【技术实现步骤摘要】
本申请涉及测量，特别是涉及静电悬浮加速度计敏感结构。
技术介绍
1、陀螺仪和加速度计是构成惯性导航系统的核心敏感元件。尽管陀螺仪的精度近些年来在不断地稳步提高，然而与之相配套的加速度计在稳定性和精度上都难以达到需求。特别是在船用高精度惯性导航系统、航空重力仪及重力梯度仪、高精度找北仪等领域上，要求匹配的加速度计精度应达到1×10-6g；此外，为满足导弹发射车、大地测量系统对发射地点的重力异常进行高精度的测量需求，需要相应地在惯性平台中应安装精度优于1×10-6g的加速度计作为重力敏感器，以满足重力异常的测量精度达到1mgal（1×10-6g）的要求。
2、静电加速度计是一种利用静电场力支承检测质量的加速度计，通过静电力非接触悬浮敏感质量，具有精度高、可靠性高、适用性好、高集成度的特点，可以同时测量载体三个正交方向的线加速度，单个仪表可实现惯导系统所需的三轴加速度计组件功能，是实现加速度计高精度的重要技术发展方向，在航天、航海、航空等领域的惯性导航及精密测量方面具有广阔的应景前景。
3、相关技术中，静电加速度计的支撑悬浮电压较高，导致测量误差较大。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对现有的静电加速度计存在的测量误差较大的问题，提供一种静电悬浮加速度计敏感结构。
2、一种静电悬浮加速度计敏感结构，所述静电悬浮加速度计敏感结构包括：
3、质量块，为空心的圆筒状；所述质量块内部设置有法兰盘，所述法兰盘的轴线与所述质量块的轴线共线；
<...【技术保护点】
1.一种静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述静电悬浮加速度计敏感结构包括：
2.根据权利要求1所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，沿所述质量块（100）的径向，所述第三电极板（410）位于所述内表面电极的内侧。
3.根据权利要求1所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述第一外电极板（210）包括偶数个，多个所述第一外电极板（210）沿所述质量块（100）的周向间隔设置。
4.根据权利要求3所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述第二外电极板（220）包括偶数个，多个所述第二外电极板（220）沿所述质量块（100）的周向间隔设置，且所述第二外电极板（220）与所述第一外电极板（210）沿所述质量块（100）的周向交替设置。
5.根据权利要求4所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，沿所述质量块（100）的径向，相对的两个所述第一外电极板（210）施加的电压的符号相反；相对的两个所述第二外电极板（220）施加的电压符号相反。
6.根据权利要求1所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述
7.根据权利要求6所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述第二内电极板（320）包括两对，两对所述第二内电极板（320）沿所述质量块（100）的周向间隔设置；同一对中的多个所述第二内电极板（320）沿所述质量块（100）的轴向间隔设置。
8.根据权利要求7所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，沿所述质量块（100）的径向，相对的两个所述第一内电极板（310）施加的电压符号相反；
9.根据权利要求1所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述第三电极板（410）包括两个，两个所述第三电极板（410）位于所述法兰盘（110）沿自身轴向的两侧。
10.根据权利要求9所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，两个所述第三电极板（410）施加的电压符号相反。
...【技术特征摘要】
1.一种静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述静电悬浮加速度计敏感结构包括：
2.根据权利要求1所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，沿所述质量块（100）的径向，所述第三电极板（410）位于所述内表面电极的内侧。
3.根据权利要求1所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述第一外电极板（210）包括偶数个，多个所述第一外电极板（210）沿所述质量块（100）的周向间隔设置。
4.根据权利要求3所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述第二外电极板（220）包括偶数个，多个所述第二外电极板（220）沿所述质量块（100）的周向间隔设置，且所述第二外电极板（220）与所述第一外电极板（210）沿所述质量块（100）的周向交替设置。
5.根据权利要求4所述的静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，沿所述质量块（100）的径向，相对的两个所述第一外电极板（210）施加的电压的符号相反；相对的两个所述第二外电极板（220）施加的电压符号相反。
6.根据权利要求1所述...
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