【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于显示，具体涉及一种压力检测器、制备方法、显示面板和显示装置。
技术介绍
1、压力传感器是一种能够将压力信号转换为电信号的器件，可以分为压阻式、电容式、谐振式、压电式等四种主要类型。电容式压力传感器是仅次于压阻压力传感器的第二大类压力传感器，相比于压阻压力传感器，电容式压力传感器由于本身高灵敏度、低功耗等特点，因此其在消费电子领域应用逐渐广泛。
2、电容压力传感器的基本结构是平行板电容结构，其结构可以分为上极板(可动极板)、下极板(固定极板)及空腔结构(电容介质)，当外界压力作用于电容压力传感器时，电容的上极板产生与压力方向相同的形变，上极板发生形变，引起上、下极板之间的间距发生变化，从而传感器的电容值也发生变化，可以将电容值转化为压力值，以实现压力的检测。在制作过程中，采用干法或者湿法的方式，通过释放孔将牺牲层中的部分材料释放掉形成空腔，然后再采用化学气象沉积的方式在释放孔上生长填孔材料，形成真空腔。但是该工艺难度系数大，对设备工艺能力要求高，成品率低，难以满足超薄上极板的制备需要。
技术实现思路
1、本专利技术实施例的目的是提供一种压力检测器、制备方法、显示面板和显示装置，用以解决现有压力检测器的制备工艺要求高，制备工艺难的问题。
2、第一方面，本专利技术实施例提供了一种压力检测器，包括：
3、衬底基板；
4、第一电极板，所述第一电极板设置于所述衬底基板；
5、第一键合层，所述第一键合层设置于所述第一电极板
6、第二键合层与第二电极板，所述第一键合层与所述第二键合层层叠设置，所述第二键合层设置于所述第一键合层远离所述衬底基板的一侧，所述第二电极板设置于所述第二键合层；
7、所述第一电极板与所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影具有第一重叠区域，所述第二电极板与所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影具有第二重叠区域，所述第一重叠区域与所述第二重叠区域的至少部分重叠；所述第二键合层和/或所述第二电极板在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影；
8、第一电极与第二电极，所述第一电极与所述第一电极板连接，所述第二电极与所述第二电极板连接。
9、可选地，所述第二电极板设置于所述第二键合层靠近或远离所述衬底基板的一侧。
10、可选地，所述第二电极板设置于所述第一键合层与所述第二键合层之间，所述第二电极板在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影。
11、可选地，所述第一空腔沿所述第一键合层的厚度方向贯穿；和/或
12、所述第一键合层与所述第二键合层之间通过化学键连接。
13、可选地，所述压力检测器还包括：
14、保护层，所述第二电极板设置于所述第二键合层远离所述衬底基板的一侧，所述保护层覆盖于所述第二电极板。
15、可选地，所述保护层的部分覆盖所述第二键合层，所述第一电极与所述第二电极设置于所述保护层，所述第一电极与所述第一电极板通过第一过孔连接，所述第二电极与所述第二电极板通过第二过孔连接；或者
16、所述保护层覆盖所述第二电极板，所述第一电极设置于所述第二键合层，所述第二电极设置于所述保护层，所述第一电极与所述第一电极板通过第一过孔连接，所述第二电极与所述第二电极板通过第二过孔连接。
17、可选地，所述衬底基板上具有第一区域与第二区域，所述第一电极板设置于所述第一区域；
18、所述压力检测器还包括：
19、第三电极板与第四电极板，所述第二区域具有第二空腔，所述第三电极板设置于所述第二空腔的底壁；所述第四电极板设置于所述衬底基板与所述第一键合层之间；
20、所述第三电极板与所述第二空腔在所述衬底基板上的正投影具有第三重叠区域，所述第四电极板与所述第二空腔在所述衬底基板上的正投影具有第四重叠区域，所述第三重叠区域与所述第四重叠区域的至少部分重叠；所述第一键合层和/或所述第四电极板在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第二空腔在所述衬底基板上的正投影；
21、第三电极与第四电极，所述第三电极与所述第三电极板连接，所述第四电极与所述第四电极板连接。
22、可选地，所述第一键合层与所述第二键合层在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第四电极板在所述衬底基板上的正投影。
23、可选地，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极与所述第四电极同层设置于所述第二键合层；或者
24、所述压力检测器还包括：保护层，所述保护层设置于所述第二键合层远离所述衬底基板的一侧，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极与所述第四电极设置于所述保护层。
25、可选地，所述第一键合层与所述衬底基板平行设置。
26、可选地，所述第二键合层的厚度为0.5um-1.5um。
27、第二方面，本专利技术实施例提供了一种压力检测器的制备方法，包括：
28、在衬底基板上形成第一电极板；
29、在所述第一电极板上形成第一键合层；
30、在所述第一键合层上形成第一空腔；
31、在所述第一键合层上形成第二键合层与第二电极板，其中，所述第一键合层与所述第二键合层层叠设置，所述第二键合层设置于所述第一键合层远离所述衬底基板的一侧，所述第二电极板设置于所述第二键合层；所述第一电极板与所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影具有第一重叠区域，所述第二电极板与所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影具有第二重叠区域，所述第一重叠区域与所述第二重叠区域的至少部分重叠；所述第二键合层和/或所述第二电极板在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影；
32、形成第一电极与第二电极，所述第一电极与所述第一电极板连接，所述第二电极与所述第二电极板连接。
33、可选地，在所述第一键合层上形成第二键合层与第二电极板的步骤包括：
34、在基底板上形成第二键合层；
35、将带有基底板的第二键合层设置于第一键合层；所述第二键合层在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影；
36、去除所述基底板；
37、在第二键合层上形成第二电极板。
38、可选地，在所述第一键合层上形成第二键合层与第二电极板的步骤包括：
39、在基底板上形成第二电极板；
40、在所述第二电极板上形成第二键合层；
41、将带有基底板的第二键合层设置于第一键合层；所述第二键合层在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影；
42、去除所述基底板。
43、可选地，在基底板上形成第二电极板的步骤包括：
44、在基底板上形成保护层；
45、在所述保护层上形成第二电极板。
【技术保护点】
1.一种压力检测器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述第二电极板设置于所述第二键合层靠近或远离所述衬底基板的一侧。
3.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述第二电极板设置于所述第一键合层与所述第二键合层之间，所述第二电极板在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影。
4.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述第一空腔沿所述第一键合层的厚度方向贯穿；和/或
5.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的压力检测器，其特征在于，所述保护层的部分覆盖所述第二键合层，所述第一电极与所述第二电极设置于所述保护层，所述第一电极与所述第一电极板通过第一过孔连接，所述第二电极与所述第二电极板通过第二过孔连接；或者
7.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述衬底基板上具有第一区域与第二区域，所述第一电极板设置于所述第一区域；
8.根据权利要求7所述的压力检测器，其特征在于，所述第一键合层与
9.根据权利要求8所述的压力检测器，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极、所述第三电极与所述第四电极同层设置于所述第二键合层；或者
10.根据权利要求7所述的压力检测器，其特征在于，所述第一键合层与所述衬底基板平行设置。
11.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述第二键合层的厚度为0.5um-1.5um。
12.一种压力检测器的制备方法，其特征在于，包括：
13.根据权利要求12所述的制备方法，其特征在于，在所述第一键合层上形成第二键合层与第二电极板的步骤包括：
14.根据权利要求12所述的制备方法，其特征在于，在所述第一键合层上形成第二键合层与第二电极板的步骤包括：
15.根据权利要求14所述的制备方法，其特征在于，在基底板上形成第二电极板的步骤包括：
16.一种显示面板，其特征在于，包括权利要求1-11中任一项所述的压力检测器。
17.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求16中所述的显示面板。
...【技术特征摘要】
1.一种压力检测器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述第二电极板设置于所述第二键合层靠近或远离所述衬底基板的一侧。
3.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述第二电极板设置于所述第一键合层与所述第二键合层之间，所述第二电极板在所述衬底基板上的正投影覆盖所述第一空腔在所述衬底基板上的正投影。
4.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述第一空腔沿所述第一键合层的厚度方向贯穿；和/或
5.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求5所述的压力检测器，其特征在于，所述保护层的部分覆盖所述第二键合层，所述第一电极与所述第二电极设置于所述保护层，所述第一电极与所述第一电极板通过第一过孔连接，所述第二电极与所述第二电极板通过第二过孔连接；或者
7.根据权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述衬底基板上具有第一区域与第二区域，所述第一电极板设置于所述第一区域；
8.根据权利要求7所述的压力检测器，其特征在于，所述第一键合层与所述第二键合...
【专利技术属性】
技术研发人员：王立会，李月，魏秋旭，郭伟龙，张韬楠，任艳飞，常文博，孙杰，何娜娜，杜国琛，吴少华，丁丁，曲峰，
申请(专利权)人：北京京东方传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。