【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石英砂加工，特别是涉及一种立式高纯石英砂氯化炉。
技术介绍
1、高纯石英砂是生产高纯石英玻璃管/棒和石英玻璃坩埚的主要原材料。石英玻璃为二氧化硅单一组分的玻璃，这种玻璃的硬度高，可达模式七级，具有耐高温、膨胀系数低、抗热震性、耐腐蚀性和绝缘性良好、透光率高等一些列优良的物理和化学性能。
2、高纯石英砂的原矿为天然石英矿石，石英矿石中除了石英外，通常含有多种杂质矿物。石英本身因晶体结构缺陷或微细裂隙，往往含有某些金属或非金属元素杂质以及流体杂质。通过浮选、磁选、重选、酸浸、煅烧等手段可以把大部分杂质去除，但很难做到高纯石英砂对某些元素要求小于1ppm的标准。
3、现有的石英砂高温气化提纯装置为卧式结构，不能连续生产，而且石英砂在升温过程中，因晶体结构发生相变，体积膨胀，容易导致石英管破裂。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种立式高纯石英砂氯化炉。
2、为了解决以上技术问题，本技术的技术方案如下：
3、一种立式高纯石英砂氯化炉，包括：
4、支撑架；
5、石英玻璃管，固定安装在支撑架内，且石英玻璃管的轴线沿竖直方向延伸，石英玻璃管的上端开设有进料口，石英玻璃管的下端开设有出料口，石英玻璃管内固定设置有石英导向器，石英导向器呈中空且两端开口的圆台状，且石英导向器的轴线与石英玻璃管的轴线重合，石英导向器的下底面朝向进料口；
6、氯气处理系统，包括与石英玻璃管连
7、真空抽取系统，包括与石英玻璃管连通的抽真空管；
8、加热系统，用于对石英玻璃管进行加热。
9、作为本技术立式高纯石英砂氯化炉的一种优选方案，其中：石英导向器设置有若干个，且若干个石英导向器沿石英玻璃管的轴线方向依次等距布设。
10、作为本技术立式高纯石英砂氯化炉的一种优选方案，其中：氯气输送管连接在石英玻璃管的下端，抽真空管连接在石英玻璃管的上端。
11、作为本技术立式高纯石英砂氯化炉的一种优选方案，其中：加热系统包括固定安装在支撑架内的保温箱体，保温箱体套设在石英玻璃管的外侧，保温箱体的外侧固定安装有加热元件。
12、作为本技术立式高纯石英砂氯化炉的一种优选方案，其中：加热元件设置有若干组，且若干组加热元件沿石英玻璃管的轴线方向依次等距布设，每组加热元件包括沿保温箱体周向均匀布设在同一高度的若干个加热元件。
13、作为本技术立式高纯石英砂氯化炉的一种优选方案，其中：石英玻璃管与保温箱体之间填充有保温隔热材料。
14、作为本技术立式高纯石英砂氯化炉的一种优选方案，其中：保温隔热材料为保温棉。
15、本技术的有益效果是：
16、（1）本技术中石英玻璃管采用立式结构，并在石英玻璃管内设置石英导向器，由进料口进入石英玻璃管中的石英砂颗粒会进入石英导向器中，并由石英导向器下端的开口依次流出，使进入石英玻璃管的石英砂颗粒均匀分散，保证石英砂颗粒与氯气充分接触，从而保证石英砂颗粒的去杂效果，实现连续生产。
17、（2）本技术中氯气输送管连接在石英玻璃管的下端，抽真空管连接在石英玻璃管的上端，通过抽真空管将石英玻璃管的内气体向外抽出，形成负压，可保证通过氯气输送管进入石英玻璃管底部的氯气向上流动，保证石英砂颗粒与氯气的接触时间，从而保证石英砂的除杂效果。
18、（3）本技术中若干组加热元件沿石英玻璃管的轴线方向依次等距布设，可在保温箱体上形成多个加热区域，且多个加热区域沿石英玻璃管的轴线均匀分布，使石英玻璃管内的石英砂颗粒得到充分且均匀的加热。
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1.一种立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述石英导向器(5)设置有若干个，且若干个所述石英导向器(5)沿所述石英玻璃管(2)的轴线方向依次等距布设。
3.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述氯气输送管(6)连接在所述石英玻璃管(2)的下端，所述抽真空管(7)连接在所述石英玻璃管(2)的上端。
4.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述加热系统包括固定安装在所述支撑架(1)内的保温箱体(8)，所述保温箱体(8)套设在所述石英玻璃管(2)的外侧，所述保温箱体(8)的外侧固定安装有加热元件(9)。
5.根据权利要求4所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述加热元件(9)设置有若干组，且若干组所述加热元件(9)沿所述石英玻璃管(2)的轴线方向依次等距布设，每组所述加热元件(9)包括沿所述保温箱体(8)周向均匀布设在同一高度的若干个加热元件(9)。
6.根据权利要求4所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述石英玻璃
7.根据权利要求6所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述保温隔热材料为保温棉(10)。
...【技术特征摘要】
1.一种立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述石英导向器(5)设置有若干个，且若干个所述石英导向器(5)沿所述石英玻璃管(2)的轴线方向依次等距布设。
3.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述氯气输送管(6)连接在所述石英玻璃管(2)的下端，所述抽真空管(7)连接在所述石英玻璃管(2)的上端。
4.根据权利要求1所述的立式高纯石英砂氯化炉，其特征在于：所述加热系统包括固定安装在所述支撑架(1)内的保温箱体(8)，所述保温箱体(8)套设在所述石英玻璃...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛道顺，毛志方，操乾，刘增祥，
申请(专利权)人：江苏泓顺硅基半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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