【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种机械臂末端手爪、末端工装及搬运机器人。
技术介绍
1、随着科技的迅速发展，半导体芯片已成为现代电子产品的核心部件之一。在半导体制造工厂中，晶圆作为制造芯片和集成电路的基础，通常需要在各个生产线的不同工艺模块之间进行高效、精密地传输搬运。现有技术中通常采用agv和机器人的组合形式来实现晶圆的传输搬运。然而，由于agv和机器人的组合形式对接的机台复杂多样，因此亟需研发一种能够灵活适应各种机台的机械臂末端手爪和末端工装。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种机械臂末端手爪、末端工装及搬运机器人，用以解决现有技术中机械臂末端工装无法适应各种对接机台的缺陷，实现对各种各样机台的不同姿态定位方式的灵活适用。
2、本专利技术提供一种机械臂末端手爪，其安装在机械臂的末端，其包括旋转机构、执行机构和手爪本体，所述旋转机构和执行机构设置在所述手爪本体的同一端面上，所述执行机构设置在手爪本体的末端，所述旋转机构与执行机构连接，用于驱动所述执行机构旋转；所述执行机构用于夹取工件；所述手爪本体的末端的相对端与机械臂连接。
3、根据本专利技术提供的机械臂末端手爪，所述旋转机构包括旋转电机、第一齿轮和第二齿轮，所述旋转电机的输出轴与所述第一齿轮连接，所述第一齿轮与第二齿轮连接，所述第二齿轮与执行机构连接；所述旋转电机通过所述第一齿轮和第二齿轮带动所述执行机构旋转。
4、进一步地，所述第一齿轮和第二齿轮通过同步带连接。
5、进一步地
6、根据本专利技术提供的机械臂末端手爪，所述执行机构包括电爪、左手组件和右手组件；所述电爪的第一滑块与所述左手组件连接，所述电爪的第二滑块与所述右手组件连接；所述第一滑块和第二滑块平行设置，所述第一滑块和第二滑块能够相向运动或逆向运动。
7、进一步地，所述左手组件包括左连接杆、左连接块和左手指，其中，所述左连接杆的一端与所述电爪的第一滑块连接，其另一端通过所述左连接块与所述左手指连接；所述右手组件包括右连接杆、右连接块和右手指，其中，所述右连接杆的一端与所述电爪的第二滑块连接，其另一端通过所述右连接块与所述右手指连接。
8、更进一步地，所述左手指包括底座以及设置在所述底座上的第一侧板、第二侧板、第三侧板和第四侧板；其中，所述第一侧板、第二侧板、第三侧板和第四侧板平行设置，且均向远离所述底座的方向延伸；
9、沿所述第一侧板的长度方向，在所述第一侧板和第二侧板之间开设有第一通槽，在所述第二侧板和第三侧板之间开设有第二通槽，在所述第三侧板和第四侧板之间开设有第三通槽；
10、沿远离所述底座的方向，所述第一通槽与第二通槽之间设置有高度差，所述第二通槽与第三通槽之间设置有高度差，使得所述第一通槽、第二通槽和第三通槽之间形成阶梯结构。
11、本专利技术还提供一种机械臂末端工装，其包括上述任一项所述的机械臂末端手爪、视觉装置和工件检测装置，其中，所述机械臂末端手爪连接所述执行机构一端的相对端通过安装板与机械臂连接；所述视觉装置设置在所述安装板上，所述工件检测装置靠近所述机械臂末端手爪连接所述执行机构一端的相对端且设置在所述机械臂末端手爪的侧板上。
12、本专利技术还提供一种搬运机器人，其包括上述机械臂末端工装、机械臂、自动导引车和储物仓；所述机械臂末端工装固定连接在所述机械臂的末端，所述机械臂固定设置在所述自动导引车上，所述自动导引车上设置有所述储物仓，所述储物仓用于储存待搬运的工件；所述机械臂与机械臂末端工装配合将所述工件放入储物仓中，或者从所述储物仓中取出。
13、根据本专利技术提供的搬运机器人，所述储物仓的顶部设置有空气过滤器，所述空气过滤器的出风口与所述储物仓的内部空间连通，所述空气过滤器用于将过滤后的洁净空气通入所述储物仓中，以使污染空气从所述储物仓中吹出。
14、本专利技术提供的一种机械臂末端手爪，通过设置旋转机构和执行机构，旋转机构驱动执行机构进行旋转，执行机构能够灵活地夹取工件，满足各种复杂工况中在机台上取放料的需求，并且能够显著地提升工作效率与运行频次，降低综合成本。本专利技术提供的一种机械臂末端工装中通过在机械臂末端设置机械臂末端手爪，能够灵活地夹取工件，提升工作效率，降低综合成本。本专利技术提供的一种搬运机器人中通过设置机械臂末端工装、机械臂、自动导引车和储物仓，将机械臂末端工装与机械臂连接，能够方便地转运工件，提升工作效率，降低综合成本。
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1.一种机械臂末端手爪，其特征在于，安装在机械臂的末端，其包括旋转机构、执行机构和手爪本体，所述旋转机构和执行机构设置在所述手爪本体的同一端面上，所述执行机构设置在手爪本体的末端，所述旋转机构与执行机构连接，用于驱动所述执行机构旋转；所述执行机构用于夹取工件；所述手爪本体的末端的相对端与机械臂连接。
2.根据权利要求1所述的机械臂末端手爪，其特征在于，所述旋转机构包括旋转电机、第一齿轮和第二齿轮，所述旋转电机的输出轴与所述第一齿轮连接，所述第一齿轮与第二齿轮连接，所述第二齿轮与执行机构连接；所述旋转电机通过所述第一齿轮和第二齿轮带动所述执行机构旋转。
3.根据权利要求2所述的机械臂末端手爪，其特征在于，所述第一齿轮和第二齿轮通过同步带连接。
4.根据权利要求2所述的机械臂末端手爪，其特征在于，所述第一齿轮和第二齿轮之间设置有一个以上从动轮；当所述从动轮设置一个时，所述第一齿轮与从动轮啮合，所述从动轮与第二齿轮啮合；当所述从动轮设置两个以上时，所述第一齿轮与从动轮啮合，各所述从动轮依次啮合，靠近所述第二齿轮的所述从动轮与所述第二齿轮啮合。
...【技术特征摘要】
1.一种机械臂末端手爪，其特征在于，安装在机械臂的末端，其包括旋转机构、执行机构和手爪本体，所述旋转机构和执行机构设置在所述手爪本体的同一端面上，所述执行机构设置在手爪本体的末端，所述旋转机构与执行机构连接，用于驱动所述执行机构旋转；所述执行机构用于夹取工件；所述手爪本体的末端的相对端与机械臂连接。
2.根据权利要求1所述的机械臂末端手爪，其特征在于，所述旋转机构包括旋转电机、第一齿轮和第二齿轮，所述旋转电机的输出轴与所述第一齿轮连接，所述第一齿轮与第二齿轮连接，所述第二齿轮与执行机构连接；所述旋转电机通过所述第一齿轮和第二齿轮带动所述执行机构旋转。
3.根据权利要求2所述的机械臂末端手爪，其特征在于，所述第一齿轮和第二齿轮通过同步带连接。
4.根据权利要求2所述的机械臂末端手爪，其特征在于，所述第一齿轮和第二齿轮之间设置有一个以上从动轮；当所述从动轮设置一个时，所述第一齿轮与从动轮啮合，所述从动轮与第二齿轮啮合；当所述从动轮设置两个以上时，所述第一齿轮与从动轮啮合，各所述从动轮依次啮合，靠近所述第二齿轮的所述从动轮与所述第二齿轮啮合。
5.根据权利要求1或2所述的机械臂末端手爪，其特征在于，所述执行机构包括电爪、左手组件和右手组件；所述电爪的第一滑块与所述左手组件连接，所述电爪的第二滑块与所述右手组件连接；所述第一滑块和第二滑块平行设置，所述第一滑块和第二滑块能够相向运动或逆向运动。
6.根据权利要求5所述的机械臂末端手爪，其特征在于，所述左手组件包括左连接杆、左连接块和左手指，其中...
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