【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及放大器，尤其涉及一种微波功率放大器小型化制备方法及微波功率放大器。
技术介绍
1、目前通讯及各种无线系统中，要求功率放大器具有较好的一致性，并且在较小的体积内实现大输出功率，以满足系统应用要求。以往实现大功率微波功率放大器的做法是，采用预匹配的技术方案，将绝大部分匹配电路在pcb板材上实现，并与位于管壳内的微波功率晶体管和部分匹配电路相连接。该方案体积大，且受限于pcb板材的加工精度，难以采用介电常数较高的介质以实现匹配电路的小型化，且产品一致性也较差。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种微波功率放大器小型化制备方法及微波功率放大器。
2、本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本专利技术第一方面提供：一种微波功率放大器小型化制备方法，包括以下步骤：
3、使用微波混合集成电路工艺制备微波功率放大器，所述微波混合集成电路工艺包括基片制作工艺和芯组装配工艺；所述基片制作工艺包括以下步骤：
4、s1：根据版图电镀面积、布线疏密度和线宽设置电镀电流、电镀时间，创建电镀电流和电镀时间对应表；
5、s2：根据电镀电流和电镀时间选择电镀夹具、电镀槽的大小；
6、s3：进行基片制作得到镀铜厚度为第一预设值的镀厚铜陶瓷基片；
7、s4：对镀厚铜陶瓷基片进行组装，先对镀厚铜陶瓷基片的键合表面进行清洗，然后进行键合，最后进行质检。
8、优选的，所述的s3还包括以下步骤：<...
【技术保护点】
1.一种微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的S3还包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的S31包括以下步骤：
4.根据权利要求2所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的S32包括以下步骤：
5.根据权利要求2所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的S33包括以下步骤：
6.根据权利要求2所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的S34包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的第二预设值为500nm，所述干膜为杜邦SD250，所述显影液为3%的Na2CO3溶液，所述去胶液为3~5%NaOH溶液。
8.根据权利要求6所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：去除种子层后，还包括以下步骤：清洗DPC陶瓷基板，使用氮气吹干DPC陶瓷基板并划片密封保存。
9.根据
10.一种微波功率放大器，其特征在于：使用如权利要求1-9任一项所述的微波功率放大器小型化制备方法制备而成，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的s3还包括以下步骤：
3.根据权利要求2所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的s31包括以下步骤：
4.根据权利要求2所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的s32包括以下步骤：
5.根据权利要求2所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的s33包括以下步骤：
6.根据权利要求2所述的微波功率放大器小型化制备方法，其特征在于：所述的s34包括以下步骤：
7....
【专利技术属性】
技术研发人员：徐小强，杨洋，卫伟，张良梁，陶碧良，代禹，何葵，蒲云林，邓夏秋，刘峰，
申请(专利权)人：四川九洲电器集团有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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