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【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学检测,特别是涉及一种光学镜头测试装置。
技术介绍
1、随着时代发展,工业激光朝着高功率方向发展,这对激光器里面的光学器件有着更高的质量要求,需要对空间光学的镜头的表面加工质量、镀膜质量、以及材料均匀性提出更合理的评价方法,而市面上高精密的检测设备仅针对上述指标的单一测试,且好一点设备均来自国外大公司,如美国zygo公司的激光干涉仪,功能仅限于测试镜头的加工公差,如表面粗糙度、pv、rms等,采购价格动辄在上百万人民币以上,这对制造型企业以“低成本、高效率”来说是十分昂贵的。
2、目前针对激光工业级镜头的加工性能“表面加工质量、镀膜质量、以及材料均匀性”综合评价未有一个系统化且低成本的测试方案。
技术实现思路
1、本申请主要提供一种光学镜头测试装置,以解决现有光学镜头测试装置成本高且评价指标单一的问题。
2、为解决上述技术问题,本申请采用的一个技术方案是:提供一种光学镜头测试装置。该光学镜头测试装置包括:调节架,包括可移动的多个支撑件,所述多个支撑件用于承载一套镜组,各所述支撑件分别用于承载所述镜组中的一个镜片;光纤激光器,设置于所述多个支撑件的一侧,用于向承载于所述多个支撑件上的镜组发射激光;光束分析仪,设置于所述多个支撑件背离所述光纤激光器的一侧,且所述光纤激光器、所述多个支撑件承载的所述镜组及所述光束分析仪处于同一基准轴上;其中,所述多个支撑件通过移动调节使得经所述镜组形成聚焦于所述光束分析仪上的光斑,所述光束分析仪用于探测经所述镜组聚焦而
3、在一些实施例中,所述调节架包括至少一个光学导轨,所述光学导轨沿竖直方向设置,所述支撑件可移动地连接于所述光学导轨上。
4、在一些实施例中,所述支撑件包括转接件和镜片固定治具,所述转接件可移动地连接于所述光学导轨上,所述镜片固定治具与所述转接件可拆卸连接,所述镜片固定治具用于承载镜片。
5、在一些实施例中,所述镜片固定治具上设有用于容置镜片的容置槽,所述容置槽的底部设有通孔,所述镜片固定治具的一侧与所述转接件连接的对位卡槽。
6、在一些实施例中,所述光学镜头测试装置还包括衰减片,所述衰减片设置于所述光束分析仪和所述镜组之间,且与所述光纤激光器、所述镜组及所述光束分析仪处于同一基准轴上。
7、在一些实施例中,所述光学镜头测试装置还包括暗箱防护罩,所述光纤激光器、承载于所述所述多个支撑件上的镜组、所述衰减片及所述光束分析仪均位于所述暗箱防护罩中。
8、在一些实施例中,所述光学镜头测试装置还包括减震光学平台,所述暗箱防护罩罩设于所述减震光学平台上,所述调节架及所述光束分析仪呈承载于所述减震光学平台上。
9、在一些实施例中,所述光学镜头测试装置还包括计算机设备,所述计算机设备与所述光束分析仪通信连接,所述计算机设备至少用于显示所述光斑的横截面能量分布图。
10、在一些实施例中,所述计算机设备还基于所述横截面能量分布对所述光斑进行分类,所述光斑的类型包括第一类型、第二类型、第三类型和第四类型,所述第一类型为高斯型且无条纹的光斑,所述第二类型为具有条纹的光斑,所述第三类型为具有黑点或黑线的光斑,所述第四类型为光斑能量不对称的光斑。
11、在一些实施例中,所述光学镜头测试装置还包括识别件,所述识别件与所述计算机设备连接,用于设别镜组的信息,所述镜组的信息包括镜组的系统焦距、前焦距和后焦距,所述计算机设备基于所述镜组的信息调节所述多个支撑件的位置,以使得经所述镜组形成聚焦于所述光束分析仪上的最小光斑。
12、本申请的有益效果是:区别于现有技术的情况,本申请公开了一种光学镜头测试装置。通过构建调节架、光纤激光器及光束分析仪的光学检测系统,使得位于调节架的各支撑件上的镜组与光纤激光器及光束分析仪处于同一基准轴上,且通过调节支撑件使得经镜组形成聚焦于光束分析仪上的光斑,再通过光束分析仪探测光斑的横截面能量分布,进而以通过对光斑质量的评价来综合评价镜组中镜片的“表面加工质量、镀膜质量以及材料均匀性”等指标,以低成本的方式实现了对镜片多指标的综合评价。
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1.一种光学镜头测试装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述调节架包括至少一个光学导轨,所述光学导轨沿竖直方向设置,所述支撑件可移动地连接于所述光学导轨上。
3.根据权利要求2所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述支撑件包括转接件和镜片固定治具,所述转接件可移动地连接于所述光学导轨上,所述镜片固定治具与所述转接件可拆卸连接,所述镜片固定治具用于承载镜片。
4.根据权利要求3所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述镜片固定治具上设有用于容置镜片的容置槽,所述容置槽的底部设有通孔,所述镜片固定治具的一侧与所述转接件连接的对位卡槽。
5.根据权利要求1所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述光学镜头测试装置还包括衰减片,所述衰减片设置于所述光束分析仪和所述镜组之间,且与所述光纤激光器、所述镜组及所述光束分析仪处于同一基准轴上。
6.根据权利要求5所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述光学镜头测试装置还包括暗箱防护罩,所述光纤激光器、承载于所述所述多个支撑件上的镜组、所述衰减片及所
7.根据权利要求6所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述光学镜头测试装置还包括减震光学平台,所述暗箱防护罩罩设于所述减震光学平台上,所述调节架及所述光束分析仪呈承载于所述减震光学平台上。
8.根据权利要求1所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述光学镜头测试装置还包括计算机设备,所述计算机设备与所述光束分析仪通信连接,所述计算机设备至少用于显示所述光斑的横截面能量分布图。
9.根据权利要求8所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述计算机设备还基于所述横截面能量分布对所述光斑进行分类,所述光斑的类型包括第一类型、第二类型、第三类型和第四类型,所述第一类型为高斯型且无条纹的光斑,所述第二类型为具有条纹的光斑,所述第三类型为具有黑点或黑线的光斑,所述第四类型为光斑能量不对称的光斑。
10.根据权利要求8所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述光学镜头测试装置还包括识别件,所述识别件与所述计算机设备连接,用于设别镜组的信息,所述镜组的信息包括镜组的系统焦距、前焦距和后焦距,所述计算机设备基于所述镜组的信息调节所述多个支撑件的位置,以使得经所述镜组形成聚焦于所述光束分析仪上的最小光斑。
...【技术特征摘要】
1.一种光学镜头测试装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述调节架包括至少一个光学导轨,所述光学导轨沿竖直方向设置,所述支撑件可移动地连接于所述光学导轨上。
3.根据权利要求2所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述支撑件包括转接件和镜片固定治具,所述转接件可移动地连接于所述光学导轨上,所述镜片固定治具与所述转接件可拆卸连接,所述镜片固定治具用于承载镜片。
4.根据权利要求3所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述镜片固定治具上设有用于容置镜片的容置槽,所述容置槽的底部设有通孔,所述镜片固定治具的一侧与所述转接件连接的对位卡槽。
5.根据权利要求1所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述光学镜头测试装置还包括衰减片,所述衰减片设置于所述光束分析仪和所述镜组之间,且与所述光纤激光器、所述镜组及所述光束分析仪处于同一基准轴上。
6.根据权利要求5所述的光学镜头测试装置,其特征在于,所述光学镜头测试装置还包括暗箱防护罩,所述光纤激光器、承载于所述所述多个支撑件上的镜组、所述衰减片及所述光束分析仪均位于所述暗箱防护罩中。
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋峰,李昌席,陈相和,王迪,李明阳,林玉生,
申请(专利权)人:苏州创鑫激光科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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