【技术实现步骤摘要】
本技术涉及叉指电极，具体提供一种复合叉指电极。
技术介绍
1、叉指电极是一种常用的电极结构，它被广泛地应用于非破坏性测试、电子通讯、化学测试等多种领域。一般来说，不同的应用领域对于叉指电极的形状、几何尺寸、加工工艺、材料选择、建模分析、系统集成以及数据分析都有不同的要求。但是，现有叉指电极都是采用单对单的电极设置形式，这种结构的可更改方式有限，很难适应各个领域的不同需求，特别是对于复杂多变的测试场景，往往需要多个叉指电极的配合才足以达到测试需求。
2、相应地，本领域需要一种新的复合叉指电极来解决或者在一定程度上缓解上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术旨在解决或者在一定程度上缓解上述技术问题，即，现有叉指电极的结构设置方式难以应对复杂的使用需求的问题。
2、本技术提供一种复合叉指电极，所述复合叉指电极包括基底以及设置在所述基底上的公用电极和多个子电极，所述公用电极包括多个电极连接结构，每个所述电极连接结构包括间隔设置的多个第一叉指，每个所述子电极包括间隔设置的多个第二叉指，所述电极连接结构和所述子电极一一对应，每组所述电极连接结构和所述子电极相对应的所述第一叉指和所述第二叉指交错排布。
3、在上述复合叉指电极的技术方案中，至少两组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极的沟道宽度不同。
4、在上述复合叉指电极的技术方案中，多组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极的沟道宽度包括第一预设距离、第二预设距离和第三预设距离，其中，所述第一预
5、在上述复合叉指电极的技术方案中，对应设置的所述电极连接结构和所述子电极共六组，其中，沟道宽度为所述第一预设距离的为四组，沟道宽度为所述第二预设距离和所述第三预设距离的各为一组。
6、在上述复合叉指电极的技术方案中，六组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极均布于所述公用电极的两侧。
7、在上述复合叉指电极的技术方案中，沟道宽度为所述第二预设距离的所述电极连接结构和所述子电极与沟道宽度为所述第三预设距离的所述电极连接结构和所述子电极相对设置在所述公用电极的两侧。
8、在上述复合叉指电极的技术方案中，所述第一预设距离为20μm，所述第二预设距离为30μm，所述第三预设距离为50μm。
9、在上述复合叉指电极的技术方案中，每个所述电极连接结构包括十个所述第一叉指，每个所述子电极相应包括十个所述第二叉指。
10、在上述复合叉指电极的技术方案中，所述第一叉指的末端设置有倒角；并且/或者所述第二叉指的末端设置有倒角。
11、在上述复合叉指电极的技术方案中，所述电极连接结构的末端与所述子电极的远离对接侧的末端之间的距离为所述电极连接结构和所述子电极对应沟道宽度的10倍以上；并且/或者所述子电极的末端与所述电极连接结构的远离对接侧的末端之间的距离为所述电极连接结构和所述子电极对应沟道宽度的10倍以上。
12、在采用上述技术方案的情况下，本技术的复合叉指电极通过将公用电极设置成包括多个电极连接结构的形式，使得一个公用电极能够同时与多个子电极配合使用，即，使得一个复合叉指电极就能够同时拥有多个测试区域，更有利于应对复杂的使用需求；基于这种多区域设置的方式，每个测试区域既可以同时对同一样品进行测试，也可以将不同样品用在同一电极的不同区域中进行测试，确保样品能够以两种不同方式进行高通量电学测试。
13、进一步地，本技术通过将至少两组对应设置的电极连接结构和子电极的沟道宽度设置成不同数值，使其相对应的不同测试区域能够配合去研究样品的电学性能的线性关系，以便进一步扩宽复合叉指电极的使用场景。
14、在一种优选的设置方式中，本技术采用对应设置的电极连接结构和子电极共六组，其中，沟道宽度为20μm的包括四组，沟道宽度为30μm的为一组，沟道宽度为50μm的为一组，以使沟道宽度为20μm的四个测试区域能够用于验证单个样品的电学性能的一致性，且沟道宽度为30μm和沟道宽度为50μm的两个测试区域能够与沟道宽度为20μm的四个测试区域配合去研究样品的电学性能的线性关系。
15、进一步地，本技术通过将每个电极连接结构设置成包括十个第一叉指且将每个子电极相应设置成包括十个第二叉指的形式，以使每个测试区域拥有十对叉指电极；并且，在第一叉指和/或第二叉指的末端设置倒角结构；以及，将电极连接结构的末端与子电极的远离对接侧的末端之间的距离设置为电极连接结构和子电极对应沟道宽度的10倍以上，并且/或者将子电极的末端与电极连接结构的远离对接侧的末端之间的距离设置为电极连接结构和子电极对应沟道宽度的10倍以上。基于上述结构设置方式能够有效防止尖端放电，保证了测试电流完全由沟道提供，其相比于现有的单沟道可将电流信号扩大20倍左右，保证了低电导率样品测量的可行性。
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1.一种复合叉指电极，其特征在于，所述复合叉指电极包括基底以及设置在所述基底上的公用电极和多个子电极，
2.根据权利要求1所述的复合叉指电极，其特征在于，至少两组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极的沟道宽度不同。
3.根据权利要求2所述的复合叉指电极，其特征在于，多组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极的沟道宽度包括第一预设距离、第二预设距离和第三预设距离，
4.根据权利要求3所述的复合叉指电极，其特征在于，对应设置的所述电极连接结构和所述子电极共六组，其中，沟道宽度为所述第一预设距离的为四组，沟道宽度为所述第二预设距离和所述第三预设距离的各为一组。
5.根据权利要求4所述的复合叉指电极，其特征在于，六组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极均布于所述公用电极的两侧。
6.根据权利要求5所述的复合叉指电极，其特征在于，沟道宽度为所述第二预设距离的所述电极连接结构和所述子电极与沟道宽度为所述第三预设距离的所述电极连接结构和所述子电极相对设置在所述公用电极的两侧。
7.根据权利要求6所述的复合叉指电极，其特
8.根据权利要求1至7中任一项所述的复合叉指电极，其特征在于，每个所述电极连接结构包括十个所述第一叉指，每个所述子电极相应包括十个所述第二叉指。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的复合叉指电极，其特征在于，所述第一叉指的末端设置有倒角；并且/或者
10.根据权利要求1至7中任一项所述的复合叉指电极，其特征在于，所述电极连接结构的末端与所述子电极的远离对接侧的末端之间的距离为所述电极连接结构和所述子电极对应沟道宽度的10倍以上；并且/或者
...【技术特征摘要】
1.一种复合叉指电极，其特征在于，所述复合叉指电极包括基底以及设置在所述基底上的公用电极和多个子电极，
2.根据权利要求1所述的复合叉指电极，其特征在于，至少两组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极的沟道宽度不同。
3.根据权利要求2所述的复合叉指电极，其特征在于，多组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极的沟道宽度包括第一预设距离、第二预设距离和第三预设距离，
4.根据权利要求3所述的复合叉指电极，其特征在于，对应设置的所述电极连接结构和所述子电极共六组，其中，沟道宽度为所述第一预设距离的为四组，沟道宽度为所述第二预设距离和所述第三预设距离的各为一组。
5.根据权利要求4所述的复合叉指电极，其特征在于，六组对应设置的所述电极连接结构和所述子电极均布于所述公用电极的两侧。
6.根据权利要求5所述的复合叉指电极，其...
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