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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及压电陶瓷的,尤其涉及一种分区结构的多层压电陶瓷驱动器。
技术介绍
1、相关技术中,压电陶瓷材料是一种能够将机械能和电能互相转换的信息功能陶瓷材料,压电驱动器正是利用压电陶瓷材料的逆压电效应,将电能转变为机械形变,实现位移控制或者输出推力。由于压电驱动器具有的响应速度快、输出力矩大、线性度高等优点,在电子、驱动、医疗等领域得到了广泛应用。随着微电子技术的快速发展,以及对产品性能的进一步提高,单层压电驱动器已无法满足目前相关应用的使用需求,多层压电陶瓷驱动器应运而生。多层压电陶瓷驱动器利用压电陶瓷片叠堆结构,并且经过电路设计,实现机械串联、电路并联的结构,可以在较低的工作电压下具有更精确的线性位移重复性与更大的位移量等特点。
2、多层压电陶瓷驱动器通过增加压电陶瓷层叠数量与减小单层厚度,能够实现低电压、大位移驱动的目的。现有的多层压电陶瓷驱动器只能施加单一的电压进行驱动,产生的振动模式比较单一,需要多块多层压电陶瓷驱动器组合才能实现多模态振动。现有的多层压电陶瓷驱动器振动模态单一,不能实现复杂的振动,不利于小型化和多样化的发展。
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题,本申请提供一种分区结构的多层压电陶瓷驱动器,该多层压电陶瓷驱动器设有分区,可以是施加不同的电压驱动,实现多模态的振动,利于多层压电陶瓷驱动器的小型化和多样化的发展。
2、本申请提供一种分区结构的多层压电陶瓷驱动器,设有多层压电陶瓷片,包括:表面电极、多层内电极,所述内电极设于所述表
3、优选地,所述压电陶瓷片的长边尺寸为l1,短边尺寸为l2,其中l1>l2,在长边上引出侧电极。
4、优选地,当在长边引出侧电极时:l1>2*(l3+l4)或l2<2*(l3+l4);其中l3为长边引出侧电极的宽度,l4为长边引出侧电极的间距。
5、优选地,所述表面电极的排列方式需要满足条件:a、b,其中,a=l1-(4*l3)+(3*l4),b=l2-(2*l3)+l4。
6、优选地,当所述表面电极采用一字排列方式时,a≥0。
7、优选地,当所述表面电极采用矩形排列方式时,b≥0。
8、优选地,若a≥0和b≥0,则当a>b时,所述表面电极采用一字排列方式;当a<b时,所述表面电极采用矩形排列方式。
9、优选地,所述多层压电陶瓷片的单层压电陶瓷片的厚度为10um~100um,所述多层压电陶瓷片的层数为4~100层;所述多层压电陶瓷片的材料采用pzt-4或pzt-5或pzt-8材料中的一种或多种。
10、优选地,所述内电极采用的材料是ag或cu或ni或ag-pd合金,所述内电极采用的厚度为1um~10um。
11、优选地,所述表面电极采用的材料是ag或cu或ni或au,所述表面电极采用的厚度为1um~10um。
12、本申请提供的技术方案可以包括以下有益效果:该种多层压电陶瓷驱动器设有分区结构,针对不同的区域施加不同或者相同的电压,通过施加电压的多种组合,实现多模态的振动模式,同一个多层压电陶瓷驱动器能够实现多个多层压电陶瓷驱动器组合一起才能实现的功能,便于多层压电陶瓷驱动器的小型化和多样化的发展。
13、应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本申请。
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1.一种分区结构的多层压电陶瓷驱动器,设有多层压电陶瓷片,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:所述压电陶瓷片的长边尺寸为L1,短边尺寸为L2,其中L1>L2,在长边上引出侧电极。
3.根据权利要求2所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:当在长边引出侧电极时:L1>2*(L3+L4)或L2<2*(L3+L4);其中
4.根据权利要求3所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:所述表面电极的排列方式需要满足条件:a、b,其中,a=L1-(4*L3)+(3*L4),b=L2-(2*L3)+L4。
5.根据权利要求4所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:当所述表面电极采用一字排列方式时,a≥0。
6.根据权利要求4所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:当所述表面电极采用矩形排列方式时,b≥0。
7.根据权利要求4所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:若a≥0和b≥0,则当a>b时,所述表面电极采用一字排列方式;当a<b时,
8.根据权利要求1所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:所述多层压电陶瓷片的单层压电陶瓷片的厚度为10um~100um,所述多层压电陶瓷片的层数为4~100层;所述多层压电陶瓷片的材料采用PZT-4或PZT-5或PZT-8材料中的一种或多种。
9.根据权利要求1所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:所述内电极采用的材料是Ag或Cu或Ni或Ag-Pd合金,所述内电极采用的厚度为1um~10um。
10.根据权利要求1所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:所述表面电极采用的材料是Ag或Cu或Ni或Au,所述表面电极采用的厚度为1um~10um。
...【技术特征摘要】
1.一种分区结构的多层压电陶瓷驱动器,设有多层压电陶瓷片,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:所述压电陶瓷片的长边尺寸为l1,短边尺寸为l2,其中l1>l2,在长边上引出侧电极。
3.根据权利要求2所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:当在长边引出侧电极时:l1>2*(l3+l4)或l2<2*(l3+l4);其中
4.根据权利要求3所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:所述表面电极的排列方式需要满足条件:a、b,其中,a=l1-(4*l3)+(3*l4),b=l2-(2*l3)+l4。
5.根据权利要求4所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:当所述表面电极采用一字排列方式时,a≥0。
6.根据权利要求4所述的分区结构的多层压电陶瓷驱动器,其特征在于:当所述表面电极采用矩形...
【专利技术属性】
技术研发人员:柯超群,邱䶮,
申请(专利权)人:广东奥迪威传感科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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