本发明专利技术公开了一种预对准机的传感器信号转换装置。该装置包括：信号输出模块、信号转换模块及解析模块；所述信号输出模块，用于输出预对准机的传感器信号至所述信号转换模块；所述信号转换模块，用于将所述传感器信号转换为传感器转换信号，并输出至所述解析模块；所述解析模块，用于解析所述传感器转换信号。本方案实现了传感器的信号高速转换，以提高现场解析模块的适配度，保证现场解析模块的稳定运行。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例涉及预对准机的预对准技术，尤其涉及一种预对准机的传感器信号转换装置。
技术介绍
1、晶圆是具有单晶结构的晶圆片，不同的晶圆晶体方向具有不同的化学、电学和物理特性，晶圆具有缺口或切边作为晶体方向的可见参考，半导体解析模块通过识别晶圆的缺口或切边，将晶圆以特定角度传输到精密移动平台进行加工和测量。随着半导体工艺的发展，设备在对晶圆进行加工和测量前，普遍采用晶圆预对准机对晶圆进行预对准，以实现高速自动化生产和测量，预对准机的性能直接影响半导体设备的传输精度和生产效率。
2、目前预对准机普遍采用传感器进行晶圆边缘检测，通过旋转晶圆，检测晶圆对传感器的遮挡信号变化，计算晶圆的圆心坐标和缺口方向。目前国内外测量晶圆的圆心坐标和缺口方向的传感器生产厂商，其内部原理呈现多样化状态，不同类型的传感器适用场景存在一定的差异，即不同的传感器检测的信号类型不同；由于现场半导体解析模块固定，这样现场解析半导体模块无法对不同类型的传感器进行晶圆边缘检测，如此无法保证现场半导体解析模块的稳定运行；因此有必要研究预对准机的传感器信号更换方案，以能够保证现场半导体解析模块的稳定运行。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种预对准机的传感器信号转换装置，实现传感器的信号高速转换，以提高现场半导体解析模块的适配度，保证半导体解析模块的稳定运行。
2、为达到以上目的，本专利技术实施例提供了一种预对准机的传感器信号转换装置，该装置包括：信号输出模块、信号转换模块及解析模块；
>3、所述信号输出模块，用于输出传感器信号至所述信号转换模块；4、所述信号转换模块，用于将所述传感器信号转换为传感器转换信号，并输出至所述解析模块；
5、所述解析模块，用于解析所述传感器转换信号。
6、可选的，所述信号输出模块包括第一类信号输出模块；所述信号转换模块包括第一转换模块；所述解析模块包括第一解析模块：
7、所述第一转换模块，用于将所述第一类信号输出模块输出的电压信号转化为像素感光信号输出至所述第一解析模块以使所述第一解析模块根据所述像素感光信号进行解析处理；
8、或者，所述信号输出模块包括第二类信号输出模块；所述信号转换模块包括第二转换模块；所述解析模块包括第二解析模块；
9、所述第二转换模块，用于将所述第二类信号输出模块输出的像素感光信号转化为电压信号输出至所述第二解析模块以使所述第二解析模块根据所述电压信号进行解析处理。
10、可选的，所述第一类信号输出模块包括模拟电压信号输出单元；第一转换模块包括：时钟产生单元、第一逻辑控制单元、第一移位计数单元、第一da转换单元及第一比较单元；
11、所述时钟产生单元，用于产生像素感光信号保存时钟及像素感光信号移位时钟；
12、所述第一逻辑控制单元，用于读取并根据所述像素感光信号像素感光信号保存时钟及所述像素感光信号像素感光信号移位时钟生成计数时钟及清零时钟；其中，所述计数时钟与所述像素感光信号移位时钟同步；所述清零时钟与所述像素感光信号保存时钟同步；
13、所述第一移位计数单元，用于根据所述计数时钟进行计数累加，并输出累加计数至所述第一da转换单元；还用于根据所述清零时钟进行计数清零；
14、所述第一da转换单元，用于将所述累加计数转换为锯齿模拟电压信号；
15、所述第一比较单元，用于根据所述锯齿模拟电压信号及所述模拟电压信号输出单元输出的模拟电压信号输出像素感光信号以使所述第一解析模块对所述像素感光信号进行解析；其中，所述锯齿模拟电压信号与所述像素感光信号保存时钟的周期相同；所述像素感光信号与所述像素感光信号移位时钟同步。
16、可选的，所述第一类信号输出模块还包括数字电压信号输出单元；
17、所述第一转换模块还包括：第二da转换单元；
18、所述第二da转换单元，用于将所述数字电压信号输出单元输出的数字电压信号转换为模拟电压信号；还用于将所述模拟电压信号输出至第一比较单元；
19、所述第一比较单元，还用根据所述锯齿模拟电压信号及所述第二da转换单元输出的所述模拟电压信号输出像素感光信号。
20、可选的，所述第二转换模块包括：第二逻辑控制单元、阈值设置单元、第二比较单元、第二移位计数单元及触发器；
21、所述第二类信号输出模块包括：像素感光信号输出单元；
22、所述第二逻辑控制单元，用于产生像素感光信号保存时钟及像素感光信号移位时钟，并根据所述像素感光信号保存时钟及所述像素感光信号移位时钟控制所述像素感光信号输出单元产生像素感光信号；
23、所述阈值设置单元，用于产生电压阈值；
24、所述第二比较单元，用于根据所述像素感光信号及所述电压阈值输出二值化信号，并输出所述二值化信号至所述第二逻辑控制单元；
25、所述第二逻辑控制单元，还用于当检测到所述二值化信号时，根据所述像素感光信号移位时钟及所述二值化信号生成计数停止时钟；
26、所述第二移位计数单元，用于根据所述像素感光信号移位时钟进行计数累加，当检测到所述计数停止时钟停止计数，并输出计数累加；
27、所述第二逻辑控制单元，还用于根据所述像素感光信号保存时钟生成数据输出触发时钟；其中，所述像素感光信号保存时钟的上升沿与所述数据输出触发时钟的上升沿同步；
28、还用于根据所述像素感光信号保存时钟及所述数据输出触发时钟生成清除时钟；其中，所述清除时钟的上升沿与所述数据输出触发时钟的下降沿同步；所述清除时钟的下降沿与所述像素感光信号保存时钟的下降沿同步；
29、所述触发器，用于在接收所述数据输出触发时钟时，将所述计数累加作为数字电压信号输出至所述第二解析模块以使所述第二解析模块对所述数字电压信号进行解析；
30、所述第二移位计数单元，还用于根据所述清除时钟将所述计数累加清零。
31、可选的，所述第二转换模块还包括：第三da转换单元；
32、所述第三da转换单元，用于将所述数字电压信号转化为模拟电压信号以使所述第二解析模块对所述模拟电压信号进行解析。
33、本专利技术实施例，通过所述信号输出模块输出传感器信号至所述信号转换模块；所述信号转换模块将所述传感器信号转换为传感器转换信号，并输出至所述解析模块；所述解析模块则解析所述传感器转换信号，如此本方案实现了传感器信号的高速转换，以提高现场解析模块的适配度，保证现场解析模块的稳定运行。
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【技术保护点】
1.一种预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，包括：信号输出模块、信号转换模块及解析模块；
2.根据权利要求1所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述信号输出模块包括第一类信号输出模块；所述信号转换模块包括第一转换模块；所述解析模块包括第一解析模块：
3.根据权利要求2所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述第一类信号输出模块包括模拟电压信号输出单元；第一转换模块包括：时钟产生单元、第一逻辑控制单元、第一移位计数单元、第一DA转换单元及第一比较单元；
4.根据权利要求3所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述第一类信号输出模块还包括数字电压信号输出单元；
5.根据权利要求2所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述第二转换模块包括：第二逻辑控制单元、阈值设置单元、第二比较单元、第二移位计数单元及触发器；
6.根据权利要求5所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述第二转换模块还包括：第三DA转换单元；
【技术特征摘要】
1.一种预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，包括：信号输出模块、信号转换模块及解析模块；
2.根据权利要求1所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述信号输出模块包括第一类信号输出模块；所述信号转换模块包括第一转换模块；所述解析模块包括第一解析模块：
3.根据权利要求2所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述第一类信号输出模块包括模拟电压信号输出单元；第一转换模块包括：时钟产生单元、第一逻辑控制单元、第一移位计...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿晓杨，相宇阳，戴金方，陈学文，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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