【技术实现步骤摘要】
本技术涉及加工设备，具体涉及一种寻边检测装置及包括该寻边检测装置的倒角机。
技术介绍
1、航空航天，光导纤维等多种领域中，半导体晶圆是非常重要的材料。在晶片的加工过程中，从晶锭切成晶片后，如果直接进行磨片，容易产生崩边，从而引起晶片报废，因此在磨片之前需要对晶片进行倒角。
2、半导体晶圆除了硅晶圆，还有碳化硅晶圆、蓝宝石晶圆等，现有的倒角机在对晶圆进行倒角磨削之前，需要通过寻边检测装置对晶圆进行寻边检测以确定晶圆的位置。现有技术中一般通过晶圆上的缺口(又称notch槽)来确定晶圆的位置，从而实现晶圆的寻边，根据缺口的不同大致分为两类：平槽和v型槽。
3、现有的寻边检测装置一般包括承载组件和寻边检测构件，承载组件用于承载晶圆且能够带着晶圆旋转，寻边检测构件包括沿竖直方向相对设置的信号发射器和信号接收器，晶圆在信号发射器和信号接收器的中间时，晶圆的主体遮挡住信号，从而信号接收器接收到的信号的强度将发生变化，甚至信号接收器的信号强度直接减少为零，然而，晶圆的缺口部分不会遮挡信号，信号接收器接收到的信号强度和无晶圆时相同，从而在晶圆旋转时，可以根据晶圆在一组信号发射器和信号接收器运动时光强的变化(也即信号强度)来识别晶圆的边缘位置，以及定位晶圆的缺口。
4、然而，现有的寻边检测装置一般会紧邻厚度检测装置设置，当晶圆的尺寸较大时，晶圆容易与寻边检测装置的承载组件发生发生干涉，影响对晶圆进行厚度检测。
5、相应地，本领域需要一种新的技术方案来解决上述问题。
技术实现
1、为了解决现有技术中的上述至少一个问题，即为了解决现有的寻边检测装置的承载组件可能会与进行厚度检测晶圆的发生干涉的技术问题。
2、在第一方面，本申请提供了一种寻边检测装置，所述寻边检测装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的升降驱动组件、承载组件以及寻边检测构件，所述升降驱动组件与所述承载组件连接且能够驱动所述承载组件上下移动，所述承载组件用于承载待检测件且能够带着待检测件旋转。
3、在上述寻边检测装置的优选技术方案中，所述升降驱动组件包括与所述固定构件固定连接的安装座、安装在所述安装座上的竖直导向构件、与所述竖直导向构件滑动配合的升降构件以及与所述升降构件连接的驱动构件，所述驱动构件用于驱动所述升降构件沿着所述竖直导向构件上下移动，所述承载组件与所述升降构件固定连接。
4、在上述寻边检测装置的优选技术方案中，所述升降驱动组件还包括用于对所述升降构件进行止挡限位的第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件设于所述安装座且位于所述升降构件的上方，所述第二限位构件设于所述安装座且位于所述升降构件的下方。
5、在上述寻边检测装置的优选技术方案中，所述第一限位构件包括第一限位块以及安装在所述第一限位块上的第一缓冲器，所述第一限位块与所述安装座固定连接或一体设置，所述第一缓冲器沿竖直方向设置且所述第一缓冲器的底端延伸至所述第一限位块的下方；和/或
6、所述第二限位构件包括第二限位块以及安装在所述第二限位块上的第二缓冲器，所述第二限位块与所述安装座固定连接或一体设置，所述第二缓冲器沿竖直方向设置且所述第二缓冲器的顶端延伸至所述第二限位块的上方。
7、在上述寻边检测装置的优选技术方案中，所述驱动构件为驱动气缸。
8、在上述寻边检测装置的优选技术方案中，所述寻边检测装置还包括安装在所述固定构件上的平移组件，所述寻边检测构件安装在所述平移组件上，所述平移组件能够相对于所述固定构件沿水平方向移动。
9、在上述寻边检测装置的优选技术方案中，所述寻边检测装置还包括沿所述平移组件水平移动的方向延伸的刻度尺，所述刻度尺设于所述固定构件或所述平移组件。
10、在上述寻边检测装置的优选技术方案中，所述固定构件上设置第一水平导向构件，所述平移组件上设置有第二水平导向构件，所述第一水平导向构件与所述第二水平导向构件相配合在所述平移组件移动时对所述平移组件进行导向。
11、在上述寻边检测装置的优选技术方案中，所述承载组件包括安装在所述升降驱动组件上的旋转驱动机构、竖直设置的旋转轴以及安装在所述旋转轴顶端的承载构件，所述旋转驱动机构与所述旋转轴驱动连接且能够驱动所述旋转轴带着所述承载构件旋转。
12、在第二方面，本申请还提供了一种倒角机，所述倒角机包括上述技术方案所述的寻边检测装置。
13、在采用上述技术方案的情况下，本技术的寻边检测装置通过在固定构件上安装升降驱动组件与承载组件连接，通过升降驱动组件能够驱动承载组件上下移动，在对晶圆进行厚度检测时，可以通过升降驱动组件使承载组件的顶端移动到晶圆的下方，以避免与晶圆发生干涉。
14、进一步地，本技术的寻边检测装置通过在升降构件的上方和下方分别设置第一限位构件和第二限位构件对升降构件进行止挡限位，升降构件只能够在第一限位构件与第二限位构件之间上下移动，提高了寻边检测装置的可靠性。
15、又进一步地，本技术的寻边检测装置通过在第一限位块和第二限位块上分别设置第一缓冲器和第二缓冲器，在升降构件上下移动时通过第一缓冲器和第二缓冲器进行缓冲，能够避免升降构件直接与第一限位块和第二限位块碰撞。
16、又进一步地，本技术的寻边检测装置通过在固定构件上设置平移组件，并将寻边检测构件安装在平移组件上，这样一来，能够通过平移组件来调节寻边检测构件与承载组件之间的水平距离，使得本技术的寻边检测装置能够对不同尺寸的晶圆进行寻边检测，提高了寻边检测装置的适用范围。
17、又进一步地，本技术的寻边检测装置通过设置刻度尺，便于确定平移组件的移动距离，操作更加方便。
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1.一种寻边检测装置，其特征在于，所述寻边检测装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的升降驱动组件、承载组件以及寻边检测构件，所述升降驱动组件与所述承载组件连接且能够驱动所述承载组件上下移动，所述承载组件用于承载待检测件且能够带着待检测件旋转。
2.根据权利要求1所述的寻边检测装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括与所述固定构件固定连接的安装座、安装在所述安装座上的竖直导向构件、与所述竖直导向构件滑动配合的升降构件以及与所述升降构件连接的驱动构件，所述驱动构件用于驱动所述升降构件沿着所述竖直导向构件上下移动，所述承载组件与所述升降构件固定连接。
3.根据权利要求2所述的寻边检测装置，其特征在于，所述升降驱动组件还包括用于对所述升降构件进行止挡限位的第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件设于所述安装座且位于所述升降构件的上方，所述第二限位构件设于所述安装座且位于所述升降构件的下方。
4.根据权利要求3所述的寻边检测装置，其特征在于，所述第一限位构件包括第一限位块以及安装在所述第一限位块上的第一缓冲器，所述第一限位块与所述安装座固定连接或一
5.根据权利要求2所述的寻边检测装置，其特征在于，所述驱动构件为驱动气缸。
6.根据权利要求1所述的寻边检测装置，其特征在于，所述寻边检测装置还包括安装在所述固定构件上的平移组件，所述寻边检测构件安装在所述平移组件上，所述平移组件能够相对于所述固定构件沿水平方向移动。
7.根据权利要求6所述的寻边检测装置，其特征在于，所述寻边检测装置还包括沿所述平移组件水平移动的方向延伸的刻度尺，所述刻度尺设于所述固定构件或所述平移组件。
8.根据权利要求6所述的寻边检测装置，其特征在于，所述固定构件上设置有第一水平导向构件，所述平移组件上设置有第二水平导向构件，所述第一水平导向构件与所述第二水平导向构件相配合在所述平移组件移动时对所述平移组件进行导向。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的寻边检测装置，其特征在于，所述承载组件包括安装在所述升降驱动组件上的旋转驱动机构、竖直设置的旋转轴以及安装在所述旋转轴顶端的承载构件，所述旋转驱动机构与所述旋转轴驱动连接且能够驱动所述旋转轴带着所述承载构件旋转。
10.一种倒角机，其特征在于，所述倒角机包括权利要求1至9中任一项所述的寻边检测装置。
...【技术特征摘要】
1.一种寻边检测装置，其特征在于，所述寻边检测装置包括固定构件以及安装在所述固定构件上的升降驱动组件、承载组件以及寻边检测构件，所述升降驱动组件与所述承载组件连接且能够驱动所述承载组件上下移动，所述承载组件用于承载待检测件且能够带着待检测件旋转。
2.根据权利要求1所述的寻边检测装置，其特征在于，所述升降驱动组件包括与所述固定构件固定连接的安装座、安装在所述安装座上的竖直导向构件、与所述竖直导向构件滑动配合的升降构件以及与所述升降构件连接的驱动构件，所述驱动构件用于驱动所述升降构件沿着所述竖直导向构件上下移动，所述承载组件与所述升降构件固定连接。
3.根据权利要求2所述的寻边检测装置，其特征在于，所述升降驱动组件还包括用于对所述升降构件进行止挡限位的第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件设于所述安装座且位于所述升降构件的上方，所述第二限位构件设于所述安装座且位于所述升降构件的下方。
4.根据权利要求3所述的寻边检测装置，其特征在于，所述第一限位构件包括第一限位块以及安装在所述第一限位块上的第一缓冲器，所述第一限位块与所述安装座固定连接或一体设置，所述第一缓冲器沿竖直方向设置且所述第一缓冲器的底端延伸至所述第一限位块...
【专利技术属性】
技术研发人员：牛银星，徐公志，张笑笑，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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