【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，尤其涉及一种沉积炉。
技术介绍
1、在原子沉积系统中，为了在硅表面获得厚度较一致的薄膜，通常采用长喷射器(injector)通气，以使反应腔里面工艺气体分布较为均匀。但是在实际应用中，由于喷射器与管壁之间存在微小的间隙，随着反应形成薄膜厚度的积累，薄膜厚度会将喷射器与管壁之间的间隙填满，在喷射器通气产生轻微抖动时或者薄膜厚度过厚对喷射器挤压应力过大时，使得两者间隙中的薄膜容易破裂，从而产生污染颗粒，且这种现象随着薄膜积累越厚越容易发生。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种沉积炉，提高了进气管的稳定性，避免进气管将薄膜挤压破裂在炉体内产生污染颗粒。
2、为实现上述目的，第一方面，本技术提供了一种沉积炉，包括炉体、进气管、进气法兰盘和固定组件；
3、所述进气法兰盘设于所述炉体的底部，所述进气法兰盘的侧壁开设有通孔；
4、所述进气管设于所述炉体内，且所述进气管的一端穿设于所述通孔，所述进气管的另一端沿所述炉体的轴向延伸，且所述进气管与所述炉体的内侧壁具有间隙，所述进气管用于向所述炉体内通入工艺气体；
5、所述固定组件设于所述进气法兰盘，且所述固定组件包括可沿所述炉体径向移动的支撑件，所述支撑件用于支撑所述进气管。
6、在一些实施例中，所述固定组件包括设于所述进气法兰盘上的连接件，所述连接件具有调节部；
7、所述支撑件活动的设于所述调节部，以使所述支撑件可沿所述炉体径向调节。
8、
9、所述调节部上开设有滑动槽，所述调节部的侧壁开设有长条孔，所述长条孔导通至所述滑动槽，且所述长条孔的延伸方向与所述滑动槽的延伸方向相同；
10、所述支撑件的底部具有滑动部，所述滑动部设于所述滑动槽内，且可沿所述滑动槽滑动，所述滑动部的侧壁开设有固定孔；
11、所述固定件的部分穿设于所述长条孔，且所述固定件的一端与所述固定孔连接，以使所述支撑件和所述连接件固定。
12、在一些实施例中，所述固定孔为螺纹孔，所述固定件为固定螺栓；
13、当拧紧所述固定件时，所述连接件和所述支撑件固定，当拧松所述固定件时，所述支撑件可沿所述滑动槽的延伸方向移动调节。
14、在一些实施例中，所述进气管包括第一延伸管和第二延伸管；
15、所述第一延伸管穿设于所述通孔，所述第一延伸管的一端与所述第二延伸管连通；
16、所述第二延伸管的延伸方向垂直于所述第一延伸管的延伸方向，且所述第二延伸管沿所述炉体的轴向延伸。
17、在一些实施例中，所述支撑件靠近所述进气管的侧壁开设有第一支撑槽，所述第一支撑槽为弧形凹槽，所述第一支撑槽用于支撑所述第二延伸管。
18、在一些实施例中，所述连接件的底部开设有第二支撑槽，所述第二支撑槽为弧形凹槽，所述第二支撑槽用于支撑所述第一延伸管。
19、在一些实施例中，所述连接件开设有用于支撑所述第一延伸管的固定通道，所述第一延伸管穿设于所述固定通道。
20、在一些实施例中，所述进气管的材质为石英。
21、本技术提供的沉积炉的有益效果在于：
22、1、通过设置固定组件提高了进气管的稳定性，避免进气管晃动挤压薄膜产生污染颗粒。
23、2、固定组件包括可调节的支撑件，便于更好的调节支撑进气管。
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1.一种沉积炉，其特征在于，包括炉体、进气管、进气法兰盘和固定组件；
2.根据权利要求1所述的沉积炉，其特征在于，所述固定组件包括设于所述进气法兰盘上的连接件，所述连接件具有调节部；
3.根据权利要求2所述的沉积炉，其特征在于，所述固定组件还包括固定件；
4.根据权利要求3所述的沉积炉，其特征在于，所述固定孔为螺纹孔，所述固定件为固定螺栓；
5.根据权利要求2所述的沉积炉，其特征在于，所述进气管包括第一延伸管和第二延伸管；
6.根据权利要求5所述的沉积炉，其特征在于，所述支撑件靠近所述进气管的侧壁开设有第一支撑槽，所述第一支撑槽为弧形凹槽，所述第一支撑槽用于支撑所述第二延伸管。
7.根据权利要求5所述的沉积炉，其特征在于，所述连接件的底部开设有第二支撑槽，所述第二支撑槽为弧形凹槽，所述第二支撑槽用于支撑所述第一延伸管。
8.根据权利要求5所述的沉积炉，其特征在于，所述连接件开设有用于支撑所述第一延伸管的固定通道，所述第一延伸管穿设于所述固定通道。
9.根据权利要求1所述的沉积炉，其特征
...【技术特征摘要】
1.一种沉积炉，其特征在于，包括炉体、进气管、进气法兰盘和固定组件；
2.根据权利要求1所述的沉积炉，其特征在于，所述固定组件包括设于所述进气法兰盘上的连接件，所述连接件具有调节部；
3.根据权利要求2所述的沉积炉，其特征在于，所述固定组件还包括固定件；
4.根据权利要求3所述的沉积炉，其特征在于，所述固定孔为螺纹孔，所述固定件为固定螺栓；
5.根据权利要求2所述的沉积炉，其特征在于，所述进气管包括第一延伸管和第二延伸管；
6.根据权利要求5所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王小超，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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