【技术实现步骤摘要】
本技术涉及积分棒测量，具体涉及一种基于双经纬仪的积分棒相邻面角度测量装置及测量系统。
技术介绍
1、在投影光刻机中，曝光系统是其核心组成部分，曝光系统由照明系统和投影物镜系统组成。照明系统是用光照均匀性作为评价指标，实现高均匀照明是保证光刻图形曝光剂量一致的基本条件，均匀照明系统的性能直接关系到曝光系统整个视场中微细线条的一致性，也决定了芯片的质量与成品率，所以对照明系统的均匀性要求越来越高。为了提高照明的均匀性，各种各样的光学均匀器被研发出来，而积分棒因为结构简单、成本低、装调简单、匀光效果好等优点，在光刻照明系统中得到广泛应用。由于积分棒长度较长，在加工中必然存在误差，所以对于积分棒测量相邻面的直角角度是非常有必要。
2、现有的测角仪器虽然可以测试直角角度，但是受操作平台的限制(如，德国trioptics gmbh公司的单管超高精密测角仪，其操作平台(200mm))，无法测试长度较长的积分棒(如，长度＞250mm)相邻两个面的直角角度。
技术实现思路
1、为解决大尺寸积分棒相邻面角度无法测量的技术问题，本申请提供一种基于双经纬仪的积分棒相邻面角度测量装置及测量系统，提出利用两台自准直经纬仪及转像棱镜测试大尺寸积分棒相邻面的直角角度，避免测量大尺寸积分棒相邻面直角受操作平台尺寸限制的问题。
2、本技术提供的技术方案如下：
3、本技术提供一种基于双经纬仪的积分棒相邻面角度测量装置，包括：
4、测试台，用于放置待测积分棒；
6、第二经纬仪，相对所述测试台设置，用于对所述待测积分棒的第二面进行测量，获取第二面测量角，所述第一面和第二面为所述待测积分棒的相邻两面。
7、进一步优选地，还包括用于仿制所述待测积分棒的基准体，所述第一经纬仪和第二经纬仪通过所述基准体相对所述测试台进行定位。
8、进一步优选地，还包括第一定位体和第二定位体，所述第一定位体和第二定位体垂直设置于所述测试台上，用于所述待测积分棒进行定位，其中，所述第一定位体相对所述待测积分棒的长边方向设置，所述第二定位体相对所述待测积分棒的短边方向设置。
9、进一步优选地，所述第一面和第二面为待测积分棒长度方向的相邻两面。
10、进一步优选地，还包括转像棱镜，所述转像棱镜设置于所述第二定位体上；
11、所述第一经纬仪对所述待测积分棒长度方向的第一面进行测量，获取所述待测积分棒长度方向的第一面测量角；
12、所述第二经纬仪通过转像棱镜对所述待测积分棒长度方向的第二面进行测量，获取所述待测积分棒长度方向的第二面测量角。
13、进一步优选地，所述第二定位体的高度大于所述待测积分棒的高度。
14、进一步优选地，所述第一面为待测积分棒长度方向的面，所述第二面为待测积分棒高度方向的面。
15、进一步优选地，所述第一经纬仪对所述待测积分棒长度方向的第一面进行测量，获取所述待测积分棒长度方向的第一面测量角；所述第二经纬仪对所述待测积分棒高度方向的第二面进行测量，获取所述待测积分棒高度方向的第二面测量角。
16、进一步优选地，所述第二定位体的高度小于所述待测积分棒的高度。
17、本技术还提供一种基于双经纬仪的积分棒相邻面角度测量系统，包括终端和上述的积分棒相邻面角度测量装置，所述终端与所述第一经纬仪和第二经纬仪信号连接，用于获取所述第一面测量角和第二面测量角，并根据所述第一面测量角、第二面测量角及所述基准体的基准测量角获取所述待测积分棒相邻面角度。
18、通过本技术提供的积分棒相邻面角度测量装置及测量系统，提出利用两台自准直经纬仪及转像棱镜测试大尺寸积分棒长度方向相邻面角度，避免测量大尺寸积分棒相邻面直角受操作平台尺寸限制的问题。
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1.一种基于双经纬仪的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，还包括用于仿制所述待测积分棒的基准体，所述第一经纬仪和第二经纬仪通过所述基准体相对所述测试台进行定位。
3.如权利要求1所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，还包括第一定位体和第二定位体，所述第一定位体和第二定位体垂直设置于所述测试台上，用于对所述待测积分棒进行定位，其中，所述第一定位体相对所述待测积分棒的长边方向设置，所述第二定位体相对所述待测积分棒的短边方向设置。
4.如权利要求3所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，所述第一面和第二面为待测积分棒长度方向的相邻两面。
5.如权利要求4所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，还包括转像棱镜，所述转像棱镜设置于所述第二定位体上；
6.如权利要求5所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，所述第二定位体的高度大于所述待测积分棒的高度。
7.如权利要求3所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，所述第一面为待测积分棒
8.如权利要求7所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，所述第一经纬仪对所述待测积分棒长度方向的第一面进行测量，获取所述待测积分棒长度方向的第一面测量角；所述第二经纬仪对所述待测积分棒高度方向的第二面进行测量，获取所述待测积分棒高度方向的第二面测量角。
9.如权利要求8所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，所述第二定位体的高度小于所述待测积分棒的高度。
10.一种基于双经纬仪的积分棒相邻面角度测量系统，其特征在于，包括终端和权利要求2-9任一项所述的积分棒相邻面角度测量装置，所述终端与所述第一经纬仪和第二经纬仪信号连接，用于获取所述第一面测量角和第二面测量角，并根据所述第一面测量角、第二面测量角及所述基准体的基准测量角获取所述待测积分棒相邻面角度。
...【技术特征摘要】
1.一种基于双经纬仪的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，还包括用于仿制所述待测积分棒的基准体，所述第一经纬仪和第二经纬仪通过所述基准体相对所述测试台进行定位。
3.如权利要求1所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，还包括第一定位体和第二定位体，所述第一定位体和第二定位体垂直设置于所述测试台上，用于对所述待测积分棒进行定位，其中，所述第一定位体相对所述待测积分棒的长边方向设置，所述第二定位体相对所述待测积分棒的短边方向设置。
4.如权利要求3所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，所述第一面和第二面为待测积分棒长度方向的相邻两面。
5.如权利要求4所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，还包括转像棱镜，所述转像棱镜设置于所述第二定位体上；
6.如权利要求5所述的积分棒相邻面角度测量装置，其特征在于，所述第二定位体的高度大...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁乔，张玲玲，付艳丽，邰金安，
申请(专利权)人：上海镭望光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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