【技术实现步骤摘要】
本技术涉及坩埚转运设备，尤其涉及一种托举式坩埚转运装置。
技术介绍
1、带沿pbn坩埚，一般用于蒸镀工艺，其特点为顶部带有一个外扩的环形边沿，且环形边沿较薄，易破碎；pbn坩埚在使用时，会将料放进坩埚的内部，整个pbn坩埚的重量会变大，而在转移此类pbn坩埚时，通过人工两指或三指手动抓取pbn坩埚顶部的环形边沿，使得pbn坩埚顶部边沿局部受力，即受力不均匀，导致在转移此类pbn坩埚且运用此类转移方法会使得pbn坩埚受到破坏；故本申请提出一种托举式的坩埚转运装置，用于解决上述pbn坩埚在转运过程中其顶部边沿局部受力而导致pbn坩埚损坏的问题。
技术实现思路
1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种托举式坩埚转运装置。
2、本技术提供的一种托举式坩埚转运装置，包括外侧l型支架，所述外侧l型支架的内侧通过连接组件及滑动组件设置有内侧l型支架；所述连接组件用于将所述内侧l型支架可转动的设置于所述外侧l型支架上，所述滑动组件用于将所述内侧l型支架的一端可滑动的与所述外侧l型支架进行连接；所述内侧l型支架与所述外侧l型支架之间设置有用于对所述内侧l型支架进行复位的弹簧组件；所述外侧l型支架及内侧l型支架的底端设置有用于托举pbn坩埚顶部边沿的托举组件。
3、优选的，所述连接组件包括固定的设置于所述外侧l型支架的横杆上的连接板，所述连接板远离所述外侧l型支架的一端与所述内侧l型支架的横杆通过销轴组件可转动的连接。
4、优选的，所述滑动组件包括设置于所述
5、优选的，所述弹簧组件包括复位弹簧，所述复位弹簧的一端设置于所述外侧l型支架的横杆的末端，另一端设置于所述内侧l型支架的侧立板上。
6、优选的，所述托举组件包括分别固定的设置于所述外侧l型支架及内侧l型支架的侧立板底端的弧形托架，两个所述弧形托架相对设置，两个所述弧形托架在托举pbn坩埚时位于同一水平面上的同一圆周上。
7、相对于现有技术而言，本技术的有益效果是：
8、本技术的托举式坩埚转运装置，通过操作设置的内侧l型支架进而控制两个弧形托架的分离与聚合，从而实现对pbn坩埚的顶部边沿的底面进行均匀受力的托举，避免以往两指或三指手动抓取对pbn坩埚造成受力不均从而引发的pbn坩埚受损的现象。
9、应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本技术的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本技术的范围。
10、本技术的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
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1.一种托举式坩埚转运装置，其特征在于，包括外侧L型支架，所述外侧L型支架的内侧通过连接组件及滑动组件设置有内侧L型支架；所述连接组件用于将所述内侧L型支架可转动的设置于所述外侧L型支架上，所述滑动组件用于将所述内侧L型支架的一端可滑动的与所述外侧L型支架进行连接；所述内侧L型支架与所述外侧L型支架之间设置有用于对所述内侧L型支架进行复位的弹簧组件；所述外侧L型支架及内侧L型支架的底端设置有用于托举PBN坩埚顶部边沿的托举组件。
2.根据权利要求1所述的托举式坩埚转运装置，其特征在于，所述连接组件包括固定的设置于所述外侧L型支架的横杆上的连接板，所述连接板远离所述外侧L型支架的一端与所述内侧L型支架的横杆通过销轴组件可转动的连接。
3.根据权利要求2所述的托举式坩埚转运装置，其特征在于，所述滑动组件包括设置于所述外侧L型支架的侧立板上的贯通的弧形滑条，所述弧形滑条的内部沿其轨迹可滚动的设置有滚动轴；所述滚动轴的一端与所述内侧L型支架远离所述连接板的一端固定的连接，用于实现所述内侧L型支架以销轴组件为圆心沿所述弧形滑条的方向转动。
4.根据权利要
5.根据权利要求4所述的托举式坩埚转运装置，其特征在于，所述托举组件包括分别固定的设置于所述外侧L型支架及内侧L型支架的侧立板底端的弧形托架，两个所述弧形托架相对设置，两个所述弧形托架在托举PBN坩埚时位于同一水平面上的同一圆周上。
...【技术特征摘要】
1.一种托举式坩埚转运装置，其特征在于，包括外侧l型支架，所述外侧l型支架的内侧通过连接组件及滑动组件设置有内侧l型支架；所述连接组件用于将所述内侧l型支架可转动的设置于所述外侧l型支架上，所述滑动组件用于将所述内侧l型支架的一端可滑动的与所述外侧l型支架进行连接；所述内侧l型支架与所述外侧l型支架之间设置有用于对所述内侧l型支架进行复位的弹簧组件；所述外侧l型支架及内侧l型支架的底端设置有用于托举pbn坩埚顶部边沿的托举组件。
2.根据权利要求1所述的托举式坩埚转运装置，其特征在于，所述连接组件包括固定的设置于所述外侧l型支架的横杆上的连接板，所述连接板远离所述外侧l型支架的一端与所述内侧l型支架的横杆通过销轴组件可转动的连接。
3.根据权利要求2所述的托举式坩埚转运...
【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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