【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及自动化设备，特别涉及一种物料换盘设备及换盘方法。
技术介绍
1、在半导体加工过程中，受工艺要求限定，需要将第一料盘中临时存放的半成品物料转移至第二料盘中，装有物料的第二料盘流转至下一工序，以便于后续加工。为了提高转移效率，现有技术中，通常会设置换盘设备来转移物料，换盘设备通常包括第一堆叠机构、第二堆叠机构和位于二者之间的转运机械手，第一堆叠机构具有堆叠容置满载的第一料盘的第一工位和堆叠容置空置的第一料盘的第二工位，第一堆叠机构可将第一料盘自第一工位依次移至第二工位中，第二堆叠机构具有堆叠容置空置的第二料盘的第三工位和堆叠容置满载的第二料盘的第四工位，第二堆叠机构可将第二料盘自第三工位依次移至第四工位中，转运机械手可在第一工位和第三工位之间往复移动，以将物料由第一料盘转移至第二料盘中。
2、然而采用上述结构，当第一工位和/或第三工位空载后，以及第二工位和/或第四工位满载后，需要停机以取离或放入料盘，因而导致加工效率降低，且处于堆叠状态的第二料盘可靠性较低，作业人员取放和转运过程十分不便。
3、因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种物料换盘设备及换盘方法，能够不停机地取放第一料盘和第二料盘，且第二料盘转运过程中可靠性佳。
2、本专利技术的目的是通过以下技术方案实现：一种物料换盘设备，包括：
3、第一流转装置，包括第一换盘线、设置在所述第一换盘线输入端的堆叠上
4、第二流转装置，包括第二换盘线、设置在所述第二换盘线输入端的第一流转机构和设置在所述第二换盘线输出端的第二流转机构；
5、换盘机械手，位于所述第一换盘线和所述第二换盘线之间；
6、其中，所述第一流转机构用于接收装有多个空载的第二料盘的料盒，并将位于其上的料盒中的第二料盘依次移至所述第二换盘线，所述换盘机械手适于将所述第一换盘线上的第一料盘内的物料搬运至所述第二换盘线的第二料盘中，所述第二流转机构用于接收空置的料盒，并将所述第二换盘线上满载的所述第二料盘依次移至位于其上的料盒中。
7、进一步地，所述堆叠上料机构包括：
8、料仓，用于堆叠容置第一料盘，所述料仓的底部设有开口；
9、托料组件，数量为两组，且分设在所述料仓两侧，所述托料组件适于水平移动以承载或脱离第一料盘；
10、升降组件，位于所述料仓下方；
11、搬运组件，适于将第一料盘上料至所述第一换盘线；
12、第一横移组件，位于所述料仓下方，且适于在所述升降组件和所述搬运组件之间往返；
13、其中，所述升降组件适于将所述料仓中的第一料盘降至所述第一横移组件，或将所述第一横移组件上的第一料盘抬升至所述料仓。
14、进一步地，所述料仓数量为至少一个，且沿着所述第一横移组件的输送方向并排布置，所述升降组件和所述托料组件与所述料仓一一对应，所述第一横移组件适于移动至不同的所述升降组件处。
15、进一步地，所述堆叠下料机构的结构与所述堆叠上料机构的结构相同。
16、进一步地，所述第一流转机构包括：
17、第一流转线，用于接收和输送装有多个空载的第二料盘的料盒；
18、第二流转线，用于接收和输送空置的料盒，所述第二流转线位于所述第一流转线下方，且其输送方向与所述第一流转线的输送方向相反；
19、第一升降机，可上升至所述第一流转线的输出端以接收料盒或下降至所述第二流转线的输入端以将料盒输至所述第二流转线；
20、拉料组件，设置在所述第一升降机处，且适于将所述第一升降机上的料盒中的第二料盘拉入所述第二换盘线。
21、进一步地，所述第一流转线和所述第二流转线的长度方向一致，所述第一流转线与所述第二换盘线的长度方向相垂直，料盒在所述第二换盘线的长度方向上为贯通结构。
22、进一步地，所述第二流转机构包括：
23、第三流转线，用于接收和输送空置的料盒；
24、第四流转线，用于接收和输送装有多个满载的第二料盘的料盒，所述第四流转线位于所述第三流转线上方，且与所述第三流转线的输送方向相反；
25、第二升降机，可下降至所述第三流转线的输出端以接收料盒或上升至所述第四流转线的输入端以将料盒输至所述第四流转线；
26、推料组件，设置在所述第二升降机处，且适于将所述第二换盘线上满载的第二料盘推入所述第二升降机的料盒中。
27、进一步地，所述第三流转线和所述第四流转线的长度方向一致，所述第三流转线与所述第二换盘线的长度方向相垂直，料盒在所述第二换盘线的长度方向上为贯通结构。
28、进一步地，所述换盘机械手数量为两个，且适于交替搬运物料。
29、此外，本专利技术还提供一种使用所述物料换盘设备的换盘方法，包括如下步骤：
30、将满载的第一料盘放入堆叠上料机构，将装有空载的第二料盘的料盒放入第一流转机构，将空置的料盒放入第二流转机构；
31、所述堆叠上料机构将第一料盘依次上料至第一换盘线，所述第一流转机构依次将位于其上的料盒中的第二料盘上料至第二换盘线，并在料盒空置后输出料盒；
32、换盘机械手将所述第一换盘线上的第一料盘内的物料移至所述第二换盘线上的第二料盘中；
33、每当一第二料盘满载时，所述第二流转机构将满载的第二料盘移至位于其上的料盒中，并在料盒满载后输出料盒，每当一第一料盘空载时，堆叠下料机构对空载的第一料盘进行下料。
34、与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：本专利技术中换盘机械手可在第一换盘线和第二换盘线之间搬运物料，在换盘机械手搬运过程中，作业人员或机械结构可将第一料盘上料至堆叠上料机构或将堆叠下料机构中的第一料盘进行下料，且作业人员或机械结构可将装有第二料盘的料盒连续地输至第一流转机构以及将空置的料盒连续地输入第二流转机构，实现不停机连续作业，提高工作效率；此外，由于第二料盘外设置有料盒，多个第二料盘能够可靠地置于料盒中，因而有效提高空载的第二料盘的上料以及满载的第二料盘下料的便捷性，且后续转运、存放十分可靠方便。
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1.一种物料换盘设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的物料换盘设备，其特征在于，所述堆叠上料机构（200）包括：
3.如权利要求2所述的物料换盘设备，其特征在于，所述料仓（210）数量为至少一个，且沿着所述第一横移组件（240）的输送方向并排布置，所述升降组件（230）和所述托料组件（220）与所述料仓（210）一一对应，所述第一横移组件（240）适于移动至不同的所述升降组件（230）处。
4.如权利要求2或3所述的物料换盘设备，其特征在于，所述堆叠下料机构（300）的结构与所述堆叠上料机构（200）的结构相同。
5.如权利要求1所述的物料换盘设备，其特征在于，所述第一流转机构（500）包括：
6.如权利要求5所述的物料换盘设备，其特征在于，所述第一流转线（510）和所述第二流转线（520）的长度方向一致，所述第一流转线（510）与所述第二换盘线（400）的长度方向相垂直，料盒（830）在所述第二换盘线（400）的长度方向上为贯通结构。
7.如权利要求1所述的物料换盘设备，其特征在于，所述第二流转机
8.如权利要求7所述的物料换盘设备，其特征在于，所述第三流转线（610）和所述第四流转线（620）的长度方向一致，所述第三流转线（610）与所述第二换盘线（400）的长度方向相垂直，料盒（830）在所述第二换盘线（400）的长度方向上为贯通结构。
9.如权利要求1所述的物料换盘设备，其特征在于，所述换盘机械手（700）数量为两个，且适于交替搬运物料。
10.一种使用如权利要求1至9任一项所述的物料换盘设备的换盘方法，其特征在于，包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种物料换盘设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的物料换盘设备，其特征在于，所述堆叠上料机构（200）包括：
3.如权利要求2所述的物料换盘设备，其特征在于，所述料仓（210）数量为至少一个，且沿着所述第一横移组件（240）的输送方向并排布置，所述升降组件（230）和所述托料组件（220）与所述料仓（210）一一对应，所述第一横移组件（240）适于移动至不同的所述升降组件（230）处。
4.如权利要求2或3所述的物料换盘设备，其特征在于，所述堆叠下料机构（300）的结构与所述堆叠上料机构（200）的结构相同。
5.如权利要求1所述的物料换盘设备，其特征在于，所述第一流转机构（500）包括：
6.如权利要求5所述的物料换盘设备，其特征在于，所述第一流转线（510）和所...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟小龙，贾淳，
申请(专利权)人：苏州矽微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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