一种纯水罐氮气自动保压装置制造方法及图纸

一种纯水罐氮气自动保压装置，包括PLC控制器、触摸屏、气压传感器、气体流量计、气路电磁阀；气压传感器输出接PLC控制器的输入端，PLC控制器接触摸屏，设有三路氮气输入气路连接到纯水罐，三路氮气输入气路上的分别设有第一到第三气路电磁阀，所述的PLC1控制器输出分别连接第一到第三气路电磁阀，三路氮气输入气路是并联的分级流量气路，每路分级流量气路上串联气体流量计，得到纯水罐内正压氮气。所述的PL1C控制器通过控制不同的第一到第三气路电磁阀，得到纯水罐内正压氮气。PLC控制器控制气路电磁阀开关，单向阀起到罐内压力超压排放作用，气体流量计显示工作时的气体流量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造设备领域，更具体地说，涉及一种纯水罐氮气保压的控制装置。

技术介绍

1、传统的纯水储罐的氮气保压系统都是用机械的自动控制，存大控制精度差，可靠性不高，氮气浪费严重的问题。

2、本技术适用于纯水罐氮气保压系统，采用多路气体以不同的流量输入至纯水储罐，视氮气罐的气体压力要求而输入不同流量的氮气，设备投资小，可靠性高，节省氮气。

3、芯片生产要求纯水的纯度很高，尤其是使用和存储过程中要隔离空气，要用一定压力的氮气在隔离空气。

技术实现思路

1、本技术目的是，提供一种纯水罐氮气保压的控制系统，它可以给纯水储罐提供安全可靠的正压氮气，防止空气进入，污染纯水，投资小，安全可靠，尤其是节省氮气的消耗。

2、本技术的目的通过以下技术方案实现，一种纯水罐氮气保压的控制系统，包括plc控制器、触摸屏、气压传感器、气体流量计、气路电磁阀；气压传感器输出接plc控制器的输入端，plc控制器接触摸屏，设有三路氮气输入气路连接到纯水罐，三路氮气输入气路上的分别设有第一到第三气路电磁阀9，10，11，所述的plc1控制器输出分别连接第一到第三气路电磁阀9，10，11，三路氮气输入气路是并联的分级流量气路，每路分级流量气路上串联气体流量计，得到纯水罐内正压氮气。所述的plc控制器通过控制不同的第一到第三气路电磁阀9，10，11，得到纯水罐内正压氮气。即plc通过压力传感器控制不同流量的气路电磁阀，来控制流入纯水罐氮气量的大小，保障纯水罐内一直保持氮气正压。</p>

3、plc通过压力传感器控制不同流量的气路电磁阀，来控制流入纯水罐氮气量的大小；

4、气体流量计、纯水罐上安装单向阀和压力报警器。

5、三路氮气输入气路分别串联第一至第三气体流量计，第一气体流量计最大量程比纯水罐最大输出的纯水流量要大。第二气体流量计的量程是第一气体流量计气体流量的一半，第三气体流量计是最小维持流量。

6、压力传感器3测量纯水罐内氮气压，并将模拟量或数字信号传给plc1。

7、三路氮气输入气路是并联的分级流量气路，每路分级流量气路上串联气体流量计，纯水罐上安装气压传感器和排气单向阀，得到纯水罐内正压氮气。

8、纯水罐上安装单向排气阀和压力报警器；排气单向阀是安全阀，在过压时可以泄压保安全；气路电磁阀9，10，11为截止阀，不采用流量控制气路电磁阀，从而降低成本。

9、有益效果：相比于现有技术， plc控制器控制气路电磁阀开关和状态显示和报警，气压传感器检测罐内压力，单向阀起到罐内压力超压排放作用，气体流量计显示工作时的气体流量。氮气耗用量小，纯水罐内能一直保持正压。本技术的优点还在于：本技术结构简单，在全自动工作状态下，自行调整纯水罐内压力，安全可靠，投资小，节省氮气。

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【技术保护点】

1.一种纯水罐氮气自动保压装置，其特征是，包括PLC控制器、触摸屏、气压传感器、气体流量计、气路电磁阀；气压传感器输出接PLC控制器的输入端，PLC控制器接触摸屏，设有三路氮气输入气路连接到纯水罐，三路氮气输入气路上的分别设有第一到第三气路电磁阀，所述的PLC控制器输出分别连接第一到第三气路电磁阀（9，10，11），三路氮气输入气路是并联的分级流量气路，每路分级流量气路上串联气体流量计，得到纯水罐内正压氮气；所述的PLC控制器通过控制不同的第一到第三气路电磁阀，得到纯水罐内正压氮气。

2.根据权利要求1所述的纯水罐氮气自动保压装置，其特征是，纯水罐上安装单向排气阀和压力报警器。

3.根据权利要求1所述的纯水罐氮气自动保压装置，其特征在于：三路氮气输入气路分别串联第一至第三气体流量计，第一气体流量计最大量程比纯水罐最大输出的纯水流量要大；第二气体流量计的量程是第一气体流量计气体流量的一半，第三气体流量计是最小维持流量的量程。

【技术特征摘要】

1.一种纯水罐氮气自动保压装置，其特征是，包括plc控制器、触摸屏、气压传感器、气体流量计、气路电磁阀；气压传感器输出接plc控制器的输入端，plc控制器接触摸屏，设有三路氮气输入气路连接到纯水罐，三路氮气输入气路上的分别设有第一到第三气路电磁阀，所述的plc控制器输出分别连接第一到第三气路电磁阀（9，10，11），三路氮气输入气路是并联的分级流量气路，每路分级流量气路上串联气体流量计，得到纯水罐内正压氮气；所述的plc控制器...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈道友，刘韵吉，范骏，杨敏红，王玮，
申请(专利权)人：桑德斯微电子器件南京有限公司，
类型：新型
国别省市：