【技术实现步骤摘要】
本申请涉及自动化设备，尤其是涉及一种自动取片设备。
技术介绍
1、在半导体行业里半导体棒料取片设备是行业发展的前头，目前样片留存是半导体行业的溯源手段之一，因此取片设备成为一个新的需求，自动取片设备是众多设备使用厂家追逐的目标，更是设备生产企业研发的重点。
2、半导体硅棒长度在200mm-450mm之间，根据加工工艺的需要，在棒料的头部和尾部进行取片，头尾各两片。
3、目前市面上的设备多数为半自动设备，对操作人员要求较高，由于人工成本的不断上升，自动化设备必然是发展的结果，提高效率，降低成本。
4、目前市面上自动取片设备存在的主要问题：
5、1、目前取片设备自动化程度低，没有专用设备；
6、2、打码等功能无法集成，属于单一功能设备；
7、3、人员劳动强度大，人力成本相对较高。
技术实现思路
1、为解决目前市面上切片设备的问题，可以实现连续自动取片功能，同时具备打码、顺序装片的功能，实现高度自动化，满足目前半导体棒料切片取样的要求，所以本申请提供一种自动取片设备。
2、本申请提供的一种自动取片设备采用如下的技术方案。
3、一种自动取片设备，包括：
4、上下料装置，所述上下料装置用于棒料的上料输送和切完后棒料的下料输送；
5、切割装置，所述切割装置包括切割机和切割移动工装，所述切割移动工装位于上下料装置的一端，所述切割移动工装用于带动棒料移动，所述切割机用于对切割移动
6、取片机械手，所述取片机械手位于切割机的侧部，用于取下切割下的料片，并将料片放置在装片盒内，所述装片盒设置在切割机上位于取片机械手的侧部；
7、止动装置，所述止动装置位于上下料装置的底部，用于定位棒料。
8、通过采用上述技术方案，通过上下料装置的设置，可以将棒料输送到切割移动工装上，并且还可以将切割结束的棒料取走完成下料，通过切割机与切割移动工装的配合，实现对棒料的头部和尾部进行切片，并通过取片机械手完成料片取片，并将料片放置到装片盒内，通过止动装置的设置，可以对棒料进行初始位置的定位，有利于后续装置之间的配合和运行。
9、可选的，所述上下料装置包括上下料运输车，所述上下料运输车包括车架，所述车架底部设置有车轮，所述车架顶部设置有用于放置棒料的放置槽a。
10、通过采用上述技术方案，通过上下料运输车的设置，可以将棒料放置在放置槽a上进行运输，放置槽a的设置有利于对棒料的定位。
11、可选的，所述上下料装置还包括上下料桁架，所述上下料桁架设置在切割移动工装的一端，所述上下料桁架上往复运动设置有套爪工装，所述套爪工装倒置设置，所述套爪工装的顶部设置有用于带动套爪工装升降的升降组件，所述升降组件通过往复运动组件设置在上下料桁架上；
12、所述止动装置包括锥形导向块，所述锥形导向块位于上下料桁架的底部，所述车架的底部设置有若干导向轮，位于锥形导向块的顶部设置有止动轴，在所述车架的底部对应设置有止动锁，所述上下料运输车移动至止动装置上方时，若干所述导向轮与锥形导向块的两侧导向接触配合，所述止动轴与止动锁相抵锁止配合。
13、通过采用上述技术方案，通过套爪工装的设置，可以对棒料进行拾取，由升降组件带动升降，由往复运动组件带动往复移动，可以实现棒料在放置槽a与放置槽b之间自动运输。通过导向轮与锥形导向块的配合，实现上下料运输车在移动过程中的自动对正，直至止动轴与止动锁相抵锁止，实现了对上下料运输车的位置确定，既实现了上下料运输车上棒料位置的确定，实现了自动定位。
14、可选的，所述套爪工装呈圆筒形，且内径大于棒料外径，圆筒形的套爪工装底部开设有开口，所述开口宽度尺寸大于放置槽a宽度尺寸。
15、通过采用上述技术方案，将套爪工装底部开设宽度尺寸大于放置槽a宽度尺寸的开口，使得套爪工装可以直接将棒料放置到放置槽a上，而套爪工装不会与放置槽a发生磕碰。
16、可选的，所述升降组件包括固定板，所述固定板上竖向设置有导向套，所述导向套内轴向滑动设置有导向杆，所述导向杆的底端与套爪工装的顶部连接设置，所述固定板上设置有气缸a，所述气缸a的伸缩杆与导向杆的顶端连接设置。
17、通过采用上述技术方案，通过升降组件的设置，导向杆与导向套配合起到导向作用，通过气缸a提供升降动力带动套爪工装实现升降。
18、可选的，所述往复运动组件包括滑动板，所述滑动板与升降组件连接设置，所述滑动板与上下料桁架之间通过移动副a滑动连接设置。
19、通过采用上述技术方案，通过移动副a的设置可以实现滑动板与上下料桁架的滑动配合，从而实现带动套爪工装在放置槽a与放置槽b上方之间往复移动。
20、可选的，所述切割移动工装包括切割移动架，所述切割移动架上通过移动副b滑动设置有两个切割移动板，两个切割移动板对齐间隔布置，所述切割移动板上设置有放置槽b，所述切割移动板上设置有电机组件a和由电机组件a带动旋转的主动齿轮，所述切割移动架上设置有齿条，所述齿条与主动齿轮啮合传动设置。
21、通过采用上述技术方案，通过放置槽b的设置，棒料的放置更加稳定，在移动过程中不易发生晃动，切割移动板通过移动副b与切割移动架滑动配合，并由电机组件a提供动力，通齿轮齿条的配合方式，控制切割移动板实现移动，进而带动棒料靠近或远离切割机，实现切割。
22、可选的，所述切割机包括切割机支架，所述切割机支架上通过移动副c上下滑动设置有切割机移动板，所述切割机支架上设置有丝杠，所述丝杠由设置在切割机支架上的电机组件b带动旋转，所述切割机移动板上设置有与丝杠螺纹配合的螺母；所述切割机移动板上安装有若干金刚线导线轮，若干所述金刚线导线轮上配合设置有金刚线，所述金刚线导线轮由电机组件c带动旋转；
23、所述切割机还包括张紧组件，所述切割机移动板上贯穿设置有摆动轴，所述摆动轴的一端与主动摆杆的一端固定连接设置，所述主动摆杆上设置有摆动板，在所述切割机移动板上设置有用于检测摆动板摆动的检测传感器,所述主动摆杆的另一端与气缸b伸缩杆端部铰接，所述气缸b与切割机移动板铰接，所述摆动轴的另一端与从动摆杆的一端固定连接设置，所述从动摆杆的另一端转动设置有金刚线导线轮；
24、所述切割机支架上设置有用于放置装片盒的装片盒底座，所述装片盒包括若干间隔分布设置的限位片，若干所述限位片由固定杆连接设置，若干所述限位片的底部设置在限位底壳上，若干所述限位片的顶部贯穿开设有u型孔。
25、通过采用上述技术方案，通过金刚线切割，其切割效率高，金刚线直径小，切割缝隙小，所以材料损失小，有利于提高切割质量，其可以减少加工损伤层，精度保持稳定，ttv很小。切割机金刚线的张力必须保持稳定，通过张紧组件的设置，通过检测传感器检测金刚线导轮的摆动位置，由气缸b带动金刚线导线轮移动，进而实现张力调节和保持，避免张本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种自动取片设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述上下料装置(1)包括上下料运输车，所述上下料运输车包括车架(101)，所述车架(101)底部设置有车轮，所述车架(101)顶部设置有用于放置棒料(6)的放置槽A(102)。
3.根据权利要求2所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述上下料装置(1)还包括上下料桁架(113)，所述上下料桁架(113)设置在切割移动工装的一端，所述上下料桁架(113)上往复运动设置有套爪工装(103)，所述套爪工装(103)倒置设置，所述套爪工装(103)的顶部设置有用于带动套爪工装(103)升降的升降组件，所述升降组件通过往复运动组件设置在上下料桁架(113)上；
4.根据权利要求3所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述套爪工装(103)呈圆筒形，且内径大于棒料(6)外径，圆筒形的套爪工装(103)底部开设有开口(105)，所述开口(105)宽度尺寸大于放置槽A(102)宽度尺寸。
5.根据权利要求3所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述升降组件包
6.根据权利要求3所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述往复运动组件包括滑动板，所述滑动板与升降组件连接设置，所述滑动板与上下料桁架(113)之间通过移动副A滑动连接设置。
7.根据权利要求1所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述切割移动工装包括切割移动架(201)，所述切割移动架(201)上通过移动副B(202)滑动设置有两个切割移动板(203)，两个切割移动板(203)对齐间隔布置，所述切割移动板(203)上设置有放置槽B(204)，所述切割移动板(203)上设置有电机组件A(205)和由电机组件A(205)带动旋转的主动齿轮，所述切割移动架(201)上设置有齿条，所述齿条与主动齿轮啮合传动设置。
8.根据权利要求1所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述切割机包括切割机支架(206)，所述切割机支架(206)上通过移动副C(207)上下滑动设置有切割机移动板(227)，所述切割机支架(206)上设置有丝杠(208)，所述丝杠(208)由设置在切割机支架(206)上的电机组件B(209)带动旋转，所述切割机移动板(227)上设置有与丝杠(208)螺纹配合的螺母(211)；所述切割机移动板(227)上安装有若干金刚线导线轮(212)，若干所述金刚线导线轮(212)上配合设置有金刚线，所述金刚线导线轮(212)由电机组件C(214)带动旋转；
9.根据权利要求1所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述取片机械手(3)包括六轴机械臂(301)，所述六轴机械臂(301)的末端安装有用于吸附料片(7)的吸盘式机械爪(302)。
10.根据权利要求1所述的一种自动取片设备，其特征在于，该自动切片设备还包括激光打码装置(4)，所述激光打码装置(4)布置在取片机械手(3)的侧部。
...【技术特征摘要】
1.一种自动取片设备，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述上下料装置(1)包括上下料运输车，所述上下料运输车包括车架(101)，所述车架(101)底部设置有车轮，所述车架(101)顶部设置有用于放置棒料(6)的放置槽a(102)。
3.根据权利要求2所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述上下料装置(1)还包括上下料桁架(113)，所述上下料桁架(113)设置在切割移动工装的一端，所述上下料桁架(113)上往复运动设置有套爪工装(103)，所述套爪工装(103)倒置设置，所述套爪工装(103)的顶部设置有用于带动套爪工装(103)升降的升降组件，所述升降组件通过往复运动组件设置在上下料桁架(113)上；
4.根据权利要求3所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述套爪工装(103)呈圆筒形，且内径大于棒料(6)外径，圆筒形的套爪工装(103)底部开设有开口(105)，所述开口(105)宽度尺寸大于放置槽a(102)宽度尺寸。
5.根据权利要求3所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述升降组件包括固定板(106)，所述固定板(106)上竖向设置有导向套(107)，所述导向套(107)内轴向滑动设置有导向杆(108)，所述导向杆(108)的底端与套爪工装(103)的顶部连接设置，所述固定板(106)上设置有气缸a(110)，所述气缸a(110)的伸缩杆与导向杆(108)的顶端连接设置。
6.根据权利要求3所述的一种自动取片设备，其特征在于，所述往复运动组件包括滑动板，所述滑动板与升降组件连接设置，所述滑动板...
【专利技术属性】
技术研发人员：于盛辉，吴福文，刘毅，姚小威，姚志雯，邹根根，
申请(专利权)人：无锡连强智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。