【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及照射单元、搭载于照射单元的灯单元和搭载于照射单元的灯座。
技术介绍
1、以往，已知对半导体晶圆或显示面板等照射紫外光来进行干洗的技术、对印刷物照射紫外光来进行油墨固化的技术。并且，已知有对配置于规定的位置的半导体晶圆照射紫外光的紫外光照射装置、对依次输送来的印刷物照射紫外光的紫外光照射装置等。例如，在下述专利文献1中，记载了用于印刷相关的油墨干燥、半导体相关的微细曝光、液晶相关的粘接剂固化等的紫外光照射装置。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2011-177625号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、近年来，紫外光照射装置为了能够对大型的工件(例如显示面板等)照射紫外光，有时会搭载全长超过1m的长尺寸的紫外线灯。
3、但是，长尺寸的紫外线灯非常重，操作性差，因此难以进行在宽度窄的通路中的搬运、在狭小的空间中的更换作业。因此，作业者在进行紫外线照射装置的维护作业时，有时会使紫外线灯碰到紫外光照射装置的壁面等，根据情况，有时会掉落到地板。特别是，在需要使身体潜入紫外光照射装置内进行作业的情况下、紫外光照射装置配置于作业场所的角落而未充分确保作业空间的情况下等，特别容易发生上述那样的课题。
4、因此，上述专利文献1提出了一种紫外光照射装置，为了使紫外线灯的更换作业容易化，利用被称为承载件的构件将紫外线灯从灯罩拉出，能够在灯罩的外侧更换紫外线灯。
5、但
6、因此，在该结构的紫外光照射装置中，在更换紫外线灯时等，有时会使紫外线灯碰到灯罩的内壁面或钩而损坏紫外线灯。
7、本专利技术鉴于上述课题，其目的在于提供一种照射单元和灯单元，使灯的更换作业容易化而降低了损坏灯的风险。
8、用于解决课题的技术方案
9、本专利技术的照射单元的特征在于，具备：
10、长条状的准分子灯，在第一方向上延伸；
11、灯座，搭载所述准分子灯；
12、壳体，具有插入口，所述灯座从该插入口插入于所述壳体；
13、光取出部，设置于所述壳体，并将从搭载于所述灯座的所述准分子灯出射的紫外光取出到所述壳体的外侧；
14、板材，设置于所述灯座，并堵塞所述插入口；
15、限制构件，在所述板材堵塞所述插入口的状态下，形成为从所述板材的主面中的位于所述壳体的内侧的第一主面突出，并限制所述准分子灯在所述壳体内的移动；及
16、供电部，在所述板材堵塞所述插入口的状态下，设置于位于所述壳体的外侧的所述板材的第二主面侧，并对所述准分子灯进行供电。
17、准分子灯是具有在内侧封入有发光气体的发光管，并通过对电极间施加电压而出射与该放电气体相应的波长的光的电介质阻挡放电灯。准分子灯的形状存在具备圆筒状的发光管的被称为单层管形状或双层管形状的形状、以与管轴正交的平面切断时的截面形状呈矩形形状的被称为扁平管形状的形状等。搭载于本专利技术的照射单元的准分子灯可以是任一形状。
18、在本说明书中，所谓“电连接”，是指直接连接或经由金属板、引线、电阻元件、变压器这样的电路部件等间接连接而在各个构件之间形成能够通电的状态的情况。
19、在板材等不存在供人钩挂手指的部分等的情况下，插入到壳体的状态下的灯单元难以从壳体中拔出。因此，通过形成为上述结构，作业者或机器人能够通过从壳体拉出灯单元而将准分子灯从照射单元拆下。并且，搭载于灯单元的准分子灯的更换作业能够使灯单元移动到容易进行作业的空间来实施。
20、并且，在将更换了准分子灯的灯单元从壳体的插入口插入后，将配置于板材的第二主面侧、即壳体的外侧的供电部与电源装置连接，从而完成向照射单元的安装作业。
21、另外，准分子灯由设置于板材的一对限制构件支承两端部。因此，与把持准分子灯的一端进行作业的情况相比，发光管的重心接近作业者，操作性变得良好。
22、因此，上述结构的照射单元能够确保用于准分子灯的更换作业的足够宽的空间，并且不需要在壳体内频繁地移动准分子灯或进行位置的调整，因此在维护作业等中损坏准分子灯的风险降低。
23、在上述照射单元中，也可以是，
24、所述准分子灯具备：发光管，形成有彼此相对的平坦的一对外壁面；及第一电极和第二电极，在所述发光管的所述一对外壁面上以隔着所述发光管相对的方式形成。
25、半导体晶圆或显示面板的干洗大多利用分解油分等污垢的效果高的波长为100nm～200nm的紫外光。这样的波段的紫外光容易被空气中的氧吸收，能够在空气中传播的距离为几mm至几cm左右。因此，搭载于照射单元的准分子灯优选尽可能与照射对象物(以下称为“工件”)接近地配置。
26、上述结构的准分子灯从发光管的平坦面出射紫外光。因此，照射单元通过形成为上述结构，能够大范围地将准分子灯与作为板状的工件的半导体晶圆或显示面板等接近配置。即，上述结构的照射单元能够抑制紫外光对上述那样的板状工件的照射不均。
27、在上述照射单元中，也可以是，
28、所述限制构件具备：
29、基座构件，从所述板材的所述第一主面向作为所述第一主面的法线方向的所述第二方向突出；
30、第一支柱，从所述基座构件向与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向突出；
31、第二支柱，在比所述第一支柱远离所述板材的位置处，从所述基座构件向与所述第一支柱相同的方向突出；及
32、第一夹持构件和第二夹持构件，在所述第一支柱与所述第二支柱之间，夹持所述准分子灯的端部，
33、所述第二夹持构件以连接所述第一支柱与所述第二支柱的方式被固定。
34、而且，也可以是，所述照射单元具备：
35、通电构件，被夹持在所述第一夹持构件与所述准分子灯之间而与所述准分子灯所具备的一对电极中的一方即第一电极接触，且由金属材料形成；及
36、引线，将所述第二支柱与所述准分子灯的所述第一电极之外的第二电极电连接，且布线在形成于所述基座构件的槽或贯通孔的内侧，
37、所述第一夹持构件由陶瓷材料形成，所述第二夹持构件和所述第二支柱的至少一部分由金属材料形成，
38、当所述第一夹持构件和所述第二夹持构件以夹持所述准分子灯的状态被固定时，所述供电部中的一方即第一供电部与所述第一电极经由所述通电构件电连接，所述供电部的所述第一供电部之外的第二供电部与所述第二电极经由所述第二夹持构件、所述第二支柱及所述引线电连接。
39、通过形成为上述结构，灯单元仅通过利用第一夹持构件和第二夹持构件夹持准分子灯，并将第二夹持构件固定于各支柱，就完成了电极本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种照射单元，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的照射单元，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
8.一种灯单元，具备权利要求1至7中任一项所述的照射单元所具有的所述准分子灯和所述灯座。
9.一种灯座，由权利要求1至7中任一项所述的照射单元具备。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种照射单元，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的照射单元，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的照射单元，其特征在于，
<...【专利技术属性】
技术研发人员：笠木邦雄，石原肇，山下新司，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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