【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体搬运，尤其涉及一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法及装置。
技术介绍
1、oht（overhead hoist transport，空中运输车）轨道是一种特殊的轨道系统，主要用于fab厂自动化制造车间内的物品运输。这种轨道系统可以安装在车间天花板上，为空中运输车提供了支撑和行进方向引导。通过这种系统，空中运输车可以在轨道上移动，从而在不同位置之间快速、稳定地输送物品，例如装载晶圆片的晶圆盒。与传统的地面输送系统相比，oht轨道不仅能够节省空间，而且可以提高物品运输的效率和稳定性。
2、现有技术中，在对天车规划执行任务的路径时，只会针对单个天车来进行路径规划，一般根据时间最短来选择合适的路径。但是在同一时段内存在多个任务需要多个天车执行时，多个天车可能会对轨道段造成实时拥堵，互相影响运输效率。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法及装置，用以解决现有技术中没有考虑到实时多个搬运天车互相干扰的缺陷，实现降低目标时段内多个搬运任务在执行时的轨道段的繁忙程度的效果。
2、本专利技术提供一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，包括：
3、将目标时段内需要执行的搬运任务组成任务池；
4、基于路径规划算法以及所述任务池内各搬运任务的起点位置和终点位置，得到各天车按时完成各搬运任务所对应的多个第一路径以及各第一路径对应的预估运行时间；
5、确定各第一路径对应的轨道段的历史繁忙指数，并
6、基于各搬运任务对应的各第二路径，确定所述目标时段内各搬运任务的搬运路径的路径集合，并确定在所述目标时段内按照各路径集合运行下的轨道段的实时繁忙指数；所述实时繁忙指数用于表示所述第二路径对应的各轨道段在所述目标时段内的预测繁忙程度；
7、基于所述实时繁忙指数，确定所述任务池中各搬运任务的实际运行路径。
8、根据本专利技术提供的一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，所述路径规划算法为a星算法，所述基于路径规划算法以及所述任务池内各搬运任务的起点位置和终点位置，得到各天车完成各搬运任务所对应的多个第一路径，包括：
9、将所述任务池内各搬运任务的起点位置和终点位置作为所述路径规划算法的输入；
10、将每个轨道段作为节点，确定执行每个搬运任务的天车从当前节点到所述起点位置的实际代价和启发函数估计的从当前节点到所述终点位置的预估代价，得到当前总代价；所述实际代价用于表示从当前节点到所述起点位置的天车运行时间，所述预估代价用于表示从当前节点到所述终点位置的天车运行时间；
11、根据当前总代价选择下一个要扩展的节点，并继续搜索直到找到目标节点或者无法继续搜索；
12、在找到目标节点的情况下，得到并通过所述路径规划算法输出各第一路径以及各第一路径对应的预估运行时间。
13、根据本专利技术提供的一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，所述历史繁忙指数是基于所述第一路径对应的各轨道段在历史时段内通行的天车数量、历史运行速度、历史搬运任务的优先级以及各轨道段上天车的延误时间确定的。
14、根据本专利技术提供的一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，所述实时繁忙指数是基于所述第二路径对应的各轨道段在所述目标时段内预测的天车数量、最大允许速度即搬运任务的优先级确定的。
15、根据本专利技术提供的一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，所述基于所述实时繁忙指数，确定所述任务池中各搬运任务的实际运行路径，包括：
16、将所述实时繁忙指数最小的路径集合中的各第二路径作为所述目标时段内所述任务池内的各搬运任务的实际运行路径。
17、根据本专利技术提供的一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，在所述将所述实时繁忙指数最小的路径集合中的各第二路径作为所述目标时段内所述任务池内的各搬运任务的实际运行路径之后，所述方法还包括：
18、确定所述任务池内各搬运任务的优先级；不同优先级的搬运任务对应不同的搬运时间达成率，所述搬运时间达成率用于表示预估运行时间与任务要求时间的比值；
19、在所述搬运任务按照对应的实际运行路径的实际运行时间的搬运时间达成率不满足预设条件的情况下，从所述第二路径中筛选避让天车，以使得所述避让天车在所述目标时段内运行至除所述第二路径对应的轨道段之外的轨道段。
20、根据本专利技术提供的一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，所述基于所述历史繁忙指数从各第一路径中筛选得到多个第二路径，包括：
21、基于各第一路径对应的轨道段的历史繁忙指数和各第一路径对应的预估运行时间，从各第一路径中筛选得到多个第二路径。
22、本专利技术还提供一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择装置，包括：
23、第一处理模块，用于将目标时段内需要执行的搬运任务组成任务池；
24、第二处理模块，用于基于路径规划算法以及所述任务池内各搬运任务的起点位置和终点位置，得到各天车按时完成各搬运任务所对应的多个第一路径以及各第一路径对应的预估运行时间；
25、第三处理模块，用于确定各第一路径对应的轨道段的历史繁忙指数，并基于所述历史繁忙指数从各第一路径中筛选得到多个第二路径；所述历史繁忙指数用于表示所述第一路径对应的各轨道段在历史时段内的繁忙程度；
26、第四处理模块，用于基于各搬运任务对应的各第二路径，确定所述目标时段内各搬运任务的搬运路径的路径集合，并确定在所述目标时段内按照各路径集合运行下的轨道段的实时繁忙指数；所述实时繁忙指数用于表示所述第二路径对应的各轨道段在所述目标时段内的预测繁忙程度；
27、第五处理模块，用于基于所述实时繁忙指数，确定所述任务池中各搬运任务的实际运行路径。
28、本专利技术还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法。
29、本专利技术还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法。
30、本专利技术还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法。
31、本专利技术提供的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法及装置，通过基于路径规划算法和历史繁忙指数进行路径选择，可以筛选得到满足任务时限要求的第一路径和第二路径，考虑到多个搬运任务按照不同组合方式的第二路径执行搬运任务时的实时繁忙指数，进而可以选择更加空闲和顺畅的轨道段，优化了搬运任务的路径规划，可以有效降低目标时段内多个搬运任务在执行时的轨道段的繁忙程本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述路径规划算法为A星算法，所述基于路径规划算法以及所述任务池内各搬运任务的起点位置和终点位置，得到各天车完成各搬运任务所对应的多个第一路径，包括：
3.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述历史繁忙指数是基于所述第一路径对应的各轨道段在历史时段内通行的天车数量、历史运行速度、历史搬运任务的优先级以及各轨道段上天车的延误时间确定的。
4.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述实时繁忙指数是基于所述第二路径对应的各轨道段在所述目标时段内预测的天车数量、最大允许速度以及搬运任务的优先级确定的。
5.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述基于所述实时繁忙指数，确定所述任务池中各搬运任务的实际运行路径，包括：
6.根据权利要求4所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，在所述将所述实
7.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述基于所述历史繁忙指数从各第一路径中筛选得到多个第二路径，包括：
8.一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择装置，其特征在于，包括：
9.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并能在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至7任一项所述基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法。
10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法。
...【技术特征摘要】
1.一种基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述路径规划算法为a星算法，所述基于路径规划算法以及所述任务池内各搬运任务的起点位置和终点位置，得到各天车完成各搬运任务所对应的多个第一路径，包括：
3.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述历史繁忙指数是基于所述第一路径对应的各轨道段在历史时段内通行的天车数量、历史运行速度、历史搬运任务的优先级以及各轨道段上天车的延误时间确定的。
4.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述实时繁忙指数是基于所述第二路径对应的各轨道段在所述目标时段内预测的天车数量、最大允许速度以及搬运任务的优先级确定的。
5.根据权利要求1所述的基于降低轨道繁忙程度的路径选择方法，其特征在于，所述基于所述实时繁忙指数，确定所述任务池中...
【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞骥，余君山，
申请(专利权)人：华芯智上半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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