【技术实现步骤摘要】
本专利技术有关于一种擦拭方法及设备，尤指一种用于对工件的边缘进行擦拭的工件擦拭方法及设备。
技术介绍
1、由于现今晶圆工艺已发展至3d的工艺，使用立体堆叠技术来制造晶片已成为业界的趋势，在立体堆叠技术中，常有将两片晶圆接合在一起并在两片晶圆之间的缝隙填入胶材以形成一工件的需求，所述填入胶材的相关技术可如专利号第i500456号「水平点胶的方法」所示，其以一喷射点胶头沿水平方向朝两片晶圆之间的缝隙喷射多个胶滴；在该工件形成后，因为残余的胶材容易由该缝隙溢出，为了清洁溢出的胶材，遂有对该工件进行清洁的需求产生。
2、公开号第202128293号「清洗装置」公开了一种可对例如晶圆的工件进行清洁的方法，其以一基座承载并转动一工件，并在一第一喷淋机构向该工件的上表面喷淋清洗液体时，以一柔性清洗件与该工件的边缘部分柔性接触对该工件的边缘部分进行清洗；但公开号第202128293号「清洗装置」的清洗液体是直接喷淋至该工件的上表面，并不适用于上表面已形成有积体电路的工件；在工件转动的过程中，清洗液体也容易飞溅甩出造成其它污染；且柔性清洗件在使用一段时间后不仅容易变形，也容易附着污染物，除非频繁的更换柔性清洗件，不然也会降低清洁效果。
技术实现思路
1、因此，本专利技术的目的在于提供一种可解决现有技术至少一缺点的工件擦拭方法。
2、本专利技术的另一目的在于提供一种可用以执行如所述工件擦拭方法的工件擦拭设备。
3、本专利技术的又一目的在于提供一种可解决先前技术至少一
4、依据本专利技术目的的工件擦拭方法，包括：使具有一圆周所形成的一第一表面的工件在一承载台上以水平摆置方式作旋转；使一擦拭带被一供带机构以水平方向被输送通过该第一表面外侧，通过时该擦拭带形成宽度的两侧呈上下设置，该擦拭带的一擦拭面朝向该第一表面，该擦拭带的一受力面背向该第一表面；使该擦拭带被移靠接触该工件的该第一表面，并使一折带机构提供分别自该受力面朝该擦拭面施加至该擦拭带宽度两侧的力，而使该擦拭带宽度两侧被推抵移靠擦拭该第一表面以外的该工件上侧的一第二表面及下侧的一第三表面。
5、依据本专利技术另一目的的工件擦拭设备，可用以执行如所述工件擦拭方法。
6、依据本专利技术又一目的的工件擦拭设备，其在同一机台的台面上设有：一承载装置，设有一承载台可保持一工件并驱动该工件旋转；一擦拭装置，设于该承载装置的一侧；该擦拭装置设有提供一擦拭带接触该工件的一第一表面的一供带机构，与可弯折该擦拭带宽度方向的两侧以令该擦拭带可接触该工件相互平行并垂直该第一表面的一第二表面与一第三表面的一折带机构。
7、本专利技术实施例工件擦拭方法及设备，该供带机构可使该擦拭带接触该工件的该第一表面，该折带机构可使该擦拭带接触该工件的该第二表面与该第三表面，配合该工件的旋转可有效地对该工件的边缘进行清洁。
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1.一种工件擦拭方法，包括：
2.如权利要求1所述的工件擦拭方法，其中，该第一表面连结于该第二表面与该第三表面之间且与该第二表面及该第三表面垂直，该第二表面与该第三表面为相隔间距并相互平行的平面；该工件受该擦拭带擦拭时，该工件以垂直该第二表面与该第三表面的一旋转轴线为旋转中心进行旋转，使该工件持续改变与该擦拭带接触的部位。
3.如权利要求2所述的工件擦拭方法，其中，该工件受该擦拭带擦拭时，该擦拭带在位于垂直该旋转轴线的一水平面上以一输送流路进行输送使该擦拭带持续改变与该工件接触的部位。
4.如权利要求3所述的工件擦拭方法，其中，该擦拭带在该供带机构的一拭材组件上以该输送流路进行输送；该擦拭带被移靠接触该工件的该第一表面是该拭材组件受一供带移载组件驱动朝该工件位移。
5.如权利要求1所述的工件擦拭方法，其中，该折带机构的一上夹块与一下夹块提供分别自该受力面朝该擦拭面施加至该擦拭带宽度两侧的力。
6.如权利要求5所述的工件擦拭方法，其中，该上夹块与该下夹块分别接触该受力面对其施力是使相隔间距的该上夹块与该下夹块以朝该工件靠近
7.一种工件擦拭设备，可用以执行如权利要求1至6中任一权利要求所述的工件擦拭方法。
8.一种工件擦拭设备，其在同一机台的台面上设有：
9.如权利要求8所述的工件擦拭设备，其中，该折带机构设有可分别对该擦拭带宽度方向的两侧施力的一上夹块与一下夹块。
10.如权利要求8所述的工件擦拭设备，其中，在同一机台的台面上设有一检查装置于该承载装置相对该擦拭装置的另一侧并在该工件旋转方向上位于该擦拭装置的下游；该检查装置设有可对该第一表面作检查的一第一检查机构、可对该第二表面作检查的一第二检查机构及可对该第三表面作检查的一第三检查机构。
11.如权利要求8所述的工件擦拭设备，其中，该供带机构设有一拭材组件与一供带移载组件；该擦拭带设在该拭材组件上，该供带移载组件可驱动该拭材组件作水平位移；该供带机构设有一荷重量测元件于该拭材组件与该供带移载组件之间。
...【技术特征摘要】
1.一种工件擦拭方法，包括：
2.如权利要求1所述的工件擦拭方法，其中，该第一表面连结于该第二表面与该第三表面之间且与该第二表面及该第三表面垂直，该第二表面与该第三表面为相隔间距并相互平行的平面；该工件受该擦拭带擦拭时，该工件以垂直该第二表面与该第三表面的一旋转轴线为旋转中心进行旋转，使该工件持续改变与该擦拭带接触的部位。
3.如权利要求2所述的工件擦拭方法，其中，该工件受该擦拭带擦拭时，该擦拭带在位于垂直该旋转轴线的一水平面上以一输送流路进行输送使该擦拭带持续改变与该工件接触的部位。
4.如权利要求3所述的工件擦拭方法，其中，该擦拭带在该供带机构的一拭材组件上以该输送流路进行输送；该擦拭带被移靠接触该工件的该第一表面是该拭材组件受一供带移载组件驱动朝该工件位移。
5.如权利要求1所述的工件擦拭方法，其中，该折带机构的一上夹块与一下夹块提供分别自该受力面朝该擦拭面施加至该擦拭带宽度两侧的力。
6.如权利要求5所述的工件擦拭方法，其中，该上夹块与该下夹块分别接触该受力面对其施力是使相隔间距的该上夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛全萌，李宗修，
申请(专利权)人：万润科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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