【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，特别涉及一种巨量转移装置。
技术介绍
1、发光二极管(led)是许多消费产品(如通用照明、智能手机、显示器和汽车等)的重要组成部分，通常可以实现更高的效率和耐久性、更紧凑的体积和更高的设计灵活性。led是目前应用最广的照明、显示光源，电光转换效率可超过50％。作为固态主动发光光源，led具有亮度高、寿命长、响应速度快和环保等特点。半导体微纳制造技术与led技术的结合带来了新的可能性。led的尺寸减小至微米量级，可以称作微型发光二极管(micro-led)。micro-led显示技术业界目前瓶颈主要在于芯片制作、巨量转移、全彩化显示等，micro-led可以用于制作显示器，相比于当前的oled和lcd等主流显示技术，micro-led具有更高的亮度、分辨率与色彩饱和度，更低的能耗，更长的寿命和更快的响应速度。
2、在现有micro-led的工艺制程中，巨量转移的效率低，降低了生产效率，增加了生产成本。
技术实现思路
1、本技术的主要目的是提出一种巨量转移装置，旨在提高巨量转移的效率。
2、为实现上述目的，本技术提出的一种巨量转移装置，包括：
3、承载基板，设置有与微芯片元件对应的定位点；
4、夹持组件，所述夹持组件与承载基板贴合且置于所述承载基板上方，所述夹持组件设置有与所述定位点对应的多个用于容纳微芯片元件的网孔，所述夹持组件允许随温度变化而膨胀或收缩以改变所述网孔的大小，所述网孔基于温度的改变夹持或释放微芯片元
5、清扫机构，所述清扫机构与夹持组件连接并位于夹持组件上方，所述清扫机构用于将微芯片元件扫入网孔中；
6、温控元件，用于改变夹持组件的温度。
7、在一实施例中，所述网孔的截面为梯形。
8、在一实施例中，所述清扫机构包括移动组件及毛刷，所述移动组件与夹持组件连接，所述清扫机构通过移动组件带动毛刷在夹持组件上方移动。
9、在一实施例中，所述清扫机构还包括翻转机构，所述翻转机构包括电机、减速机，所述电机上设置有第一转轴，所述减速机与电机上的第一转轴同轴配合，所述电机通过第一转轴驱动减速机运转。
10、在一实施例中，所述翻转机构还包括第二转轴、联轴器和两个轴承座，所述第二转轴通过联轴器与减速机连接，所述第二转轴上穿过两个轴承座和毛刷，所述毛刷位于两个轴承座之间，所述电机通过减速机带动在第二转轴上的毛刷转动。
11、在一实施例中，所述巨量转移装置还设置有储料槽，所述储料槽位于夹持组件两侧，所述毛刷将多余的微芯片元件刷入储料槽。
12、在一实施例中，所述巨量转移装置还设置有ccd检测机构，所述ccd检测机构位于夹持组件上方，所述ccd检测机构用于检查微芯片元件与夹持组件对位状态。
13、在一实施例中，所述承载基板为多层线路板基板、带驱动ic的多层线路板基板、带线路玻璃基板中的一种。
14、在一实施例中，所述夹持组件采用双向记忆金属材料，所述承载基板采用热绝缘材料。
15、在一实施例中，所述微芯片元件高度与夹持组件厚度相同。
16、本技术技术方案通过采用承载基板、夹持组件、清扫机构、温控元件来实现巨量转移微芯片元件，通过温控元件可控制设定的夹持组件动作，通过夹持组件上巨量的网孔数，有效地提高巨量转移的效率和可靠性，利用夹持组件随温度变化的变形特性，可调节网孔的涨缩，实现对微芯片元件的批量夹持与释放，实现便捷地抓取微芯片元件，更有效地提高巨量转移的效率和可靠性，可实现对微芯片元件的巨量转移，生产成本低。
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1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述网孔的截面为梯形。
3.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述清扫机构包括移动组件及毛刷，所述移动组件与夹持组件连接，所述清扫机构通过移动组件带动毛刷在夹持组件上方移动。
4.如权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述清扫机构还包括翻转机构，所述翻转机构包括电机、减速机，所述电机上设置有第一转轴，所述减速机与电机上的第一转轴同轴配合，所述电机通过第一转轴驱动减速机运转。
5.如权利要求4所述的巨量转移装置，其特征在于，所述翻转机构还包括第二转轴、联轴器和两个轴承座，所述第二转轴通过联轴器与减速机连接，所述第二转轴上穿过两个轴承座和毛刷，所述毛刷位于两个轴承座之间，所述电机通过减速机带动在第二转轴上的毛刷转动。
6.如权利要求4所述的巨量转移装置，其特征在于，所述巨量转移装置还设置有储料槽，所述储料槽位于夹持组件两侧，所述毛刷将多余的微芯片元件刷入储料槽。
7.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于
8.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述承载基板为多层线路板基板、带驱动IC的多层线路板基板、带线路玻璃基板中的一种。
9.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述夹持组件采用双向记忆金属材料，所述承载基板采用热绝缘材料。
10.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述微芯片元件高度与夹持组件厚度相同。
...【技术特征摘要】
1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述网孔的截面为梯形。
3.如权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述清扫机构包括移动组件及毛刷，所述移动组件与夹持组件连接，所述清扫机构通过移动组件带动毛刷在夹持组件上方移动。
4.如权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述清扫机构还包括翻转机构，所述翻转机构包括电机、减速机，所述电机上设置有第一转轴，所述减速机与电机上的第一转轴同轴配合，所述电机通过第一转轴驱动减速机运转。
5.如权利要求4所述的巨量转移装置，其特征在于，所述翻转机构还包括第二转轴、联轴器和两个轴承座，所述第二转轴通过联轴器与减速机连接，所述第二转轴上穿过两个轴承座和毛刷，所述毛刷位于两个轴承座之间，所述电机通过减速机带动...
【专利技术属性】
技术研发人员：许文捷，欧阳琴，丁崇彬，
申请(专利权)人：深圳市艾比森光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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