【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种产业用机器人，其包括臂、连结有臂的升降体、以及使升降体升降的升降机构。
技术介绍
1、以往，已知有搬送半导体晶片(semiconductor wafer)的水平多关节型的产业用机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1中记载的产业用机器人包括：搭载半导体晶片的手、在前端侧连结有手的臂、以及连结有臂的基端侧的主体部。所述产业用机器人设置于洁净室中使用。主体部包括：升降体，臂的基端侧与上表面侧连结；框体，能够升降地保持升降体；升降机构，收容于框体中并且使升降体相对于框体升降；以及排气风扇，用于排出框体的内部的气体。
2、在专利文献1中记载的产业用机器人中，在构成框体的底面的底面部形成有排气孔，所述排气孔使从排气风扇排出的气体通过。在构成框体的上表面的上表面部，形成有配置有升降体的一部分的开口。在所述产业用机器人中，设定排气风扇的每单位时间的排气量，以使得在升降体相对于框体下降时，框体的内部的气体不会从形成于框体的上表面部的开口的边缘与升降体的外周面之间所形成的间隙向臂侧流出。因此，在所述产业用机器人中，能够防止在框体的内部产生的尘埃从框体的内部向臂侧流出。
3、[现有技术文献]
4、[专利文献]
5、[专利文献1]日本专利特开2019-123024号公报
技术实现思路
1、[专利技术所要解决的问题]
2、在专利文献1中记载的产业用机器人中，在升降体相对于框体上升时，框体的内部成为负压。因此，例如关于专利文献1
3、因此，本专利技术的课题在于提供一种产业用机器人，包括：臂；升降体，连结有臂；框体，收容升降体的至少一部分；以及升降机构，使升降体相对于框体升降，所述产业用机器人中，能够在升降体升降时，抑制流体从配置有升降体的一部分的框体的开口与升降体的外周面之间的间隙被吸入框体的内部。
4、[解决问题的技术手段]
5、为了解决所述课题，本专利技术的一方式的产业用机器人包括：臂；升降体，连结有臂；框体，收容升降体的至少一部分；升降机构，收容于框体并且使升降体相对于框体升降；以及气体喷射机构，具有朝向升降体喷射气体的气体喷射部，其中，在构成框体的上表面的上表面部或构成框体的下表面的下表面部，形成有配置有升降体的一部分的开口。气体喷射部沿着开口的边缘配置，并朝向开口的内侧喷射气体。
6、本方式的产业用机器人包括气体喷射机构，所述气体喷射机构具有朝向升降体喷射气体的气体喷射部。另外，在本方式中，气体喷射部沿着形成于框体的开口的边缘配置，并朝向开口的内侧喷射气体。因此，在本方式中，在升降体相对于框体升降时，能够产生：从气体喷射部喷射并碰到升降体的外周面后，从框体的开口朝向框体的外部流动的气体流；以及从气体喷射部喷射并碰到升降体的外周面后，从框体的开口朝向框体的内部流动的气体流。
7、因此，在本方式中，即使在升降体相对于框体上升时或下降时框体的内部的压力下降，也能够抑制流体从框体的开口与升降体的外周面之间的间隙被吸入框体的内部。即，在本方式中，能够在升降体升降时，抑制流体从框体的开口与升降体的外周面之间的间隙被吸入框体的内部。
8、在本方式中，优选为，气体喷射机构包括：沿着开口的边缘排列的多个气体喷射部。若以所述方式构成，则能够在开口的周向的更大范围内产生：从开口朝向框体的外部流动的气体流；以及从开口朝向框体的内部流动的气体流。因此，能够在升降体升降时，有效果地抑制流体从框体的开口与升降体的外周面之间的间隙被吸入框体的内部。
9、在本方式中，优选为，从上下方向观察时的开口的形状为长方形形状或正方形形状，在从上下方向观察时，在呈长方形形状或正方形形状的开口的各边分别配置有至少一个气体喷射部。若以所述方式构成，则能够在开口的周向的整个区域平衡良好地产生：从开口朝向框体的外部流动的气体流；以及从开口朝向框体的内部流动的气体流。因此，能够在升降体升降时，更有效果地抑制流体从框体的开口与升降体的外周面之间的间隙被吸入框体的内部。
10、在本方式中，优选为，在框体形成有贯通框体的侧面的第二开口。若以所述方式构成，则能够利用第二开口将气体取入框体的内部。因此，即使升降体的收容于框体的部分的体积变大，也能够在升降体相对于框体上升时或下降时抑制框体的内部的压力下降，其结果是，能够在升降体升降时，有效果地抑制流体从框体的开口与升降体的外周面之间的间隙被吸入框体的内部。此外，在所述情况下，例如，即使本专利技术的产业用机器人的臂设置于使用水等液体的环境下，第二开口也配置于与液体的使用区域隔离的区域。因此，不会从第二开口向框体的内部吸入包含液体的气体。
11、在本方式中，优选为，产业用机器人还包括：安装于第二开口的过滤器。若以所述方式构成，则即使在框体形成有第二开口，也能够防止尘埃等异物从第二开口被吸入框体的内部。
12、在本方式中，例如，在上表面部形成有开口的情况下，第二开口形成于框体的侧面的下端侧；在下表面部形成有开口的情况下，第二开口形成于框体的侧面的上端侧。在所述情况下，即使本专利技术的产业用机器人的臂设置于使用水等液体的环境下，也容易在与液体的使用区域隔离的区域配置第二开口。
13、[专利技术的效果]
14、如上所述，在本专利技术中，提供一种产业用机器人，包括：臂；升降体，连结有臂；框体，收容升降体的至少一部分；以及升降机构，使升降体相对于框体升降，所述产业用机器人中，能够在升降体升降时，抑制流体从配置有升降体的一部分的框体的开口与升降体的外周面之间的间隙被吸入框体的内部。
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1.一种产业用机器人，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的产业用机器人，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的产业用机器人，其特征在于，
4.根据权利要求1至3中任一项所述的产业用机器人，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的产业用机器人，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求4所述的产业用机器人，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种产业用机器人，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的产业用机器人，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的产业用机器人，其特征在于，
4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：青木雅裕，栗林保，北原康行，细川正己，
申请(专利权)人：尼得科仪器株式会社，
类型：发明
国别省市：
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