【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体尾气处理，尤其涉及一种集成式尾气处理系统。
技术介绍
1、半导体行业是电子信息制造业重要的子行业之一，随着5g技术、物联网、人工智能、大数据、云计算等新基建的顺利推进，半导体行业高速发展。半导体行业在清洗、光刻、去胶、烘干等工艺中需使用大量的酸、碱及有机溶剂和多种特殊气体，整个生产过程中会产生大量的有毒害物质、酸性废气、碱性废气、有机废气等。
2、在此过程中产生的有毒害物质和废气是严禁不经处理直接排放到大气中，必须进行相关的尾气处理，处理后的尾气只有符合环保要求后才能排到大气中。通常情况下，半导体行业产生的有毒害物质和废气通过分类密闭收集处理，处理系统有机台端的本地处理和厂务端中央处理系统；如热氧化、cvd、干法刻蚀、离子注入等工艺制程中会产生特性气体，如硅烷、砷烷、磷烷、全氟烃、含卤素气体等有毒和高沸点废气等，需先经本地localscrubber预处理，后经入厂务端的中央处理系统集中处理。
3、现有的本地loca l scrubber尾气处理装置通常设置在半导体制程设备的下层，泵体将尾气从半导体制程设备空间中泵送至尾气处理设备中，经过尾气处理设备处理之后的尾气，最终被送入中央处理系统进行集中处理。现有技术中，许多个尾气处理装置和许多个泵体均设置在同一较大的空间内，此种设置方式中，装置之间的集成度低，尾气处理装置和泵之间的距离分布较远，连接的管道多，因此，占用的空间大，连接的管道距离长，增加尾气泄露的风险。
技术实现思路
1、为了解决上述技术
2、本申请一些实施例中，所述第一干泵处理系统包括上下排布设置的第一干泵装置和第二干泵装置；所述第二干泵处理系统包括上下排布设置的第三干泵装置和第四干泵装置；所述第一干泵装置设置在第一容室内，所述第二干泵装置设置在第二容室内，所述第三干泵装置设置在第三容室内，所述第四干泵装置设置在第四容室内；所述第一容室和所述第二容室相互连通；所述第三容室和所述第四容室相互连通。
3、本申请一些实施例中，所述第一尾气处理设备设置在第五容室中，所述第二尾气处理设备设置在第六容室中。
4、本申请一些实施例中，所述连接管道系统包括与所述第一干泵装置连通的第一连接管道组件，与第二干泵装置连通的第二连接管道组件，与第三干泵装置连通的第三连接管道组件，与第四干泵装置连通的第四连接管道组件；所述第一连接管道组件连通第一干泵装置、第一尾气处理设备和第二尾气处理设备；所述第二连接管道组件连通第二干泵装置、第一尾气处理设备和第二尾气处理设备；所述第三连接管道组件连通第三干泵装置、第一尾气处理设备和第二尾气处理设备；所述第四连接管道组件连通第四干泵装置、第一尾气处理设备和第二尾气处理设备。
5、本申请一些实施例中，所述第一干泵装置包括进气管、第一干泵、进气流量控制阀；所述进气流量控制阀设置在进气管的进气口端，所述进气管连通进气流量控制阀和第一干泵。
6、本申请一些实施例中，所述第一连接管道组件包括第一连接管、第二连接管、第三连接管以及旁通阀；所述第一连接管连接第一干泵和旁通阀，所述第二连接管连接旁通阀和第一尾气处理设备，所述第三连接管连接旁通阀和第二尾气处理设备。
7、本申请一些实施例中，所述第一容室、第三容室、第五容室和第六容室的顶部设置有气体浓度检测装置。
8、本申请一些实施例中，所述第一容室、第二容室、第三容室和所述第四容室内均设置有气体泄露检测装置。
9、本申请一些实施例中，所述气体泄露检测装置包括声学成像检测装置和伸缩旋转支架组件，所述伸缩旋转支架组件设置在第一容室或第二容室或第三容室或第四容室的侧壁上，所述声学成像检测装置设置在伸缩旋转支架组件上。
10、本申请一些实施例中，所述伸缩旋转支架组件包括设置在侧壁上的第一驱动单元，所述第一驱动单元的输出端传动连接有主动齿轮；所述第一驱动单元的下方还设置有电动推杆；所述电动推杆上设置有被动齿轮，所述被动齿轮与主动齿轮啮合传动；所述电动推杆的一端通过轴承转动设置在所述侧壁上，另一端上设置有固定声学成像检测装置的固定支架。
11、本申请一些实施例中，所述固定支架包括套设在电动推杆上的空心管状部，所述空心管状部上均匀排布设置有数个支杆，所述支杆的端部设置有声学成像检测装置。
12、本申请一些实施例中，所述固定支架包括第一支杆、第二支杆和第三支杆，所述第一支杆上设置有第一声学成像检测装置，所述第二支杆上设置有第二声学成像检测装置，所述第三支杆上设置有第三声学成像检测装置，所述第一声学成像检测装置、第二声学成像检测装置和第三声学成像检测装置的检测方向成预设夹角设置。
13、与现有技术相比，本专利技术具有以下优点和有益效果：本申请的集成式尾气处理系统中将尾气处理模块和干泵处理模块集成为一体，并通过连接管道系统将尾气处理模块和干泵处理模块连通，如此，该系统的集成度高，占用空间小，连接管道系统的管道长度大大缩小，降低了尾气泄露的风险。
14、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本文。
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1.一种集成式尾气处理系统，其特征在于，包括干泵处理模块、尾气处理模块以及连接干泵处理模块和尾气处理模块的连接管道系统；尾气从干泵处理模块经过连接管道系统被输送至尾气处理模块；所述干泵处理模块包括水平排布的第一干泵处理系统和第二干泵处理系统；所述尾气处理模块包括设置在第一干泵处理系统一侧的第一尾气处理设备和设置在第二干泵处理系统一侧的第二尾气处理设备。
2.根据权利要求1所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一干泵处理系统包括上下排布设置的第一干泵装置和第二干泵装置；所述第二干泵处理系统包括上下排布设置的第三干泵装置和第四干泵装置；所述第一干泵装置设置在第一容室内，所述第二干泵装置设置在第二容室内，所述第三干泵装置设置在第三容室内，所述第四干泵装置设置在第四容室内；所述第一容室和所述第二容室相互连通；所述第三容室和所述第四容室相互连通。
3.根据权利要求1所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一尾气处理设备设置在第五容室中，所述第二尾气处理设备设置在第六容室中。
4.根据权利要求2所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述连接管道系
5.根据权利要求4所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一干泵装置包括进气管、第一干泵、进气流量控制阀；所述进气流量控制阀设置在进气管的进气口端，所述进气管连通进气流量控制阀和第一干泵。
6.根据权利要求5所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一连接管道组件包括第一连接管、第二连接管、第三连接管以及旁通阀；所述第一连接管连接第一干泵和旁通阀，所述第二连接管连接旁通阀和第一尾气处理设备，所述第三连接管连接旁通阀和第二尾气处理设备。
7.根据权利要求2所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一容室、第三容室、第五容室和第六容室的顶部设置有气体浓度检测装置。
8.根据权利要求2所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一容室、第二容室、第三容室和所述第四容室内均设置有气体泄露检测装置。
9.根据权利要求8所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述气体泄露检测装置包括声学成像检测装置和伸缩旋转支架组件，所述伸缩旋转支架组件设置在第一容室或第二容室或第三容室或第四容室的侧壁上，所述声学成像检测装置设置在伸缩旋转支架组件上。
10.根据权利要求9所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述伸缩旋转支架组件包括设置在侧壁上的第一驱动单元，所述第一驱动单元的输出端传动连接有主动齿轮；所述第一驱动单元的下方还设置有电动推杆；所述电动推杆上设置有被动齿轮，所述被动齿轮与主动齿轮啮合传动；所述电动推杆的一端通过轴承转动设置在所述侧壁上，另一端上设置有固定声学成像检测装置的固定支架。
11.根据权利要求10所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述固定支架包括套设在电动推杆上的空心管状部，所述空心管状部上均匀排布设置有数个支杆，所述支杆的端部设置有声学成像检测装置。
12.根据权利要求11所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述固定支架包括第一支杆、第二支杆和第三支杆，所述第一支杆上设置有第一声学成像检测装置，所述第二支杆上设置有第二声学成像检测装置，所述第三支杆上设置有第三声学成像检测装置，所述第一声学成像检测装置、第二声学成像检测装置和第三声学成像检测装置的检测方向成预设夹角设置。
...【技术特征摘要】
1.一种集成式尾气处理系统，其特征在于，包括干泵处理模块、尾气处理模块以及连接干泵处理模块和尾气处理模块的连接管道系统；尾气从干泵处理模块经过连接管道系统被输送至尾气处理模块；所述干泵处理模块包括水平排布的第一干泵处理系统和第二干泵处理系统；所述尾气处理模块包括设置在第一干泵处理系统一侧的第一尾气处理设备和设置在第二干泵处理系统一侧的第二尾气处理设备。
2.根据权利要求1所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一干泵处理系统包括上下排布设置的第一干泵装置和第二干泵装置；所述第二干泵处理系统包括上下排布设置的第三干泵装置和第四干泵装置；所述第一干泵装置设置在第一容室内，所述第二干泵装置设置在第二容室内，所述第三干泵装置设置在第三容室内，所述第四干泵装置设置在第四容室内；所述第一容室和所述第二容室相互连通；所述第三容室和所述第四容室相互连通。
3.根据权利要求1所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一尾气处理设备设置在第五容室中，所述第二尾气处理设备设置在第六容室中。
4.根据权利要求2所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述连接管道系统包括与所述第一干泵装置连通的第一连接管道组件，与第二干泵装置连通的第二连接管道组件，与第三干泵装置连通的第三连接管道组件，与第四干泵装置连通的第四连接管道组件；所述第一连接管道组件连通第一干泵装置、第一尾气处理设备和第二尾气处理设备；所述第二连接管道组件连通第二干泵装置、第一尾气处理设备和第二尾气处理设备；所述第三连接管道组件连通第三干泵装置、第一尾气处理设备和第二尾气处理设备；所述第四连接管道组件连通第四干泵装置、第一尾气处理设备和第二尾气处理设备。
5.根据权利要求4所述的集成式尾气处理系统，其特征在于，所述第一干泵装置包括进气管、第一干泵、进气流量控制阀；所述进气流量控制阀设置在进气管的进气口端，所述进气管连通进气流量控制阀和第一干泵。
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，陈刚，王占杰，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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