地，所述内层隔热罩上的进气通道设置在所述内层隔热盖上。进一步地，所述内层隔热罩上的进气通道有一圈或多圏，每圈进气通道包 括多个进气孔。进一步地，所述外层隔热罩上的进气通道有一排或多排，每排进气通道包 括多个进气孔。本专利技术通过设置两层隔热罩，两层隔热罩之间形成导流通道，工艺尾气经 该导流通道进入内层隔热罩内的反应区，第一，工艺尾气是热的不良导体，可 以起到很好的隔热作用；第二，工艺尾气在经过导流通道时吸收由反应区传来 的热量后被预热，可以提高进后反应区后反应效率；第三，双层隔热罩所形成 的气流方向使设备更加安全和稳定。附图说明图l是本专利技术的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩的一实施例的剖视图。图中l.外层隔热盖，2.内层隔热盖，3.外层隔热简，4.内层隔热简，5.隔热底盘。具体实施例方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，以使本领域的技术人 员可以更好的理解本专利技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本专利技术的限定。如图l所示，在本专利技术的一实施例中，多晶硅氢化炉双层导流隔热罩包括 内层隔热罩和外层隔热罩，内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道。其中，内层隔热罩由内层隔热简4和设置其顶部的内层隔热盖2构成，外层隔热罩由 外层隔热简3和设置其顶部的外层隔热盖1构成。内层隔热盖2和外层隔热盖 l可以釆用平板形、弧形和锥形中的任意一种，且内层隔热盖2和外层隔热盖1 可以釆用不同形状。在内层隔热筒4和外层隔热简3的底部设有隔热底板5, 隔热底板5既可以单独连接安装在内层隔热简4的底部，也可以同时连接安装 在内层隔热简4和外层隔热简3的底部。在其它实施例中，内层隔热罩和外层 隔热罩也可以分别制成一个整体。为了使气流组织更均匀，内层隔热罩和外层 隔热罩最好同轴设置。在外层隔热罩的下部设有进气通道，该进气通道可以有一排或多排，每排 可以有多个通气孔；在内层隔热罩的上部设有进气通道，该进气通道有一圏或 多圈，每圈进气通道可以包括多个进气孔。在本实施例中，内层隔热罩上的进 气通道设置在了内层隔热盖2上，在其它实施例中，内层隔热罩上的进气通道 也可以设置在内层隔热简4的上部。在运行时，本专利技术的双层导流隔热罩的外层隔热罩与多晶硅氢化炉的金属 壳体(图中未示出)之间形成一个环形空间，工艺尾气进入设备内部之后，经 外层隔热罩与金属壳体之间的环形空间向下，从外层隔热罩下方的进气通道进入内、外层隔热罩之间的导流通道，再经此导流通道向上，从内层隔热盖的进 气通道进入反应区。由于工艺尾气是热的不良导体，在流经外层隔热罩与金属 壳体之间的环形空间以及内、外层隔热罩之间的导流通道时，起到了很好的隔 热效果，加强了内、外层隔热罩的隔热效率，从而使金属壳体的温度更低，冷 却系统的技术要求也相应降低。工艺尾气在流经外层隔热罩与金属壳体之间的 环形空间以及内、外层隔热罩之间的导流通道的过程中，吸收由反应区传递出 来的热量，温度逐渐升髙，经过预热的尾气到达反应区之后更容易发生反应， 需要的输入能量也更少。双层的气体流道布置方式，使气体的推力方向向下，避免了由于气体推力所带来的隔热罩的稳定问题，确保了设备的安全。与单层 隔热罩相比，本专利技术隔热效果更佳，能提高生产效率，降低能耗，提高设备安 全性和稳定性。以上所述实施例仅是为充分说明本专利技术而所举的较佳的实施例，本专利技术的 保护范围不限于此。本
的技术人员在本专利技术基础上所作的等同替代或 变换，均在本专利技术的保护范围之内。本专利技术的保护范围以权利要求书为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。

【技术特征摘要】
1、一种多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，包括内层隔热罩和套设在所述内层隔热罩外侧的外层隔热罩，所述内层隔热罩和外层隔热罩底部设的隔热底盘，所述内层隔热罩和外层隔热罩之间形成导流通道；所述外层隔热罩的下部设有进气通道，所述内层隔热罩的上部设有进气通道。2、 根据权利要求l所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所 述内层隔热罩由内层隔热简和设置其顶部的内层隔热盖构成，所述外层隔热罩 由外层隔热简和设置其顶部的外层隔热盖构成；所述隔热底盘设置在所述内层 隔热简和外层隔热简的底部。3、 根据权利要求2所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所 述内层隔热简和外层隔热简同轴设置。4、 根据权利要求2所述的多晶硅氢化炉双层导流隔热罩，其特征在于，所 述内层隔热盖为平板形、弧形或锥形；所述外层隔热盖为平...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东曦，周积卫，茅陆荣，张华芹，
申请(专利权)人：上海森松能源设备有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]