【技术实现步骤摘要】
本公开涉及基板传送装置和基板传送方法。更具体地说，本公开涉及顶部(ceiling)行进的基板传送装置。
技术介绍
1、半导体设备可以通过在基板上执行诸如蚀刻、沉积和清洁的各种制造工艺来制造。在制造半导体设备的工艺中，在基板上执行的各种制造工艺可以在不同工艺设施内执行。因此，在其上执行各种制造工艺的基板可以容纳在能够容纳多个基板的载体中，并通过诸如高架式起重运输(overhead hoist transport，oht)的基板传送装置在各个工艺设施之间传送。
技术实现思路
1、提供了能够改善制造半导体设备的工艺的生产率的基板传送装置和基板传送方法。
2、附加方面将部分地在下面的描述中陈述，并且部分地将从描述中显而易见，或者可以通过本公开的所呈现的实施方案的实践来学习。
3、根据本公开的方面，基板传送装置包括：行进轨道，该行进轨道包括直线段和曲线段；滚道结构(raceway structure)，该滚道结构设置在该行进轨道上并配置为固定该行进轨道；行进设备，该行进设备包括配置为在该行进轨道上行进以便传送基板的行进轮；第一传感器，该第一传感器连接到该滚道结构并配置为识别(recognize)该行进设备；至少一个第二传感器，该至少一个第二传感器连接到该滚道结构并配置为识别该行进设备；以及第三传感器，该第三传感器连接到该行进轨道并配置为识别该行进设备，其中，该至少一个第二传感器和该第三传感器被配置为在行进设备的行进方向上移动。
4、该至少一个第二传感器和该
5、该第一传感器可以被配置为识别行进设备进入行进轨道时的时间。
6、该至少一个第二传感器可以被配置为测量该行进轮的直径。
7、该第三传感器可以被配置为辨识该行进设备的辨识信息(标识信息，identification information)。
8、在行进方向上，该第一传感器可以相对邻近该行进设备设置，并且该至少一个第二传感器可以相对远离该行进设备设置。
9、该至少一个第二传感器可以包括两个第二传感器，并且该两个第二传感器可以相对于与滚道结构中的行进方向垂直的方向面向彼此设置。
10、该至少一个第二传感器可以是照相机或位移传感器，并且该第三传感器可以是照相机。
11、该至少一个第二传感器和该第三传感器可以被配置为同时移动。
12、该第三传感器可以设置在行进轨道的直线段中，并且该第一传感器和该至少一个第二传感器可以设置在与行进轨道的直线段对应的滚道结构中。
13、基板传送装置还可以包括控制设备，该控制设备配置为控制该第一传感器、该至少一个第二传感器和该第三传感器的操作。
14、根据本公开的另一方面，基板传送装置包括：行进轨道，该行进轨道包括直线段和曲线段；滚道结构，该滚道结构设置在行进轨道上并配置为固定该行进轨道；行进设备，该行进设备包括配置为在该行进轨道上行进以便传送基板的行进轮；第一传感器，该第一传感器连接到滚道结构并配置为识别该行进设备；至少一个第二前传感器，该至少一个第二前传感器连接到该滚道结构并配置为识别该行进设备；至少一个第二后传感器，该至少一个第二后传感器连接到该滚道结构以在该行进设备的移动方向上与该至少一个第二前传感器隔开、并且配置为识别该行进设备；以及第三传感器，该第三传感器连接到所述行进轨道并配置为识别该行进设备，其中，该至少一个第二前传感器、该至少一个第二后传感器和该第三传感器被配置为在行进方向上移动。
15、该第一传感器可以在行进方向上设置在该至少一个第二前传感器与该至少一个第二后传感器之间。
16、该至少一个第二前传感器、该至少一个第二后传感器和该第三传感器可以被配置为以与行进设备的行进速度相同的速度移动。
17、该至少一个第二前传感器和该至少一个第二后传感器可以被配置为测量该行进轮的直径。
18、该第三传感器可以被配置为辨识该行进设备的辨识信息。
19、该至少一个第二前传感器、该至少一个第二后传感器和该第三传感器可以被配置为同时移动。
20、该第三传感器可以设置在行进轨道的直线段内，并且该第一传感器、该至少一个第二前传感器和该至少一个第二后传感器可以设置在与行进轨道的直线段相对应的滚道结构中。
21、根据本公开的另一方面，基板传送方法包括：通过第一传感器识别在其中容纳基板的行进设备进入行进轨道时的时间；在识别到该行进设备进入时，在该行进设备的行进方向上移动第二传感器和第三传感器；以及在该第二传感器移动的情况下，通过该第二传感器测量该行进设备的行进轮的直径，并且在该第三传感器移动的情况下，由该第三传感器辨识关于行进设备的辨识信息。
22、该第二传感器和该第三传感器可以以与该行进设备的行进速度相同的速度移动。
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1.一种基板传送装置，所述基板传送装置包括：
2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器和所述第三传感器被配置为以与所述行进设备的行进速度相同的速度移动。
3.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述第一传感器被配置为识别所述行进设备进入所述行进轨道时的时间。
4.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器被配置为测量所述行进轮的直径。
5.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述第三传感器被配置为辨识关于所述行进设备的辨识信息。
6.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，在所述行进方向上，所述第一传感器相对邻近所述行进设备设置，并且所述至少一个第二传感器相对远离所述行进设备设置。
7.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器包括两个第二传感器，并且所述两个第二传感器相对于与所述滚道结构中的行进方向垂直的方向面向彼此设置。
8.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器是照相机或位移传感器，并且所述第三
9.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器和所述第三传感器被配置为同时移动。
10.根据权利要求1所述的基板处理方法，其中，
11.根据权利要求1所述的基板传送装置，所述基板传送装置还包括：控制设备，所述控制设备配置为控制所述第一传感器、所述至少一个第二传感器和所述第三传感器的操作。
12.一种基板传送装置，所述基板传送装置包括：
13.根据权利要求12所述的基板传送装置，其中，所述第一传感器在行进方向上设置在所述至少一个第二前传感器与所述至少一个第二后传感器之间。
14.根据权利要求12所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二前传感器、所述至少一个第二后传感器和所述第三传感器被配置为以与所述行进设备的行进速度相同的速度移动。
15.根据权利要求12所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二前传感器和所述至少一个第二后传感器被配置为测量所述行进轮的直径。
16.根据权利要求12所述的基板传送装置，其中，所述第三传感器被配置为辨识关于所述行进设备的辨识信息。
17.根据权利要求12所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二前传感器、所述至少一个第二后传感器和所述第三传感器被配置为同时移动。
18.根据权利要求12所述的基板传送装置，其中，所述第三传感器设置在所述行进轨道的所述直线段中，并且所述第一传感器、所述至少一个第二前传感器和所述至少一个第二后传感器设置在与所述行进轨道的所述直线段相对应的所述滚道结构中。
19.一种基板传送方法，所述基板传送方法包括：
20.根据权利要求19所述的基板传送方法，其中，所述第二传感器和所述第三传感器以与所述行进设备的行进速度相同的速度移动。
...【技术特征摘要】
1.一种基板传送装置，所述基板传送装置包括：
2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器和所述第三传感器被配置为以与所述行进设备的行进速度相同的速度移动。
3.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述第一传感器被配置为识别所述行进设备进入所述行进轨道时的时间。
4.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器被配置为测量所述行进轮的直径。
5.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述第三传感器被配置为辨识关于所述行进设备的辨识信息。
6.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，在所述行进方向上，所述第一传感器相对邻近所述行进设备设置，并且所述至少一个第二传感器相对远离所述行进设备设置。
7.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器包括两个第二传感器，并且所述两个第二传感器相对于与所述滚道结构中的行进方向垂直的方向面向彼此设置。
8.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器是照相机或位移传感器，并且所述第三传感器是照相机。
9.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述至少一个第二传感器和所述第三传感器被配置为同时移动。
10.根据权利要求1所述的基板处理方法，其中，
11.根据权利要求1所述的基板传送装置，所述基板传送装置还包括：控制设备，所述控制设备配置为...
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