【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微镜检测，尤其涉及一种具有电容检测结构的压电微镜。
技术介绍
1、微镜是一类可以有效实现光路调控的微纳芯片，广泛应用于投影、成像、激光导航等领域。传统的微镜有压电式微镜或静电式微镜，压电式微镜是压电驱动压电检测，静电式微镜是静电驱动电容检测，都属于自驱动自检测，驱动和检测结构是共用的，这意味着驱动微镜转动时，无法检测微镜的偏转角度，检测微镜偏转角度时，无法持续对微镜进行激励。这会对微镜的性能产生较大影响，即由驱动微镜切换至检测微镜时，微镜偏转角度减小，或由检测微镜切换至驱动微镜时，检测灵敏度降低。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种具有电容检测结构的压电微镜，该压电微镜采用压电驱动结构进行驱动微镜偏转，电容检测结构进行检测微镜偏转角度，提高微镜的性能。
2、为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：
3、本技术提供一种具有电容检测结构的压电微镜，所述微镜包括：
4、外围固定结构；
5、反射镜结构，设置于所述外围固定结构的内部，且所述反射镜结构由悬臂梁与所述外围固定结构连接；
6、压电驱动结构，设置于所述反射镜结构上，用于驱动所述反射镜结构偏转；以及
7、电容检测结构，设置于所述反射镜结构和所述外围固定结构上，且所述电容检测结构位于所述反射镜结构的外侧以及所述外围固定结构的内侧。
8、在本技术的一个实施例中，所述电容检测结构包括：<...
【技术保护点】
1.一种具有电容检测结构的压电微镜，其特征在于,所述微镜包括：
2.根据权利要求1所述的压电微镜，其特征在于，所述电容检测结构包括：
3.根据权利要求2所述的压电微镜，其特征在于，所述可动梳齿组的末端与所述外围固定结构之间形成有第一间隙。
4.根据权利要求2所述的压电微镜，其特征在于，所述固定梳齿组的末端与所述反射镜结构之间形成有第二间隙。
5.根据权利要求4所述的压电微镜，其特征在于，所述可动梳齿组由多个设置于所述反射镜结构上的可动梳齿构成，所述固定梳齿组由多个设置于所述外围固定结构上的固定梳齿构成。
6.根据权利要求5所述的压电微镜，其特征在于，相邻的所述可动梳齿和所述固定梳齿之间形成有第三间隙。
7.根据权利要求1所述的压电微镜，其特征在于，所述微镜还包括基板，所述基板位于所述外围固定结构的一侧。
8.根据权利要求7所述的压电微镜，其特征在于，所述基板上设置有键合层，所述键合层位于所述基板和所述外围固定结构之间，用于键合所述基板和所述外围固定结构。
9.根据权利要求1所述的压电微
...【技术特征摘要】
1.一种具有电容检测结构的压电微镜，其特征在于,所述微镜包括：
2.根据权利要求1所述的压电微镜，其特征在于，所述电容检测结构包括：
3.根据权利要求2所述的压电微镜，其特征在于，所述可动梳齿组的末端与所述外围固定结构之间形成有第一间隙。
4.根据权利要求2所述的压电微镜，其特征在于，所述固定梳齿组的末端与所述反射镜结构之间形成有第二间隙。
5.根据权利要求4所述的压电微镜，其特征在于，所述可动梳齿组由多个设置于所述反射镜结构上的可动梳齿构成，所述固定梳齿组由多个设置于所述外围固定结构上的固定梳齿构成。
...【专利技术属性】
技术研发人员：刘美琪，徐涛，
申请(专利权)人：合肥领航微系统集成有限公司，
类型：新型
国别省市：
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