【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆id识别，具体涉及一种晶圆id视觉识别装置。
技术介绍
1、在芯片制造过程中，晶圆是关键的制造单元。为了方便在整个制造过程中追踪，每个晶圆都被赋予了一个独特的id。在生产流程中，读取晶圆id是非常重要的一步。目前，主要采用视觉相机来完成自动识别和读取晶圆id。
2、然而，随着技术的进步，晶圆的尺寸也在不断变化。现有的晶圆id视觉识别装置往往不能适应不同的晶圆尺寸。对于不同尺寸的晶圆，需要人工将视觉相机移动到适当的位置以确保识别的准确性。这种做法不仅耗费大量的人力，而且可能会频繁导致产线暂停，从而严重影响生产效率。
技术实现思路
1、为此，本技术提供一种晶圆id视觉识别装置，主要解决现有技术的晶圆id视觉识别装置不能适应不同的晶圆尺寸，需要人工将视觉相机移动到适当的位置，而造成的耗费人力，影响生产效率的技术问题。
2、为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、一种晶圆id视觉识别装置，包括视觉相机，用于识别晶圆id；还包括底座；所述底座滑动设置有支撑杆及固定设置有驱动装置；所述驱动装置与所述支撑杆连接，驱动所述支撑杆左、右移动；所述支撑杆通过连接座和所述视觉相机连接。
4、可选地，所述驱动装置为设置在所述底座上的直线电机；所述直线电机的滑块上设有移动滑块，驱动移动滑块左、右移动；所述支撑杆设置在所述移动滑块上。
5、优选地，所述连接座可上、下滑动设置在所述支撑杆上。
6、可选地，所述支撑杆开设
7、优选地，所述底座四周均设有侧板；所述侧板顶部设有顶板；所述顶板开设有移动孔；所述支撑杆位于所述移动孔内。
8、优选地，前侧所述侧板开设有导线孔。
9、本技术至少具有以下有益效果：
10、其设置视觉相机和底座，底座滑动设置有支撑杆，且固定设置有驱动装置，驱动装置和支撑杆连接，驱动支撑杆左、右移动，支撑杆通过连接座和视觉相机连接。针对不同尺寸的晶圆，驱动装置驱动支撑杆左、右移动，从而将视觉相机左、右移动，自动调整视觉相机位置，以适应不同尺寸的晶圆，调整效率高，节省人力，不需要产线暂停，不影响生产效率。
11、由此可见，本技术的一种晶圆id视觉识别装置具有结构简单，可自动调节视觉相机位置，适应不同尺寸的晶圆，节省人力，提高生产效率等优点。
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1.一种晶圆ID视觉识别装置，包括视觉相机(2)，用于识别晶圆ID，其特征在于，还包括底座(1)；所述底座(1)滑动设置有支撑杆(5)及固定设置有驱动装置；所述驱动装置与所述支撑杆(5)连接，驱动所述支撑杆(5)左、右移动；所述支撑杆(5)通过连接座(6)和所述视觉相机(2)连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆ID视觉识别装置，其特征在于，所述驱动装置为设置在所述底座(1)上的直线电机(4)；所述直线电机(4)的滑块上设有移动滑块(3)，驱动移动滑块(3)左、右移动；所述支撑杆(5)设置在所述移动滑块(3)上。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆ID视觉识别装置，其特征在于，所述连接座(6)可上、下滑动设置在所述支撑杆(5)上。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆ID视觉识别装置，其特征在于，所述支撑杆(5)开设有调节槽(501)；所述连接座(6)螺纹连接固定螺栓(10)；所述固定螺栓(10)可滑动穿过所述调节槽(501)，且固定螺栓(10)螺帽伸出调节槽(501)外；所述固定螺栓(10)螺帽尺寸大于所述调节槽(501)宽度，拧紧固定螺栓(10
5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种晶圆ID视觉识别装置，其特征在于，所述底座(1)四周均设有侧板(8)；所述侧板(8)顶部设有顶板(9)；所述顶板(9)开设有移动孔(901)；所述支撑杆(5)位于所述移动孔(901)内。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆ID视觉识别装置，其特征在于，前侧所述侧板(8)开设有导线孔(801)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆id视觉识别装置，包括视觉相机(2)，用于识别晶圆id，其特征在于，还包括底座(1)；所述底座(1)滑动设置有支撑杆(5)及固定设置有驱动装置；所述驱动装置与所述支撑杆(5)连接，驱动所述支撑杆(5)左、右移动；所述支撑杆(5)通过连接座(6)和所述视觉相机(2)连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆id视觉识别装置，其特征在于，所述驱动装置为设置在所述底座(1)上的直线电机(4)；所述直线电机(4)的滑块上设有移动滑块(3)，驱动移动滑块(3)左、右移动；所述支撑杆(5)设置在所述移动滑块(3)上。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆id视觉识别装置，其特征在于，所述连接座(6)可上、下滑动设置在所述支撑杆(5)上。
4.根据权利要求3所述的一种晶...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨佳硕，刘冬梅，王强，
申请(专利权)人：北京锐洁机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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