【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路制造的微电子电性测试领域，特别涉及一种探针卡清针设备。
技术介绍
1、wat(晶圆电性测试)中需要使用探针卡，其用于连接测试机和芯片，以便对裸芯的参数进行测试，因此，为了保证探针卡正常工作，需要对探针卡的针尖进行清洁。
2、现有技术中，对针尖的清洁主要有两种方式，一种是用清针纸进行清针，另一种是采用毛刷配合酒精手动清针；采用清针纸进行清针的主要缺点是无法彻底清除粘附于针尖及针壁上的污垢和颗粒物等赃物，清洁效果差；采用毛刷配合酒精清针的主要缺点是对针尖的磨损较大，针尖损耗快，针尖的氧化加速，且酒精属于易燃液体，存放有一定的安全隐患。
3、另外，毛刷配合酒精清针的方式，一次只能清洁一张探针卡，清洁时间约3分钟，耗时耗力，且增加了人力成本；清针前后探针卡通常叠放于台车上，容易混乱，且叠放不整齐时，还容易滑落，造成探针卡的损坏。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是提供一种探针卡清针设备，能实现较好的清针效果和较高的清针效率，还有效避免了清针前后探针卡盒随意叠放的暂存方式。
2、为解决上述技术问题，本技术提供的探针卡清针设备，包括：
3、本体；
4、清针部，形成于所述本体，包括清针件，所述清针部形成为多层抽屉层，所述清针件置于所述抽屉层内，所述清针件底面内凹并与抽屉层的底面配合形成为清洁腔，清洁液喷嘴安装于所述清洁腔内，所述清针件的顶部内凹形成探针卡槽以用于容置探针卡，所述探针卡槽开设通孔以供探针卡的针尖穿
5、动力源部，其包括清洗液瓶、液压泵和废液收集槽，所述液压泵将所述清洗液瓶内的清洗液通过液体管路输送至清洁液喷嘴以对针尖进行清洁，所述废液收集槽与清针部通过液体管路连接以用于收集清洁后的废液。
6、较佳地，所述本体包括存卡部以用于暂存容置有待清洁探针卡的保护盒以及清洁中的探针卡的保护盒。
7、较佳地，所述存卡部形成为多层抽屉层，并设置于清针部的两侧。
8、较佳地，位于所述清针部一侧的存卡部用于存放容置有待清洁探针卡的保护盒；
9、位于所述清针部另一侧的存卡部用于存放清洁中的探针卡的保护盒。
10、较佳地，所述清洁液喷嘴安装于所述清针件底面内凹的侧壁；
11、所述清针件底面内凹的侧壁还安装有气体喷嘴以用于干燥探针卡的针尖。
12、较佳地，所述清针件底面内凹的侧壁安装有滑轨，所述清洁液喷嘴沿所述滑轨移动。
13、较佳地，所述清针部形成为5-15层抽屉层。
14、较佳地，探针卡槽朝向探针卡的一侧形成有销件以用于固定探针卡。
15、本技术通过提供一种探针卡清针设备，一次可完成多个探针卡的清洁，提高了清洁效率；通过调节清洁液的喷出压力，可有效提高清洁效果；通过增设存卡部，有效避免了堆叠不整齐可能导致的探针卡滑落。本技术结构简单，操作方便，便于广泛应用于探针卡的清洁中。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种探针卡清针设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的探针卡清针设备，其特征在于，所述本体包括存卡部以用于暂存容置有待清洁探针卡的保护盒以及清洁中的探针卡的保护盒。
3.如权利要求2所述的探针卡清针设备，其特征在于，所述存卡部形成为多层抽屉层，并设置于清针部的两侧。
4.如权利要求2所述的探针卡清针设备，其特征在于，位于所述清针部一侧的存卡部用于存放容置有待清洁探针卡的保护盒；
5.如权利要求1所述的探针卡清针设备，其特征在于，所述清洁液喷嘴安装于所述清针件底面内凹的侧壁；
6.如权利要求5所述的探针卡清针设备，其特征在于，所述清针件底面内凹的侧壁安装有滑轨，所述清洁液喷嘴沿所述滑轨移动。
7.如权利要求1所述的探针卡清针设备，其特征在于，所述清针部形成为5-15层抽屉层。
8.如权利要求1所述的探针卡清针设备，其特征在于，所述探针卡槽朝向探针卡的一侧形成有销件以用于固定探针卡。
【技术特征摘要】
1.一种探针卡清针设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的探针卡清针设备，其特征在于，所述本体包括存卡部以用于暂存容置有待清洁探针卡的保护盒以及清洁中的探针卡的保护盒。
3.如权利要求2所述的探针卡清针设备，其特征在于，所述存卡部形成为多层抽屉层，并设置于清针部的两侧。
4.如权利要求2所述的探针卡清针设备，其特征在于，位于所述清针部一侧的存卡部用于存放容置有待清洁探针卡的保护盒；
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【专利技术属性】
技术研发人员：汤洪壮，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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