【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏生产设备，特别是涉及一种用于加热腔的门体装置及加热设备。
技术介绍
1、具备加热腔的工艺容器在工作时会产生高温环境，容易造成密封部件损坏失效。以扩散炉设备为例，在进行扩散工艺时，需要确保腔体内的密封性。一般情况下是在炉门和桨杆处设置密封圈，炉门密封圈被压紧在炉门和炉口法兰之间，桨杆密封圈被压紧在密封法兰和过渡接管之间。但是扩散工艺过程中，石英管腔体内部温度会高达1000℃以上。过高的温度容易烤坏炉门密封圈和桨杆密封圈，导致密封圈的寿命大大缩短而容易失效，从而影响腔体的密封性。因此需要对炉门进行水冷以避免密封圈失效。通常供应冷却水的泵设备、水箱等都是固定设置在扩散炉附近，冷却水输送管连接炉门的一头需要随着炉门开合调整而频繁同步移动，炉门行程较长就需要匹配很长的管路，容易在现场造成缠绕、刮绊等安全隐患，且输送管经过反复弯折容易产生裂口或断裂，导致漏水风险增加。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对现有的扩散工艺过程中温度过高容易烤坏密封圈影响密封性的问题，提供一种能够对密封圈进行冷却延长密封圈使用寿命的用于加热腔的门体装置及加热设备。
2、一种用于加热腔的门体装置，包括：
3、门体组件，一侧设有所述密封结构，用于密封加热腔开口；所述门体组件设有与所述密封结构相对应的冷却通道；
4、移动组件，与所述门体组件连接，并能够驱动所述门体组件移动，以打开和关闭加热腔开口；及
5、供应组件，设置于所述移动组件上，以在所述移动组件的作
6、在其中一个实施例中，所述供应组件包括储液容器、泵体、出液管及回液管，所述出液管和所述回液管均与所述储液容器及所述冷却通道连通；所述泵体设置于所述储液容器内，且与所述出液管连通，所述泵体用于驱动冷却液在所述储液容器和所述冷却通道之间循环流动。
7、在其中一个实施例中，所述供应组件还包括散热风扇，所述散热风扇配置为朝向所述储液容器吹风，以对所述储液容器进行散热。
8、在其中一个实施例中，所述储液容器具有用于储存冷却液的储液腔，所述泵体设置于所述储液腔内；所述储液腔内还设有隔板，所述隔板将所述储液腔分隔成曲折而连续的散热通道，所述散热通道的一端与所述回液管对应连通，另一端与所述泵体的进口端对应连通。
9、在其中一个实施例中，所述储液容器内设有液位计，所述液位计用于检测所述储液腔内的冷却液液面高度。
10、在其中一个实施例中，所述储液容器上设有补液口和泄压阀。
11、在其中一个实施例中，所述移动组件上设有拖链，所述供应组件的动力线和通讯线对应接入所述拖链内。
12、在其中一个实施例中，所述密封结构和所述冷却通道位于所述门体组件的两侧；所述门体组件表面设有水道槽，所述水道槽上设有盖板，所述水道槽和所述盖板构成所述冷却通道；所述盖板上设有流通口，用于连通所述冷却通道与所述供应组件。
13、在其中一个实施例中，所述门体组件包括第一封闭件和第二封闭件，所述密封结构和所述冷却通道成组设置于所述第一封闭件和所述第二封闭件上；所述第一封闭件与加热腔的开口对应配合，所述第一封闭件上设有穿设孔，所述第二封闭件设置于所述穿设孔处，用于在所述穿设孔和所述穿设孔内的穿设部件之间形成密封。
14、一种加热设备，包括工艺容器和上述的用于加热腔的门体装置，所述工艺容器内形成有加热腔，所述移动组件驱动所述门体组件移动，以打开和关闭所述加热腔开口。
15、在其中一个实施例中，所述加热设备为扩散炉、管式ald设备或管式cvd设备。
16、采用上述的门体装置，供应组件驱动冷却液在冷却通道内流动，从而通过冷却液对门体组件上的密封圈进行冷却。如此，可以避免密封圈被烤坏，延长密封圈的使用寿命，确保工艺容器的密封性，避免工艺气体泄漏。此外，供应组件能够和门体组件同步移动，保持相对位置稳定，故无需在供应组件和门体组件之间设置较长的管路，降低了结构成本和现场安全风险，避免管路因门体组件的反复移动而反复弯折，从而避免管路破损、折断引发的冷却液泄露，同时，两者同步移动也能够避免较长的管路，冷却液供应调节更加灵敏及时。
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1.一种用于加热腔的门体装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述供应组件包括储液容器、泵体、出液管及回液管，所述出液管和所述回液管均与所述储液容器及所述冷却通道连通；所述泵体设置于所述储液容器内，且与所述出液管连通，所述泵体用于驱动冷却液在所述储液容器和所述冷却通道之间循环流动。
3.根据权利要求2所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述供应组件还包括散热风扇，所述散热风扇配置为朝向所述储液容器吹风，以对所述储液容器进行散热。
4.根据权利要求3所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述储液容器具有用于储存冷却液的储液腔，所述泵体设置于所述储液腔内；所述储液腔内还设有隔板，所述隔板将所述储液腔分隔成曲折而连续的散热通道，所述散热通道的一端与所述回液管对应连通，另一端与所述泵体的进口端对应连通。
5.根据权利要求4所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述储液容器内设有液位计，所述液位计用于检测所述储液腔内的冷却液液面高度。
6.根据权利要求2所述的用于加热腔的门体装
7.根据权利要求1所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述移动组件上设有拖链，所述供应组件的动力线和通讯线对应接入所述拖链内。
8.根据权利要求1所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述密封结构和所述冷却通道位于所述门体组件的两侧；所述门体组件表面设有水道槽，所述水道槽上设有盖板，所述水道槽和所述盖板构成所述冷却通道；所述盖板上设有流通口，用于连通所述冷却通道与所述供应组件。
9.根据权利要求1所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述门体组件包括第一封闭件和第二封闭件，所述密封结构和所述冷却通道成组设置于所述第一封闭件和所述第二封闭件上；所述第一封闭件与加热腔的开口对应配合，所述第一封闭件上设有穿设孔，所述第二封闭件设置于所述穿设孔处，用于在所述穿设孔和所述穿设孔内的穿设部件之间形成密封。
10.一种加热设备，其特征在于，包括工艺容器和权利要求1-9任一项所述的用于加热腔的门体装置，所述工艺容器内形成有加热腔，所述移动组件驱动所述门体组件移动，以打开和关闭所述加热腔开口。
11.根据权利要求10所述的加热设备，其特征在于，所述加热设备为扩散炉、管式ALD设备或管式CVD设备。
...【技术特征摘要】
1.一种用于加热腔的门体装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述供应组件包括储液容器、泵体、出液管及回液管，所述出液管和所述回液管均与所述储液容器及所述冷却通道连通；所述泵体设置于所述储液容器内，且与所述出液管连通，所述泵体用于驱动冷却液在所述储液容器和所述冷却通道之间循环流动。
3.根据权利要求2所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述供应组件还包括散热风扇，所述散热风扇配置为朝向所述储液容器吹风，以对所述储液容器进行散热。
4.根据权利要求3所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述储液容器具有用于储存冷却液的储液腔，所述泵体设置于所述储液腔内；所述储液腔内还设有隔板，所述隔板将所述储液腔分隔成曲折而连续的散热通道，所述散热通道的一端与所述回液管对应连通，另一端与所述泵体的进口端对应连通。
5.根据权利要求4所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述储液容器内设有液位计，所述液位计用于检测所述储液腔内的冷却液液面高度。
6.根据权利要求2所述的用于加热腔的门体装置，其特征在于，所述储液容器上设有补液口和泄压阀。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：郭新兴，毛文瑞，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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