一种新型的硅片倒片器制造技术

本技术属于半导体制造过程中的硅片传送装置，具体是公开了一种新型硅片倒片器,包括：倒片器底座、倒片器翻转机构和倒片器转动轴，所述倒片器底座为长方形平底凹槽结构，所述倒片器底座两侧壁的中部分别设有一个圆孔，用于安装倒片器转动轴，所述倒片器翻转机构为L型结构，设于所述倒片器底座上方，其转折处通过倒片器转动轴与倒片器底座铰接；本技术可以保证硅片不用镊子等工具接触，实现无接触式的从片舟至片筐、从片筐至片舟的倒片，提高产品的良品率，提升了产品品质，且操作简单，制作成本较低。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体制造过程中的硅片传送装置，具体是公开了一种新型的硅片倒片器。

技术介绍

1、硅片对于倒片时的洁净度要求很高，当产品片和某些可能有污染的硅片共用倒片机倒片时，很容易对产品硅片产生污染，需要使用单独倒片机，目前市面上出售的倒片机价格较贵，单独采购浪费成本。因此设计一种实用的倒片器，在不使用倒片机的情况下，使用简易的倒片模具对硅片进行倒片，节约设备成本，方便生产，降低硅片倒片时损片率。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本专利技术为一种新型的硅片倒片器，包括：倒片器底座、倒片器翻转机构和倒片器转动轴，所述倒片器底座为长方形平底u型结构，所述倒片器底座两侧壁的中部分别设有一个圆孔，用于安装倒片器转动轴，所述倒片器翻转机构为设于倒片器底座上方的l型结构，其转折处通过倒片器转动轴与倒片器底座铰接。

2、优选地，所述倒片器翻转机构包括：片筐卡槽、片舟卡槽、片筐卡槽挡块、片筐固定板、限位块和垫块，所述片筐卡槽与片舟卡槽呈垂直状态，片筐卡槽与片舟卡槽通过限位块固定连接，在片舟卡槽保持水平时，片筐卡槽设于限位块上侧，片舟卡槽设于限位块右侧，片舟卡槽中部为凹槽型结构，所述片筐固定板固定于限位块右侧且其底部与片舟卡槽保留一定距离，所述片筐卡槽挡块有两个，分别设于片筐卡槽两侧，所述倒片器翻转机构还包括垫块，垫块可拆卸安装于片舟卡槽底面上。

3、优选地，所述片筐卡槽与所述片舟卡槽互为垂直设置，当硅片从片舟倒片至片筐时，所述片舟卡槽与所述倒片器底座平行，当硅片从片筐倒片至片舟时，所述片筐卡槽与所述倒片器底座平行。

4、优选地，当硅片从片舟倒片至片筐时使用，所述垫块将片舟卡槽下方垫起，使硅片更容易进入到片筐内。

5、优选地，所述片筐卡槽槽内宽度与片筐宽度保持一致，所述片舟卡槽槽内宽度与片舟宽度保持一致，片舟卡槽槽内长度与片舟长度保持一致。

6、本技术的有益效果为：

7、1.在倒片器上片筐和片舟的位置是固定的，通过翻转倒片器翻转机构即可以达到硅片从片筐至片舟的传送目的，操作简单、方便，利于推广实施。

8、2.该装置制作简单，成本较低，可以针对不同种类的片舟和片筐单独设计所需要卡位尺寸进行倒片，适用范围广，便于企业根据实际生产需要灵活调整。

9、3.本技术可以保证硅片不用镊子等工具接触，实现无接触式的从片舟到片筐或者从片筐到片舟的倒片；提高产品的良品率，保证了产品品质。

10、本技术通过限位，匹配片筐和片舟装载硅片的位置，并使用卡槽固定片舟和片筐，通过放置在平台上的翻转达到将硅片从片舟倒至片筐，或从片筐倒至片舟的目的，该装置提升了倒片的效率。

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【技术保护点】

1.一种新型的硅片倒片器，与片舟、片筐和硅片配合使用，其特征在于：包括：倒片器底座、倒片器翻转机构和倒片器转动轴，所述倒片器底座为长方形平底凹槽结构，所述倒片器底座两侧壁的中部分别设有一个圆孔，用于安装倒片器转动轴，所述倒片器翻转机构为设于倒片器底座上方的L型结构，其转折处通过倒片器转动轴与倒片器底座铰接。

2.根据权利要求1所述的一种新型的硅片倒片器，其特征在于：所述倒片器翻转机构包括：片筐卡槽、片舟卡槽、片筐卡槽挡块、片筐固定板、限位块和垫块，所述片筐卡槽与片舟卡槽通过限位块固定连接，在片舟卡槽保持水平时，片筐卡槽设于限位块上侧，片舟卡槽设于限位块右侧，且片舟卡槽中部为凹槽型结构，所述片筐固定板固定于限位块右侧且其底部与片舟卡槽保留一定距离，所述片筐卡槽挡块有两个，分别设于片筐卡槽两侧，所述倒片器翻转机构还包括垫块，垫块可拆卸安装于片舟卡槽底面上。

3.根据权利要求2所述的一种新型的硅片倒片器，其特征在于：所述片筐卡槽与所述片舟卡槽互为垂直设置，当硅片需要从片舟倒片至片筐时，所述片舟卡槽与所述倒片器底座平行，当硅片需要从片筐倒片至片舟时，所述片筐卡槽与所述倒片器底座平行。

4.根据权利要求2所述的一种新型的硅片倒片器，其特征在于：硅片从片舟倒片至片筐时使用，所述垫块将片舟卡槽下方垫起，使硅片更容易进入到片筐内。

5.根据权利要求2所述的一种新型的硅片倒片器，其特征在于：所述片筐卡槽槽内宽度与片筐宽度保持一致，所述片舟卡槽槽内宽度与片舟宽度保持一致，片舟卡槽槽内长度与片舟长度保持一致。

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【技术特征摘要】

1.一种新型的硅片倒片器，与片舟、片筐和硅片配合使用，其特征在于：包括：倒片器底座、倒片器翻转机构和倒片器转动轴，所述倒片器底座为长方形平底凹槽结构，所述倒片器底座两侧壁的中部分别设有一个圆孔，用于安装倒片器转动轴，所述倒片器翻转机构为设于倒片器底座上方的l型结构，其转折处通过倒片器转动轴与倒片器底座铰接。

2.根据权利要求1所述的一种新型的硅片倒片器，其特征在于：所述倒片器翻转机构包括：片筐卡槽、片舟卡槽、片筐卡槽挡块、片筐固定板、限位块和垫块，所述片筐卡槽与片舟卡槽通过限位块固定连接，在片舟卡槽保持水平时，片筐卡槽设于限位块上侧，片舟卡槽设于限位块右侧，且片舟卡槽中部为凹槽型结构，所述片筐固定板固定于限位块右侧且其底部与片舟卡槽保留一定距离，所述片筐卡槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：段旭来，赵凯，
申请(专利权)人：吉林瑞能半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：