一种涂胶机胶嘴冲洗结构制造技术

本技术属于半导体涂胶工艺领域，具体地说是一种涂胶机胶嘴冲洗结构，包括盒体及盒盖，盒体具有溶剂留存槽、溶剂溢流口及阻挡边沿，盒盖具有胶嘴停留存放口、冲洗液流道、冲洗液加注孔、冲洗液喷出孔及保湿液加注孔。本技术通过具有溶剂留存槽、溶剂溢流口及阻挡边沿的盒体与具有胶嘴停留存放口、冲洗液流道、冲洗液加注孔、冲洗液喷出孔、保湿液加注孔的盒盖的配合设置，可对涂胶机的胶嘴进行直接冲洗，无需将胶嘴拆卸下来进行冲洗，能够满足胶嘴冲洗要求以及洁净度要求，且可将部分冲洗液临时保留作为保湿液，保湿液在溶剂留存槽中挥发形成蒸汽能够在胶嘴不使用时对胶嘴进行保湿，避免胶嘴干涸。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体涂胶工艺领域，具体地说是一种涂胶机胶嘴冲洗结构。

技术介绍

1、目前在半导体涂胶工艺中，光刻胶挥发性快，容易造成涂胶机的胶嘴干涸；并且在每次喷涂完光刻胶之后，胶嘴处可能会残留光刻胶，最后干涸在胶嘴上，造成影响后续涂胶工艺。要想对涂胶机的胶嘴进行冲洗一般需要将胶嘴拆卸下来进行冲洗，这样易造成胶嘴二次污染，并不能满足胶嘴冲洗要求以及洁净度要求。如果直接更换胶嘴，也会在时间以及成本上造成浪费。

技术实现思路

1、针对目前涂胶机在使用时不能够对胶嘴进行保湿以及直接冲洗的问题，本技术的目的在于提供一种涂胶机胶嘴冲洗结构。

2、本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：

3、一种涂胶机胶嘴冲洗结构，包括盒体及盒盖，所述盒体的顶部开口并向内侧凹设有溶剂留存槽，所述盒盖安装于所述盒体的顶部开口上，所述盒盖的顶面中部开设有与所述溶剂留存槽相连通的胶嘴停留存放口，所述溶剂留存槽的底面上开设有溶剂溢流口，所述溶剂溢流口外侧的溶剂留存槽的底面上凸设有阻挡边沿，所述溶剂溢流口的设置位置与所述胶嘴停留存放口的设置位置上下对应；

4、所述胶嘴停留存放口两侧的所述盒盖内部分别开设有冲洗液流道，所述盒盖外周面上分别开设有与各所述冲洗液流道相连通的冲洗液加注孔，所述胶嘴停留存放口的内侧面上开设有若干个冲洗液喷出孔，各所述冲洗液喷出孔分别与邻近的所述冲洗液流道相连通，所述盒盖底面上分别开设有与所述冲洗液流道相连通的保湿液加注孔，各所述保湿液加注孔分别朝向所述阻挡边沿外侧的所述溶剂留存槽的底面。

5、所述盒盖的底部向下延伸有用于插入至所述盒体的顶部开口中的插接边沿a。

6、所述盒体的底部向下延伸有插接边沿b。

7、各所述冲洗液加注孔分别与对应的所述冲洗液流道的一端相连通，各所述保湿液加注孔分别与对应的所述冲洗液流道的另一端相连通。

8、从每个所述冲洗液流道的一端至该冲洗液流道的另一端呈逐渐向下倾斜的趋势。

9、与同一个所述冲洗液流道相通的各所述冲洗液喷出孔分别位于与同一个所述冲洗液流道相通的冲洗液加注孔及保湿液加注孔之间。

10、本技术的优点与积极效果为：

11、本技术通过具有溶剂留存槽、溶剂溢流口及阻挡边沿的盒体与具有胶嘴停留存放口、冲洗液流道、冲洗液加注孔、冲洗液喷出孔、保湿液加注孔的盒盖的配合设置，可对涂胶机的胶嘴进行直接冲洗，无需将胶嘴拆卸下来进行冲洗，能够满足胶嘴冲洗要求以及洁净度要求，且可将部分冲洗液临时保留作为保湿液，保湿液在溶剂留存槽中挥发形成蒸汽能够在胶嘴不使用时对胶嘴进行保湿，避免胶嘴干涸。

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【技术保护点】

1.一种涂胶机胶嘴冲洗结构，其特征在于：包括盒体(1)及盒盖(2)，所述盒体(1)的顶部开口并向内侧凹设有溶剂留存槽(101)，所述盒盖(2)安装于所述盒体(1)的顶部开口上，所述盒盖(2)的顶面中部开设有与所述溶剂留存槽(101)相连通的胶嘴停留存放口(201)，所述溶剂留存槽(101)的底面上开设有溶剂溢流口(102)，所述溶剂溢流口(102)外侧的溶剂留存槽(101)的底面上凸设有阻挡边沿(103)，所述溶剂溢流口(102)的设置位置与所述胶嘴停留存放口(201)的设置位置上下对应；

2.根据权利要求1所述的一种涂胶机胶嘴冲洗结构，其特征在于：所述盒盖(2)的底部向下延伸有用于插入至所述盒体(1)的顶部开口中的插接边沿A(206)。

3.根据权利要求1所述的一种涂胶机胶嘴冲洗结构，其特征在于：所述盒体(1)的底部向下延伸有插接边沿B(104)。

4.根据权利要求1所述的一种涂胶机胶嘴冲洗结构，其特征在于：各所述冲洗液加注孔(203)分别与对应的所述冲洗液流道(202)的一端相连通，各所述保湿液加注孔(205)分别与对应的所述冲洗液流道(202)的另一端相连通。

5.根据权利要求4所述的一种涂胶机胶嘴冲洗结构，其特征在于：从每个所述冲洗液流道(202)的一端至该冲洗液流道(202)的另一端呈逐渐向下倾斜的趋势。

6.根据权利要求4所述的一种涂胶机胶嘴冲洗结构，其特征在于：与同一个所述冲洗液流道(202)相通的各所述冲洗液喷出孔(204)分别位于与同一个所述冲洗液流道(202)相通的冲洗液加注孔(203)及保湿液加注孔(205)之间。

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【技术特征摘要】

1.一种涂胶机胶嘴冲洗结构，其特征在于：包括盒体(1)及盒盖(2)，所述盒体(1)的顶部开口并向内侧凹设有溶剂留存槽(101)，所述盒盖(2)安装于所述盒体(1)的顶部开口上，所述盒盖(2)的顶面中部开设有与所述溶剂留存槽(101)相连通的胶嘴停留存放口(201)，所述溶剂留存槽(101)的底面上开设有溶剂溢流口(102)，所述溶剂溢流口(102)外侧的溶剂留存槽(101)的底面上凸设有阻挡边沿(103)，所述溶剂溢流口(102)的设置位置与所述胶嘴停留存放口(201)的设置位置上下对应；

2.根据权利要求1所述的一种涂胶机胶嘴冲洗结构，其特征在于：所述盒盖(2)的底部向下延伸有用于插入至所述盒体(1)的顶部开口中的插接边沿a(206)。

3.根据权利要求1所述的一种涂胶机胶嘴...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏程，丁雨楠，陈建，崔海超，李浩楠，郭生华，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：