【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆传输机械臂领域，更具地说，涉及一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂。
技术介绍
1、在晶圆的加工工艺中，晶圆在不同位置间的移动依靠机械臂，而晶圆有不同的尺寸，比如6/8/12寸，而针对不同的尺寸，机械臂设置成不同的尺寸开合角度。现有的机械臂只能获取一种尺寸的晶圆，若要传输另一种尺寸的晶圆，需要将机械臂进行整体替换，替换后还需进行调试，耗费时间长。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
2、本专利技术技术方案提供一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，包括机械臂主体、设置在所述机械臂主体上的晶圆叉手和限位机构；
3、所述限位机构包括限位组件一限位组件二，所述限位组件一位于标准夹持位置，所述限位组件二上连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述限位组件二靠近或远离标准位置；
4、所述晶圆叉手上设置有限位卡口一和限位卡口二，所述限位组件一与所述限位卡口一配合夹持一种尺寸的晶圆，所述限位组件二与所述限位卡口二配合夹持另一种尺寸的晶圆。
5、在一个优选地实施例中，所述限位组件一包括挡块一和对称设置在挡块一两侧的两个弧形夹臂一；所述限位组件二包括挡块二和对称设置在挡块二两侧的两个弧形夹臂二。
6、在一个优选地实施例中，所述驱动机构包括升降驱动组件和伸缩驱动组件，所述升降驱动组件与所述弧形夹臂二连接，所述伸缩驱动组件与所述挡块二连接，所述升降驱动组件和所述伸缩驱动组件分
7、在一个优选地实施例中，所述弧形夹臂一底部设置有限位槽，所述弧形夹臂二上对应设置有限位凹口，所述升降驱动组件驱动所述弧形夹臂一至所述限位凹口与所述限位槽卡接时，所述弧形夹臂二位于标准夹持位置。
8、在一个优选地实施例中，所述伸缩驱动组件包括气动腔体、由所述气动腔体伸出的连杆、位于所述气动腔体内且套设在所述连杆上的复位弹簧，以及位于所述气动腔体内且固定在所述连杆端部的活塞，所述连杆在气动腔体外部连接挡块二，所述气动腔体上连接驱动气缸。
9、在一个优选地实施例中，所述晶圆叉手滑动设置在所述机械臂主体上，所述挡块一和所述挡块二与所述晶圆叉手同步移动。
10、在一个优选地实施例中，所述挡块一上具有与所述限位卡口一配合的弧形面一，所述挡块二上具有与所述限位卡口二配合的弧形面二。
11、在一个优选地实施例中，所述限位卡口一与所述挡块一组成用于放置一种尺寸晶圆的晶圆卡槽一，所述限位卡口二与所述挡块二组成用于放置另一种尺寸晶圆的晶圆卡槽二，所述晶圆卡槽一与所述晶圆卡槽二同心设置。
12、在一个优选地实施例中，所述弧形夹臂一的高度与所述圆形卡槽一的高度相适配，所述弧形夹臂二的高度与所述圆形卡槽二的高度相适配
13、在一个优选地实施例中，所述挡块一、挡块二与其适配尺寸的晶圆的距离均为2-3mm。
14、本专利技术技术方案的有益效果是：
15、本方案的机械臂既可以用于两种尺寸的晶圆的传输，针对两种尺寸的晶圆的传输，该机械臂可以灵活切换，且无需进行零件的拆卸，切换过程通过驱动机构实现，提升机械臂通用性，同时提升加工效率。
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1.一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：包括机械臂主体、设置在所述机械臂主体上的晶圆叉手和限位机构；
2.根据权利要求1所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述限位组件一包括挡块一和对称设置在挡块一两侧的两个弧形夹臂一；所述限位组件二包括挡块二和对称设置在挡块二两侧的两个弧形夹臂二。
3.根据权利要求2所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述驱动机构包括升降驱动组件和伸缩驱动组件，所述升降驱动组件与所述弧形夹臂二连接，所述伸缩驱动组件与所述挡块二连接，所述升降驱动组件和所述伸缩驱动组件分别驱动所述弧形夹臂二和所述挡块二移动至标准夹持位置。
4.根据权利要求3所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述弧形夹臂一底部设置有限位槽，所述弧形夹臂二上对应设置有限位凹口，所述升降驱动组件驱动所述弧形夹臂一至所述限位凹口与所述限位槽卡接时，所述弧形夹臂二位于标准夹持位置。
5.根据权利要求3所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述伸缩驱动组件包括气动腔体、由所述气动腔体伸出的连杆、位于所述气动
6.根据权利要求2所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述晶圆叉手滑动设置在所述机械臂主体上，所述挡块一和所述挡块二与所述晶圆叉手同步移动。
7.根据权利要求2所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述挡块一上具有与所述限位卡口一配合的弧形面一，所述挡块二上具有与所述限位卡口二配合的弧形面二。
8.根据权利要求2所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述限位卡口一与所述挡块一组成用于放置一种尺寸晶圆的晶圆卡槽一，所述限位卡口二与所述挡块二组成用于放置另一种尺寸晶圆的晶圆卡槽二，所述晶圆卡槽一与所述晶圆卡槽二同心设置。
9.根据权利要求8所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述弧形夹臂一的高度与所述圆形卡槽一的高度相适配，所述弧形夹臂二的高度与所述圆形卡槽二的高度相适配。
10.根据权利要求2所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述挡块一、挡块二与其适配尺寸的晶圆的距离均为2-3mm。
...【技术特征摘要】
1.一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：包括机械臂主体、设置在所述机械臂主体上的晶圆叉手和限位机构；
2.根据权利要求1所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述限位组件一包括挡块一和对称设置在挡块一两侧的两个弧形夹臂一；所述限位组件二包括挡块二和对称设置在挡块二两侧的两个弧形夹臂二。
3.根据权利要求2所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述驱动机构包括升降驱动组件和伸缩驱动组件，所述升降驱动组件与所述弧形夹臂二连接，所述伸缩驱动组件与所述挡块二连接，所述升降驱动组件和所述伸缩驱动组件分别驱动所述弧形夹臂二和所述挡块二移动至标准夹持位置。
4.根据权利要求3所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述弧形夹臂一底部设置有限位槽，所述弧形夹臂二上对应设置有限位凹口，所述升降驱动组件驱动所述弧形夹臂一至所述限位凹口与所述限位槽卡接时，所述弧形夹臂二位于标准夹持位置。
5.根据权利要求3所述的一种兼容两种尺寸晶圆的机械臂，其特征在于：所述伸缩驱动组件包括气动腔体、由所述气动腔体伸出的连杆、位于所述气动腔体内且套设在所述连杆上的复位弹簧...
【专利技术属性】
技术研发人员：张新，程博，
申请(专利权)人：合肥开悦半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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