【技术实现步骤摘要】
本技术属于矫正机构，尤其涉及一种硅片位置矫正机构。
技术介绍
1、硅片电镀铜工艺，是在硅片表面沉积一层均匀的铜膜，而硅片上下料在电镀铜工艺中非常重要。
2、当前行业内常用的将硅片进行上下料大多都是单片多次上下料来实现，其工作效率不高；且硅片在装载过程之前中无法对其位置进行准确检测，导致硅片上料位置可能不准确，而如果硅片的位置不准确，会造成产品质量不稳定、浪费时间和成本，甚至可能导致整个生产线的停滞。
3、基于以上所述，现亟需一种硅片位置矫正机构，来解决现有技术中存在的技术问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种硅片位置矫正机构，能够提高硅片上下料位置的准确性和效率，提升硅片的生产质量，并降低生产成本。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、硅片位置矫正机构，包括：
4、配载模组，设置有多个配载件，每个所述配载件用于获取并固定待装载的硅片；
5、转嫁模组，包括转嫁平台、多个转嫁件和多个位置矫正件，多个所述位置矫正件可滑动地设置于所述转嫁平台，多个所述转嫁件设置于所述位置矫正件上，所述转嫁件移动至与所述配载件位置相对时，所述转嫁件能将所述硅片转移至所述转嫁件上；
6、视觉检测模组，设于所述转嫁平台的下游位置，所述视觉检测模组包括多个视觉单元，所述视觉单元用于检测对应的所述转嫁件上所述硅片的实际位置，所述位置矫正件能在所述视觉单元检测到所述硅片的所述实际位置偏离于预设位置时，调整所述硅片
7、可选地，所述位置矫正件包括矫正基座以及设置在所述矫正基座上的第一直线矫正驱动件、第二直线矫正驱动件和旋转矫正驱动件，所述矫正基座可滑动地设置在所述转嫁平台上，所述第一直线矫正驱动件能驱动所述转嫁件沿第一方向直线运动，所述第二直线矫正驱动件能驱动所述转嫁件沿第二方向直线运动，所述旋转矫正驱动件能驱动所述转嫁件沿所述转嫁件的中心旋转运动，所述第一方向垂直于所述第二方向。
8、可选地，所述配载模组还包括支架、升降组件和翻转组件，所述支架竖直放置，所述升降组件沿所述竖直方向可滑动地设置于所述支架上，所述翻转组件绕自身轴线可转动地装设于所述升降组件，所述配载件固设于所述翻转组件上。
9、可选地，所述升降组件包括升降驱动电机和伸缩轴，所述升降驱动电机设置于所述支架上，并传动连接于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端连接于所述翻转组件。
10、可选地，所述配载模组还包括升降滑轨和滑块，所述支架的相对两端分别沿所述竖直方向设置有一个所述升降滑轨，每个所述升降滑轨上均滑动设置有所述滑块，所述滑块固连于所述翻转组件。
11、可选地，所述翻转组件包括安装台、翻转轴和翻转驱动电机，所述安装台固连于所述升降组件，所述翻转轴绕自身轴线可转动地设置在所述安装台上，并固连于所述配载件，所述翻转驱动电机的输出端传动连接于所述翻转轴。
12、可选地，所述支架的相对两侧分别设置有一个所述翻转组件，且每个所述翻转组件上均设有多个所述配载件。
13、可选地，所述配载件包括配载驱动电机、配载吸气泵和配载吸盘，所述配载驱动电机固连于所述升降组件，所述配载吸气泵电连接于所述配载驱动电机，且所述配载吸气泵连通于所述配载吸盘上的吸气孔。
14、可选地，所述转嫁件包括转嫁驱动电机、转嫁吸气泵和移取吸盘，所述转嫁驱动电机固连于所述位置矫正件，所述转嫁吸气泵电连接于所述转嫁驱动电机，所述转嫁吸气泵连通于所述移取吸盘上的吸气孔。
15、可选地，所述转嫁平台上设置有运输电机、传动轮和传送带，所述转嫁平台的相对两端各设有一个所述运输电机和一个所述传动轮，每个所述运输电机传动连接于所述传动轮，且两个所述运输电机能同时正转或同时反转，所述传送带的相对两端各套接于一个所述传动轮，所述位置矫正件连接于所述传送带。
16、本技术的有益效果：
17、本技术提供了一种硅片位置矫正机构，在该矫正机构中，通过配载模组上的多个配载件来一次性获取多个待装载的硅片，然后通过转嫁平台上的转嫁件一次性将多个硅片进行转移后，再将多个硅片沿着转嫁平台移动至转嫁平台的下游位置，以通过视觉检测模组上的多个视觉单元检测每个转嫁件上硅片的实际位置。当硅片在转嫁件上的实际位置偏离于预设位置时，位置矫正件能调整硅片的实际位置，以使每个硅片的实际位置均与预设位置相同，从而实现了提高硅片上下料位置的准确性和效率，有助于提升硅片的生产质量，并降低生产成本。
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1.硅片位置矫正机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述位置矫正件(23)包括矫正基座(231)以及设置在所述矫正基座(231)上的第一直线矫正驱动件(232)、第二直线矫正驱动件(233)和旋转矫正驱动件(234)，所述矫正基座(231)可滑动地设置在所述转嫁平台(21)上，所述第一直线矫正驱动件(232)能驱动所述转嫁件(22)沿第一方向直线运动，所述第二直线矫正驱动件(233)能驱动所述转嫁件(22)沿第二方向直线运动，所述旋转矫正驱动件(234)能驱动所述转嫁件(22)沿所述转嫁件(22)的中心旋转运动，所述第一方向垂直于所述第二方向。
3.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述配载模组(1)还包括支架(12)、升降组件(13)和翻转组件(14)，所述支架(12)竖直放置，所述升降组件(13)沿所述竖直方向可滑动地设置于所述支架(12)上，所述翻转组件(14)绕自身轴线可转动地装设于所述升降组件(13)，所述配载件(11)固设于所述翻转组件(14)上。
4.根据权利要求3所述的
5.根据权利要求4所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述配载模组(1)还包括升降滑轨(15)和滑块，所述支架(12)的相对两端分别沿所述竖直方向设置有一个所述升降滑轨(15)，每个所述升降滑轨(15)上均滑动设置有所述滑块，所述滑块固连于所述翻转组件(14)。
6.根据权利要求3所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述翻转组件(14)包括安装台(141)、翻转轴(142)和翻转驱动电机(143)，所述安装台(141)固连于所述升降组件(13)，所述翻转轴(142)绕自身轴线可转动地设置在所述安装台(141)上，并固连于所述配载件(11)，所述翻转驱动电机(143)的输出端传动连接于所述翻转轴(142)。
7.根据权利要求3-6任一项所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述支架(12)的相对两侧分别设置有一个所述翻转组件(14)，且每个所述翻转组件(14)上均设有多个所述配载件(11)。
8.根据权利要求3-6任一项所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述配载件(11)包括配载驱动电机(111)、配载吸气泵和配载吸盘(112)，所述配载驱动电机(111)固连于所述升降组件(13)，所述配载吸气泵电连接于所述配载驱动电机(111)，且所述配载吸气泵连通于所述配载吸盘(112)上的吸气孔。
9.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述转嫁件(22)包括转嫁驱动电机(221)、转嫁吸气泵(222)和移取吸盘(223)，所述转嫁驱动电机(221)固连于所述位置矫正件(23)，所述转嫁吸气泵(222)电连接于所述转嫁驱动电机(221)，所述转嫁吸气泵(222)连通于所述移取吸盘(223)上的吸气孔。
10.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述转嫁平台(21)上设置有运输电机(211)、传动轮(212)和传送带(213)，所述转嫁平台(21)的相对两端各设有一个所述运输电机(211)和一个所述传动轮(212)，每个所述运输电机(211)传动连接于所述传动轮(212)，且两个所述运输电机(211)能同时正转或同时反转，所述传送带(213)的相对两端各套接于一个所述传动轮(212)，所述位置矫正件(23)连接于所述传送带(213)。
...【技术特征摘要】
1.硅片位置矫正机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述位置矫正件(23)包括矫正基座(231)以及设置在所述矫正基座(231)上的第一直线矫正驱动件(232)、第二直线矫正驱动件(233)和旋转矫正驱动件(234)，所述矫正基座(231)可滑动地设置在所述转嫁平台(21)上，所述第一直线矫正驱动件(232)能驱动所述转嫁件(22)沿第一方向直线运动，所述第二直线矫正驱动件(233)能驱动所述转嫁件(22)沿第二方向直线运动，所述旋转矫正驱动件(234)能驱动所述转嫁件(22)沿所述转嫁件(22)的中心旋转运动，所述第一方向垂直于所述第二方向。
3.根据权利要求1所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述配载模组(1)还包括支架(12)、升降组件(13)和翻转组件(14)，所述支架(12)竖直放置，所述升降组件(13)沿所述竖直方向可滑动地设置于所述支架(12)上，所述翻转组件(14)绕自身轴线可转动地装设于所述升降组件(13)，所述配载件(11)固设于所述翻转组件(14)上。
4.根据权利要求3所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述升降组件(13)包括升降驱动电机(131)和伸缩轴，所述升降驱动电机(131)设置于所述支架(12)上，并传动连接于所述伸缩轴的一端，所述伸缩轴的另一端连接于所述翻转组件(14)。
5.根据权利要求4所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述配载模组(1)还包括升降滑轨(15)和滑块，所述支架(12)的相对两端分别沿所述竖直方向设置有一个所述升降滑轨(15)，每个所述升降滑轨(15)上均滑动设置有所述滑块，所述滑块固连于所述翻转组件(14)。
6.根据权利要求3所述的硅片位置矫正机构，其特征在于，所述翻转组件(14)包括安装台...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩友生，方荣平，赵改兵，朱锦平，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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