【技术实现步骤摘要】
本专利技术的各个方面和实施方式涉及运送模块和运送方法。
技术介绍
1、下述专利文献1中公开了，“基板处理系统1具有主体10和控制主体10的控制装置100。主体10包括真空运送模块11、多个基板处理模块12、多个负载锁定模块13、多个储存模块14和基板定位模块15。此外，主体10具有er(边缘环)定位模块16、大气运送模块17和多个装载口18。”。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2021-141136号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的技术课题
2、本专利技术提供能够减少基板处理系统的设置面积的运送模块和运送方法。
3、用于解决课题的技术方案
4、本专利技术的一个方面的运送模块包括第1运送室、第2运送室和开闭门。第1运送室与真空运送模块连接，能够维持为比大气压低的低压。第2运送室设置在第1运送室中与连接真空运送模块的第1侧壁相对的侧壁以外的第2侧壁或第1运送室的上部。此外，第2运送室能够收纳用于收纳多个被运送物的容器，能够将内部的压力切换成大气压和所述低压。开闭门以将第1运送室与第2运送室分隔开的方式构成。第1运送室具有用于收纳被运送物的收纳部。在收纳有多个被运送物的容器被送入第2运送室内、第2运送室内的压力从大气压切换成低压后，以使第1运送室内的空间和第2运送室内的空间连通的方式控制开闭门。多个被运送物从容器向第1运送室内的收纳部运送，从收纳部向真空运送模块内运送，从真空运送模块
5、专利技术效果
6、根据本专利技术的各个方面和实施方式，能够减少基板处理系统的设置面积。
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1.一种运送模块，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的运送模块，其特征在于：
3.如权利要求2所述的运送模块，其特征在于：
4.如权利要求2或3所述的运送模块，其特征在于：
5.如权利要求2所述的运送模块，其特征在于：
6.如权利要求1所述的运送模块，其特征在于，包括：
7.如权利要求6所述的运送模块，其特征在于：
8.如权利要求1所述的运送模块，其特征在于：
9.如权利要求8所述的运送模块，其特征在于：
10.如权利要求8或9所述的运送模块，其特征在于，包括：
11.如权利要求1所述的运送模块，其特征在于：
12.如权利要求11所述的运送模块，其特征在于：
13.一种运送模块的运送方法，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种运送模块，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的运送模块，其特征在于：
3.如权利要求2所述的运送模块，其特征在于：
4.如权利要求2或3所述的运送模块，其特征在于：
5.如权利要求2所述的运送模块，其特征在于：
6.如权利要求1所述的运送模块，其特征在于，包括：
7.如权利要求6所述的运送模块...
【专利技术属性】
技术研发人员：网仓纪彦，三枝慎，丰卷俊明，贝瀬精一，北正知，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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