一种高精度的双CCD视觉定位机构制造技术

本技术公开了一种高精度的双CCD视觉定位机构，其包括一固定基座、一双轴驱动模组以及两组CCD视觉模组；其中一组所述CCD视觉模组为相对于所述固定基座固定的固定视觉模组；另一组所述CCD视觉模组为移动视觉模组，其通过所述双轴驱动模组连接所述固定基座；每组所述CCD视觉模组均包括一组高倍相机组件与一组低倍相机组件。本技术的双CCD视觉定位机构作业时，两组CCD视觉模组一次性同时成像，可以同时抓取两个MARK，据此来进行视觉定位，可以减小平台次运动带来的误差，提高定位精度。同时，每组CCD视觉模组中的高倍相机组件与低倍相机组件可以按需切换使用，以提升成像精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及产品视觉定位，特别是涉及一种高精度的双ccd视觉定位机构。

技术介绍

1、当前，人工成本日益高昂，设备自动化是一个大趋势，新制造的芯片加工设备基本都是全自动设备，而全自动设备核心基础模块是定位，所有全自动设备的的流程动作都是建立这个基础上，因此定位功能十分重要。定位可以分为机械定位和ccd视觉定位，机械定位大多应用于精度要求不高的场景，而精度要求比较高的都是采用ccd视觉定位。现有技术大多采用单组的ccd，通过运动平台来实现抓取多个mark,，从而达到视觉定位的目的，进而要实现视觉定位，因为至少必须有两个或者两个以上mark才能通过算法进行解析定位。然而通过平台运动进行二次抓取mark的方式会带来一个误差(误差大小取决于运动平台精度)，若抓取2个以上mark，则误差会相应增大，不利于高精度定位的需求。

技术实现思路

1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种定位精度高的高精度的双ccd视觉定位机构。

2、技术方案：为实现上述目的，本技术的高精度的双ccd视觉定位机构，其包括一固定基座、一双轴驱动模组以及两组ccd视觉模组；

3、其中一组所述ccd视觉模组为相对于所述固定基座固定的固定视觉模组；另一组所述ccd视觉模组为移动视觉模组，其通过所述双轴驱动模组连接所述固定基座；

4、每组所述ccd视觉模组均包括一组高倍相机组件与一组低倍相机组件。

5、进一步地，所述双轴驱动模组包含两组直线驱动组件，两组所述直线驱动组件对应的平移方向相互垂直。

6、进一步地，所述双轴驱动模组包括移动基座；所述固定基座上端的两侧均设置有第一滑轨；所述移动基座上安装有与每个所述第一滑轨滑动配合的第一滑块；所述移动基座相对于所述固定基座的平移运动由第一电机通过第一丝杠驱动；

7、所述移动基座上安装有与所述第一滑轨垂直的第二滑轨，所述移动视觉模组的模组座体的底部安装有与所述第二滑轨滑动配合的第二滑块；所述移动视觉模组相对于所述移动基座的平移运动由第二电机通过第二丝杠驱动。

8、进一步地，所述ccd视觉模组包括模组座体；所述高倍相机组件与所述低倍相机组件均安装在所述模组座体上；

9、所述高倍相机组件包括第一相机与第一镜头；所述低倍相机组件包括第二相机与第二镜头；所述第一镜头与所述第二镜头的朝向相同，且两者的轴向平行；

10、所述ccd视觉模组还包括第一镜片、第二镜片、第三镜片与第四镜片；在垂直于所述第一镜头轴线的方向上，所述第一镜片、第二镜片及第三镜片三者共线设置，且三者均倾斜安装，所述第一镜片与所述第二镜片分别安装在所述第一镜头与所述第二镜头之前；

11、在平行于所述第一镜头轴线的方向上，所述第三镜片与所述第四镜片共线设置，且所述第四镜片能够将竖直光线反射为水平光线并使反射后的光线射向所述第三镜片。

12、进一步地，所述ccd视觉模组还包括第一光源与第二光源；所述第一光源与所述第三镜片及所述第四镜片共线安装；所述第二光源直接对产品进行打光。

13、进一步地，所述模组座体为盒体，所述ccd视觉模组包含的其他部分均安装在所述模组座体内。

14、进一步地，所述模组座体的底部具有通孔，所述第二光源安装在所述通孔位置处并朝下打光，所述第四镜片安装在所述通孔的上方。

15、进一步地，所述固定基座上形成有上下贯通的贯通槽。

16、有益效果：本技术的高精度的双ccd视觉定位机构具有如下优点：

17、(1)两组ccd视觉模组一次性同时成像，可以同时抓取两个mark，据此来进行视觉定位，可以减小平台次运动带来的误差，提高定位精度；

18、(2)兼容性强，通过设置双轴驱动模组，可适应于8寸、12寸晶圆各种不同位置的mark；

19、(3)每组ccd视觉模组中的高倍相机组件与低倍相机组件可以按需切换使用，以提升成像精度。

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【技术保护点】

1.一种高精度的双CCD视觉定位机构，其特征在于，其包括一固定基座(1)、一双轴驱动模组(2)以及两组CCD视觉模组(3)；

2.根据权利要求1所述的高精度的双CCD视觉定位机构，其特征在于，所述双轴驱动模组(2)包含两组直线驱动组件，两组所述直线驱动组件对应的平移方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的高精度的双CCD视觉定位机构，其特征在于，所述双轴驱动模组(2)包括移动基座(21)；所述固定基座(1)上端的两侧均设置有第一滑轨(22)；所述移动基座(21)上安装有与每个所述第一滑轨(22)滑动配合的第一滑块(23)；所述移动基座(21)相对于所述固定基座(1)的平移运动由第一电机(24)通过第一丝杠(25)驱动；

4.根据权利要求1所述的高精度的双CCD视觉定位机构，其特征在于，所述CCD视觉模组(3)包括模组座体(31)；所述高倍相机组件与所述低倍相机组件均安装在所述模组座体(31)上；

5.根据权利要求4所述的高精度的双CCD视觉定位机构，其特征在于，所述CCD视觉模组(3)还包括第一光源(310)与第二光源(311)；所述第一光源(310)与所述第三镜片(38)及所述第四镜片(39)共线安装；所述第二光源(311)直接对产品进行打光。

6.根据权利要求5所述的高精度的双CCD视觉定位机构，其特征在于，所述模组座体(31)为盒体，所述CCD视觉模组(3)包含的其他部分均安装在所述模组座体(31)内。

7.根据权利要求5所述的高精度的双CCD视觉定位机构，其特征在于，所述模组座体(31)的底部具有通孔，所述第二光源(311)安装在所述通孔位置处并朝下打光，所述第四镜片(39)安装在所述通孔的上方。

8.根据权利要求1所述的高精度的双CCD视觉定位机构，其特征在于，所述固定基座(1)上形成有上下贯通的贯通槽(11)。

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【技术特征摘要】

1.一种高精度的双ccd视觉定位机构，其特征在于，其包括一固定基座(1)、一双轴驱动模组(2)以及两组ccd视觉模组(3)；

2.根据权利要求1所述的高精度的双ccd视觉定位机构，其特征在于，所述双轴驱动模组(2)包含两组直线驱动组件，两组所述直线驱动组件对应的平移方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的高精度的双ccd视觉定位机构，其特征在于，所述双轴驱动模组(2)包括移动基座(21)；所述固定基座(1)上端的两侧均设置有第一滑轨(22)；所述移动基座(21)上安装有与每个所述第一滑轨(22)滑动配合的第一滑块(23)；所述移动基座(21)相对于所述固定基座(1)的平移运动由第一电机(24)通过第一丝杠(25)驱动；

4.根据权利要求1所述的高精度的双ccd视觉定位机构，其特征在于，所述ccd视觉模组(3)包括模组座体(31)；所述高倍相机组件与所述低倍相机组件均安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：程胜，郑伟滨，李贤伟，邱家文，
申请(专利权)人：迈科微纳半导体技术昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：