【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于单晶硅棒加工，具体的说是一种单晶硅棒研磨机。
技术介绍
1、硅单晶作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性，自上世纪六十年代被人们所发现和利用后，就迅速替代锗单晶成为半导体的主要材料；因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数是由硅材料制成的。
2、目前直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工；中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等；后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序后才能制造成半导体器件或用于光伏发电的太阳能电池片；在对单晶硅棒的表面进行滚磨时，需要将单晶硅棒放置到机床上，之后通过三爪卡盘夹持住单晶硅棒的一端，单晶硅棒的另一端面开设有定位槽，通过定位柱插入到定位槽内限制单晶硅棒的旋转位置；即通过三爪卡盘为单晶硅棒提供旋转动力，通过定位柱与定位槽配合确定旋转轴线；而在实际滚磨时，三爪卡盘对单晶硅棒夹持位置难以被直接滚磨，需要在二次滚磨时将单晶硅棒原先被三爪卡盘夹持位置裸露，之后在裸露位置进行二次滚磨，增加了滚磨工艺流程，降低了单晶硅棒滚磨效率。
3、为此，本专利技术提供一种单晶硅棒研磨机。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种单晶硅棒研
3、所述驱动辊的上方设置有承接板，所述承接板与工作台之间设置有支撑腿；所述承接板的顶面开设有矩形缺口，所述矩形缺口的上方设置有棒体，所述棒体的两端中心处开设有对接槽；所述对接槽内插接有对接轴，所述对接轴位于对接槽外的端部设置有对接板，所述对接板远离对接轴的一侧设置有第二液压缸，所述第二液压缸壳体部分安装在承接板顶面，第二液压缸输出端端部与对接板连接；所述棒体的一侧设置有磨具。
4、优选的，对于不同尺寸的棒体，所述第一液压缸的输出量适应性调整。
5、优选的，所述驱动辊的表面均匀开设有多组承接槽，所述承接槽的内部安装有吸盘，所述驱动辊远离驱动电机一侧的支撑轴的端部开设有抽气孔，所述驱动辊内部开设有与承接槽连通的腔体；所述抽气孔与腔体连通，所述支撑轴的端部设置有与抽气孔连通的导气管，所述第一支架的表面安装有第一气泵，所述第一气泵的输入端与导气管连通；所述吸盘与承接槽连通；所述吸盘部分位于承接槽外。
6、优选的，所述吸盘位于承接槽外的部分设置有弧形缺口，弧形缺口与棒体的表面适配。
7、优选的，所述磨具包括安装板，所述安装板的侧面安装有第三液压缸，所述第三液压缸输出端的端部设置有第二支架，所述第二支架的表面水平安装有研磨辊，所述第二支架的侧面安装有输出电机，输出电机的输出端与研磨辊端部连接；所述研磨辊与承接板之间存在空隙；所述承接板的顶面且位于研磨辊的下方设置有隔板，所述隔板的靠近棒体的端部转动连接有滚轴，所述隔板的顶面为远离棒体方向斜向下的倾斜面；所述隔板远离棒体的端部设置有收集框，所述隔板的两端设置有一对连板，所述承接板的侧面设置有固定板，所述固定板与连板之间设置有抵压弹簧。
8、优选的，所述隔板的两端设置有一对挡板。
9、优选的，所述隔板靠近棒体的端部且位于滚轴的下方位置开设有抽气槽，所述承接板的侧面安装有第二气泵，所述第二气泵输入端与抽气槽连通设置有抽气管。
10、优选的，所述矩形缺口的内部基于驱动辊对称设置有一对升降板，所述升降板的顶端设置有承接斜板，所述承接斜板远离升降板的端部指向棒体中心线下方位置；所述升降板远离棒体的一侧且位于承接板的下方设置有连动板，所述连动板的下方设置有第四液压缸，所述第四液压缸壳体部分安装在工作台的顶面，第四液压缸输出端端部与连动板的底面连接。
11、优选的，所述对接轴远离对接板的一端边界开设有倾斜倒角。
12、优选的，所述升降板面向棒体的一侧设置有定位板，所述定位板的顶面安装有第五液压缸，所述第五液压缸输出端的顶端对承接斜板底面承接；所述承接斜板与升降板转动连接；所述升降板的顶端与承接板的顶面等高；所述承接斜板水平时顶面与承接板顶面等高。
13、本专利技术的有益效果如下：
14、1.本专利技术所述的一种单晶硅棒研磨机，通过设置驱动辊，棒体两端开设有对接槽，在使用时，对接轴插入到对接槽内限制单晶硅棒的旋转位置，通过驱动辊为单晶硅棒提供旋转动力，之后配合磨具滚磨；整个滚磨过程，棒体的表面可被一次性滚磨，避免了三爪卡盘夹持棒体阻碍滚磨的完整性；因此棒体的表面一次性滚磨完成，降低滚磨流程；有利于提高滚磨效率。
15、2.本专利技术所述的一种单晶硅棒研磨机，通过设置承接斜板，在安装棒体时，需要棒体两端的对接槽位于对接轴的等高位置，且在水平方向上位于对接轴插接位置，具体的在使用时先启动第四液压缸，第四液压缸通过连动板与升降板带动承接斜板向上移动，工作人员将棒体放置到承接斜板的顶面，一对承接斜板将棒体承接，之后通过第四液压缸控制承接斜板向下移动，承接斜板带动承接的棒体移动到指定位置，便于之后对接轴与对接槽的对接；之后在棒体安装完成后再将承接斜板位置复位。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的顶端安装有第一液压缸(11)，所述第一液压缸(11)输出端设置有第一支架(12)，所述第一支架(12)的表面水平安装有驱动辊(13)，所述驱动辊(13)通过可形变橡胶制备；所述驱动辊(13)的两端中心处垂直安装有支撑轴(14)，所述第一支架(12)的侧面安装有驱动电机(15)；所述驱动电机(15)输出端的端部与驱动辊(13)一端的支撑轴(14)连接；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：对于不同尺寸的棒体(3)，所述第一液压缸(11)的输出量适应性调整。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述驱动辊(13)的表面均匀开设有多组承接槽(5)，所述承接槽(5)的内部安装有吸盘(51)，所述驱动辊(13)远离驱动电机(15)一侧的支撑轴(14)的端部开设有抽气孔(141)，所述驱动辊(13)内部开设有与承接槽(5)连通的腔体；所述抽气孔(141)与腔体连通，所述支撑轴(14)的端部设置有与抽气孔(141)连通的导气管(61)，所述第一支架(12)的表
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述吸盘(51)位于承接槽(5)外的部分设置有弧形缺口，弧形缺口与棒体(3)的表面适配。
5.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述磨具包括安装板(4)，所述安装板(4)的侧面安装有第三液压缸(41)，所述第三液压缸(41)输出端的端部设置有第二支架(42)，所述第二支架(42)的表面水平安装有研磨辊(43)，所述第二支架(42)的侧面安装有输出电机，输出电机的输出端与研磨辊(43)端部连接；所述研磨辊(43)与承接板(2)之间存在空隙；所述承接板(2)的顶面且位于研磨辊(43)的下方设置有隔板(7)，所述隔板(7)的靠近棒体(3)的端部转动连接有滚轴(72)，所述隔板(7)的顶面为远离棒体方向斜向下的倾斜面；所述隔板(7)远离棒体(3)的端部设置有收集框(71)，所述隔板(7)的两端设置有一对连板(82)，所述承接板(2)的侧面设置有固定板(8)，所述固定板(8)与连板(82)之间设置有抵压弹簧(81)。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述隔板(7)的两端设置有一对挡板(73)。
7.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述隔板(7)靠近棒体(3)的端部且位于滚轴(72)的下方位置开设有抽气槽(74)，所述承接板(2)的侧面安装有第二气泵(75)，所述第二气泵(75)输入端与抽气槽(74)连通设置有抽气管(76)。
8.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述矩形缺口(21)的内部基于驱动辊(13)对称设置有一对升降板(92)，所述升降板(92)的顶端设置有承接斜板(93)，所述承接斜板(93)远离升降板(92)的端部指向棒体(3)中心线下方位置；所述升降板(92)远离棒体(3)的一侧且位于承接板(2)的下方设置有连动板(91)，所述连动板(91)的下方设置有第四液压缸(9)，所述第四液压缸(9)壳体部分安装在工作台(1)的顶面，第四液压缸(9)输出端端部与连动板(91)的底面连接。
9.根据权利要求8所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述对接轴(23)远离对接板(22)的一端边界开设有倾斜倒角。
10.根据权利要求8所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述升降板(92)面向棒体(3)的一侧设置有定位板(94)，所述定位板(94)的顶面安装有第五液压缸(95)，所述第五液压缸(95)输出端的顶端对承接斜板(93)底面承接；所述承接斜板(93)与升降板(92)转动连接；所述升降板(92)的顶端与承接板(2)的顶面等高；所述承接斜板(93)水平时顶面与承接板(2)顶面等高。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：包括工作台(1)，所述工作台(1)的顶端安装有第一液压缸(11)，所述第一液压缸(11)输出端设置有第一支架(12)，所述第一支架(12)的表面水平安装有驱动辊(13)，所述驱动辊(13)通过可形变橡胶制备；所述驱动辊(13)的两端中心处垂直安装有支撑轴(14)，所述第一支架(12)的侧面安装有驱动电机(15)；所述驱动电机(15)输出端的端部与驱动辊(13)一端的支撑轴(14)连接；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：对于不同尺寸的棒体(3)，所述第一液压缸(11)的输出量适应性调整。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述驱动辊(13)的表面均匀开设有多组承接槽(5)，所述承接槽(5)的内部安装有吸盘(51)，所述驱动辊(13)远离驱动电机(15)一侧的支撑轴(14)的端部开设有抽气孔(141)，所述驱动辊(13)内部开设有与承接槽(5)连通的腔体；所述抽气孔(141)与腔体连通，所述支撑轴(14)的端部设置有与抽气孔(141)连通的导气管(61)，所述第一支架(12)的表面安装有第一气泵(6)，所述第一气泵(6)的输入端与导气管(61)连通；所述吸盘(51)与承接槽(5)连通；所述吸盘(51)部分位于承接槽(5)外。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述吸盘(51)位于承接槽(5)外的部分设置有弧形缺口，弧形缺口与棒体(3)的表面适配。
5.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒研磨机，其特征在于：所述磨具包括安装板(4)，所述安装板(4)的侧面安装有第三液压缸(41)，所述第三液压缸(41)输出端的端部设置有第二支架(42)，所述第二支架(42)的表面水平安装有研磨辊(43)，所述第二支架(42)的侧面安装有输出电机，输出电机的输出端与研磨辊(43)端部连接；所述研磨辊(43)与承接板(2)之间存在空隙；所述承接板(2)的顶面且位于研磨辊(43)的下方设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙勇，
申请(专利权)人：江苏艺通新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。